JPS6336047U - - Google Patents

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JPS6336047U
JPS6336047U JP12995286U JP12995286U JPS6336047U JP S6336047 U JPS6336047 U JP S6336047U JP 12995286 U JP12995286 U JP 12995286U JP 12995286 U JP12995286 U JP 12995286U JP S6336047 U JPS6336047 U JP S6336047U
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Japan
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chip
circuit board
printed circuit
stage
integrated circuit
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案にかかる集積回路の製造装置の
一実施例の構成図、第２図は第１図の要部構成図
、第３図は集積回路の製造装置の従来例の構成図
である。 １……ステージ、２……ウエハ、３……プロー
ブカード、４……信号発生器、５……測定部、６
……ＣＰＵ、１０……基準値付与手段、１１……
印刷回路基板、１２……リフアレンス用Ｃチツプ
、１３，１４……導体パターン、１３１，１４１
……パツド変換パターン、１５……パツド、Ｐ…
…プローブ針。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ステージ上のウエハに含まれた各ＩＣチツプの
    電気的特性を測定し、測定結果に応じてＩＣチツ
    プの良否を判断する集積回路の製造装置において
    、 セラミツクまたは金属で構成されていて、前記
    ステージ上に配置された印刷回路基板と、 前記ＩＣチツプの中で正常な電気的特性を有す
    るものが用いられていて、前記印刷回路基板上に
    搭載されたリフアレンス用ＩＣチツプ、 を具備するとともに、 前記印刷回路基板には、前記リフアレンス用Ｉ
    Ｃチツプのパツドにプローブ針を当てるときと同
    一の針間隔でプローブ針を当てることができて、
    しかもリフアレンス用ＩＣチツプの各パツドと電
    気的に接続された導体パターンが形成されている
    ことを特徴とする集積回路の製造装置。
JP12995286U 1986-08-26 1986-08-26 Pending JPS6336047U (ja)

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JP12995286U JPS6336047U (ja) 1986-08-26 1986-08-26

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JPS6336047U true JPS6336047U (ja) 1988-03-08

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ID=31026992

Family Applications (1)

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JP12995286U Pending JPS6336047U (ja) 1986-08-26 1986-08-26

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JP (1) JPS6336047U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03119723A (ja) * 1989-10-02 1991-05-22 Tokai Carbon Co Ltd プラズマエッチング用電極板
JPH03146680A (ja) * 1989-10-31 1991-06-21 Ibiden Co Ltd プラズマエッチング用電極板

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03119723A (ja) * 1989-10-02 1991-05-22 Tokai Carbon Co Ltd プラズマエッチング用電極板
JPH03146680A (ja) * 1989-10-31 1991-06-21 Ibiden Co Ltd プラズマエッチング用電極板

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