JPS6336461B2

JPS6336461B2 -

Info

Publication number: JPS6336461B2
Application number: JP55020705A
Authority: JP
Inventors: Myuraa Kurausu; Mauraa Herumuuto; Rindaa Erunsuto; Riigaa Furantsu; Haa Furiize Kaaru; Reebaa Hararuto; Deiitsu Heruman; Tsuiinaa Heruman; Esupaa Furiidoritsuhi; Hoorufuerudaa Geruharuto
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1979-02-23
Filing date: 1980-02-22
Publication date: 1988-07-20
Also published as: IT8020094A0; JPS55116248A; DE2907032C2; FR2449887B1; US4334974A; IT1140687B; FR2449887A1; DE2907032A1

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、金属ケーシングが酸素測定フイーラ
を固定するために測定ガスを導く管中でセンサ素
子保持部材として使用され、センサ素子が大体に
おいて平らな酸素イオン伝導性の固体電解質を有
し、該固体電解質がその１つの大きい面上で測定
ガスに曝されるガス透過性測定電極を支持しかつ
その他方の大きい面上で基準電極を支持し、その
際基準電極及び測定電極には電圧を印加すること
ができ、センサ素子の少なくとも１つの大きい面
上には層状のガス透過性電気絶縁体が設けられて
おり、該電気絶縁体は固体電解質の１つの大きい
面とほぼ同一の寸法を有しかつ電極にできるだけ
近接している導体路状発熱体を支持する、ガス
用、殊に内燃機関の排ガス用のポーラログラフ酸
素測定フイーラから出発する。西ドイツ国特許公
開公報第2547683号によつて公知のかかる測定フ
イーラは、その相対する大きい面上に設けられ
た、試料ガスによつて周囲が洗われる電極対を有
する板状固体電解質を有しかつ試料ガスの酸素含
有量に左右される電圧信号を生じる（電位差計測
定フイーラ）。更に、西ドイツ国特許公開公報第
1954663号に記載され、同様に両側に設けられた、
試料ガスによつて周囲が洗われる電極を有する板
状固体電解質を有するガス測定フイーラが挙げら
れるが、この場合固体電解質板は試料ガス流に対
して配置され、電極に電圧が印加され；固体電解
質を作業温度に調節するための発熱体を有する該
測定フイーラの出発信号は、試料ガスの酸素含有
量に左右され、ガス相拡散によつて制限される電
流である（ポーラログラフ測定フイーラ）。また、
さらに西ドイツ国特許公開公報第2711880号に記
載されたポーラログラフ測定フイーラも挙げら
れ、その測定電極は試料ガスの酸素分子に対する
拡散障壁としては多孔質被覆層を有するが、一端
に閉じられた管状の固体電解質を有しかつ例えば
空気中の酸素のような対照ガスを必要とする。

本発明の特許請求の範囲第１項に記載された特
徴、即ち層状測定電極３２及び層状基準電極３６
を支持する平らな固体電解質３０が縦方向に金属
ケーシング１３の縦孔１２中に配置され、測定電
極３２が層状被覆３４を備え、該層状被覆の多孔
度が該被覆３４を通じて拡散される全部の酸素分
子を電極３２，３６間に存在する電圧により酸素
イオンとして固体電解質３０に導通させるように
定められているという特徴を有するガス用のポー
ラログラフ酸素測定フイーラは、前記西ドイツ国
特許公開第2547683号による測定フイーラに比べ
て、工業的に良好かつ有利な費用で製造できる、
加熱装置を有するポーラログラフ酸素測定フイー
ラに組立てられていて、該酸素測定フイーラはそ
の構成部分の僅かな熱容量のために短い応答時間
を有しかつ内燃機関の廃ガス中での困難な、運転
条件に特に確実に耐えるという利点を有し；特許
請求の範囲第２項は該測定フイーラの機械におい
てなお、拡散障壁として使用される規定された多
孔質の被覆層に対するすぐれた解決法を示す。特
許請求の範囲第１項及び第２項に記載された測定
フイーラの他の有利な実施態様は特許請求の範囲
第３項以下に記載されている。

本発明の実施例は図面に示され、下記に詳述さ
れている。

第１図に図示された、ガス中、殊に内燃機関の
廃ガス中の酸素含有量を測定する電気化学的測定
フイーラ１０は、原則的には西ドイツ国特許公開
公報第1954663号に記載されているような限界電
流原理により働く。この測定フイーラ１０は加熱
可能なセンサ素子１１を有し、該素子はその長さ
の一部が金属ケーシング１３の縦孔１２中を間隔
を置いて延びかつ固定部材１４により金属ケーシ
ング１３中に保持される。この固定部材１４は図
示されてないツバを備える中心の穿孔１５を有す
る金属円板からなり；加熱可能なセンサ素子１１
は該穿孔１５中にロウ（例えば、ガラスロウ又は
硬ロウ）によつて密に固定されている。また、こ
の固定部材１４はその外縁にも図示されてないツ
バを有し、該ツバでケーシング−縦孔１２中の段
部１６上に載りかつケーシング１３と同様にロウ
により結合され、密封されており；ロウとしては
この場合でも有利にガラスロウ又は硬ロウが使用
されるが、パテ、接着剤又は溶接結合も好適であ
る。多くは、センサ素子１１の保持には唯一の固
定部材１４の配置で十分であるが、例外の場合に
は２つ以上のこのような固定部材１４も推奨に価
する。この固定部材１４は金属の代りにセラミツ
クからなつていてもよいが、好ましくは金属薄板
から製造され、それというのも該薄板は使用範囲
内での温度変化に際し弾性であり、したがつて耐
久性であるからであり；この範囲内でこれに関し
て金属部材とセラミツク部材又はセラミツク部材
を互いに結合するためにロウ接する場合には、当
該セラミツク部材はロウ接する前に結合範囲内で
その表面を有利にはメツキすべきである。図示さ
れてない測定ガス管（例えば、廃ガス管）中に取
付けるために雄ねじ１７及び六角形スパナ装着部
１８を備える金属ケーシング１３は、材料を節約
する目的で比較的短くされかつ金属スリーブ１９
により該ケーシングの試料ガスから遠くの端部を
越えて延長され；ケーシング１３及び金属スリー
ブ１９は有利に溶接によつて互いに結合されてい
る。この金属スリーブ１９内には密封性の絶縁挿
入体２０が案内され、かつ金属スリーブ１９から
内部に向つて押出された若干に隆起部２１及び同
様に金属スリーブ１９から内部に向つて押出され
た張力軽減突出部２２により固定され；張力軽減
突出部２２と絶縁挿入体２０との間には付加的
に、機械的応力に対して該絶縁挿入体２０を保護
する金属のストツパー環状円板２３が配置されて
いる。金属スリーブ１９中への取付けを簡易化す
るためにその周面に数個の環状肩部２４を備える
絶縁挿入体２０は、加熱可能なセンサ素子１１の
付加的な固定に役立つ、中心孔２５中に突出する
第１密封肩部２６及び測定フイーラ接続ケーブル
２９の接続導線２８に接する第２の密封肩部２７
を有する中心孔２５を有する。この接続導線２８
は、図示されてない電圧源及び図示されていない
評価回路（これら双方とも本発明の対象でない）
と結合している。

試料ガス側で有利に金属ケーシング１３と同列
に終つており、したがつて必ずしも試料ガス中の
飛跳粒子に対する付加的保護手段を必要としない
加熱可能なセンサ素子１１は、本実施例において
は導線２８に、２つの導線２８が無電位で測定フ
イーラ１０から導出されているように接続されて
いるが、この実施態様の代りに測定信号を導びく
２つの導線２８の１つは公知方法でアースされて
いる測定フイーラ・ケーシング１３と電気的に結
合されていてもよい。

第２図には、測定フイーラ１０の加熱可能なセ
ンサ素子１１の分解斜視図が図示されている：この構成部材の支持体は、本実施例では安定化
二酸化ジルコニウムからなる、0.8mmの厚さ及び
５mmの幅を有する平たくて細長い酸素イオン伝導
性固体電解質３０である。この固体電解質３０の
試料ガスに近い末端部分上に、その（図面で）上
方に向いた大きい面３１上には、測定電極（負
極）３２として厚さ7μの多孔質白金層及び該層
と結合し、大きい面３１上を中央で延び、固体電
解質３０の試料ガスから遠くの末端部分に通じる
導体路３３が公知のプリント技術によつて（か又
はローラ塗布、吹付、蒸着によつて）設けられて
おり、該導体路は有利に貫通する図示されてな
い、0.01cm²程度の穿孔を有する。この測定電極３
２の上方には、酸素分子に対し規定された拡散抵
抗を有しかつ適当な物質（例えば、二酸化ジルコ
ニウム、酸化アルミニウム、スピネル）をそれに
圧着し、その後に灼熱することによつて製造され
る、該測定電極３２を上方及び側方で完全に覆う
多孔質被覆層３４が配置されている。厚さ約0.5
mmでありかつ1.0μよりも小さい直径を有する細孔
を有するこの被覆層は、公知方法で、特定量の物
質を特定圧力で設け及び／又は該物質になお気孔
形成物質を添加することによつて多孔質にされ；
該気孔形成物質（例えば、炭素）は上述した灼熱
工程でか又はその後に行なわれる焼結工程で除去
される。腐蝕性試料ガスに対し測定電極−導体路
３３を保護するためには、該導体路３３も相応す
る保護層で被覆するのが有利であり；本実施例で
はこの保護作用は、必要な長さに延長されかつ接
続側の末端部分で切欠されて、測定電極導体路３
３が図示されてない接点及び接続導線を備えるこ
とのできる多孔質被覆層３４によつて達成され
る。測定電極３２中及び所属する導体路３３中に
形成された穿孔は、固体電解質３０と多孔質被覆
層３４との間の付着を改善するために役立つ。

この固体電解質３０の（図面で下方に向いてい
る）第２の大きい面３５上には、測定電極３２に
対する基準電極３６が存在し、これは物質及び寸
法が大体において測定電極３２に一致しかつ試料
ガスから離れた固体電解質３０の末端部分に通じ
る導体路３７をも備えており；作動中の測定フイ
ーラ１０の電極−導体路３３と３７との間の短絡
電流及び従つて不正信号を避けるために、基準電
極−導体路３７（及び／又は測定電極−導体路３
３）と固体電解質３０との間に、例えばZrO₂も
しくは酸化アルミニウムからなつていてもよい電
気絶縁層３８が配置されている。導体路３７を有
する基準電極３９上には、層状の電気絶縁体３９
（例えば、ZrO₂又は酸化アルミニウム）が存在す
るが、該絶縁体３９は少なくともなお酸素含有試
料ガスが側方から基準電極３６への侵入を許容す
る。前記した符号３０〜３９を有する構成部材
は、付加的に電気絶縁体３９上にプリントされた
発熱体４０を備える固有のセンサ素子１１を形成
し；該発熱体４０は、蛇行形に延びる導体路とし
て構成され、白金からなり、約10μの厚さを有
し、大体において基準電極３６の範囲内に延び、
かつ電気接続に役立ちかつ試料ガスから遠くのセ
ンサ素子１１の末端部まで通じる導体路４１，４
２を備えている。この導体路４１及び４２はセン
サ素子１１の双方の長手側に沿つて延び、したが
つて該導体路の特に図示されていない接続範囲の
面に基準電極−導体路３７の接続範囲が存在する
ことになり；該発熱体４０及びその導体路４１，
４２は、導体路４１，４２の接続範囲を除き、な
お多孔質保護層４３で被覆されており、該保護層
は、被覆された部分を腐蝕性試料ガスに対して保
護しかつ例えばZrO₂又は酸化アルミニウムから
なる。

従つて、センサ素子１１及びその上にさらに設
けられた、保護層４３を備える発熱体４０は、一
緒に焼結された構成単位４４を形成し、該構成単
位は、大量生産に好適な方法で確実かつ経済的に
製造することができ、その僅かな熱容量により迅
速な作動挙動を有し、かつ比較的僅かな熱エネル
ギーを必要とするにすぎない。

第３図には、構成単位４５が分解斜視図により
図示され、この場合構成単位４４／１（第２図に
よる構成単位４４に一致）上にさらに第２の発熱
体４６が備えられ；該発熱体４６は多孔質被覆層
３４／１上に配置され、その他の形態は第２図に
よる発熱体４０に一致する。腐蝕性熱ガスの有害
な影響に対して、該発熱体４６上及びその双方の
接続−導体路４７，４８上には保護層４９が設け
られ、該保護層は接触上の理由で導体路４７，４
８の末端部分を被覆しないままである。しかしな
がら、試料ガスに多孔質被覆層３４／１への侵入
を可能にするため、保護層４９は発熱体４６の上
方範囲内に孔又はスリツト状の穿孔５０を備えて
いる。２つの発熱体４０／１及び４６を有するセ
ンサ素子１１／１は、当該測定フイーラ１０に必
要な700℃の作業温度への特に迅速な到達を可能
し、その結果この種の測定フイーラ１０がエンジ
ン排気口から比較的離れた廃ガス管中に取付けら
れている事例の場合にも極めて好適である（例え
ば、Ｖ形エンジン及び水平対向エンジンの場合）。

加熱可能なセンサ素子１１ないしは１１／１を
個数によりフレキシブルに製造しかつ無駄な費用
をできるだけ少なくするために、加熱可能なセン
サ素子１１を多数部分からなるように製造するの
が大量生産には有利であることが判明しており；
第４図には、このような第１の実施例が分解斜視
図として図示されている。

第１構成部材は、センサ素子１１／２（第２図
によるセンサ素子１１に一致）によつて形成さ
れ；その固体電解質は３０／２、その多孔質被覆
層は３４／２及び基準電極３６／２上の保護層は
４３／２で示されている。第２の構成部材は、例
えば酸化アルミニウムからなりかつ発熱体４０／
２ならびに導体４１／２，４２／２で公知方法で
被覆されている、ほぼセンサ素子１１／２と同一
寸法の第１電気絶縁体５１によつて形成され；該
発熱体４０／２及びその導体路４１／２，４２／
２は金属白金からなる。該構成部材は、その発熱
体４０／２とともにセンサ素子−保護層４３／２
上に、しかも基準電極３６／２の範囲内で固着し
ている。該発熱体４０／２及び該導体路４１／
２，４２／２を被覆するための付加的な保護層の
図示はそれがケース・バイ・ケースで必要である
にすぎないので省略した。第３構成部材は、電気
絶縁体５１と同様に発熱体４６／２及びこれに所
属する導体路４７／２及び４８／２を備え、酸化
アルミニウムからなつていてもよく、かつ該発熱
体４６／２でセンサ素子１１／２の多孔質被覆層
３４／２上に密接している第２電気絶縁体５２で
あり；また該構成部材においても、場合によつて
は発熱体４６／２及び導体路４７／２，４８／２
上の図示されていない保護層が有利である。該セ
ンサ素子１１／２の被覆層３４／２への試料ガス
の侵入を可能にするためには、一般に記載した装
置で十分である、すなわち測定工程に十分な試料
ガスがセンサ素子−被覆層３４／２と発熱体４
６／２との間に到達するが、しかし電気絶縁体５
２が、構成部材４６／２の範囲内で電気絶縁体５
２を貫通しかつ直接センサ素子−被覆層３４／２
上に開口している孔又はスリツト状の通過口５３
を有するのが有利であり；発熱体４６／２はその
蛇行が該通過口５３をめぐつて案内されている。
これら３つの全構成部材は測定フイーラ１０中に
固定部材１４及び絶縁挿入体２０により結合され
るが、必要な場合には図示されてない突起、段部
等によつて相互間のいずれに対し安全にすること
もできる。

第５図は、第４図におけると同様に加熱可能の
センサ素子１１／３を示し；第４図では発熱体４
０／２，４６／２が直接センサ素子１１／２に向
いている（このことは、発生した熱が急速に固体
電解質３０／２に達するので優れた実施態様であ
る）が、第５図では電気絶縁体５１／１及び５
２／１上に配置された発熱体４０／３又は４６／
３はセンサ素子１１／３から離反している。発熱
体４０／３，４６／３をその導体路４１／３，４
２／３ないしは４７／３，４８／３とともに熱い
試料ガスの腐蝕作用に対して保護するために、該
発熱体はそれぞれなお保護層４３／３ないしは４
９／３で被覆されており；この場合でも電気絶縁
体５２／１中に試料ガス通過口５３／１が設けら
れていてもよく、さらに該通過口は保護層４９／
３中の開口５４となつて続く。

第４図及び第５図に図示された加熱可能なセン
サ素子１１／２及び１１／３はその各面上に無条
件に電気絶縁体５１，５２又は５１／１，５２／
１を有する必要はなく、より有利な取付条件下で
は、該センサ素子１１／２又は１１／３の唯一つ
の面上にだけ、発熱体を有する電気絶縁体が配置
されていれば十分である。

第６図には１部分からなる加熱可能なセンサ素
子１１／４が図示され；該素子は第２図の加熱可
能なセンサ素子１１とは、（第２図の）固体電解
質板３０の代りに構成単位４４／４の担体として
電気絶縁体３９／４を使用する点で異なる。この
構造の利点は、比較的高価な固体電解質３０／４
を前記の構成単位の場合よりも僅少量必要とする
ことであり、その結果固体電解質３０／４の板の
厚さを0.8mmから約50μに減らすことができる。こ
の実施例の場合、発熱体４０／４は電気絶縁体３
９／４の裏側に設けられている。

第７図には、別の１部分からなる加熱可能なセ
ンサ素子１１／５が図示され、該素子は２つの発
熱体４０／５及び４６／５を備え、この場合全構
成単位４４／５の担体としては該構成単位４４／
５の外側に存在する電気絶縁体５１／２が役立
つ。この実施例の場合、比較的薄い板状の固体電
解質３０／５を使用することもでき；その他の構
造は大体において第４図の加熱可能なセンサ素子
１１／２の構造に一致する。この第７図に図示さ
れた加熱可能なセンサ素子１１／５は、特に大規
模製造に好適である。

第２図に記載された構成単位４４の場合、酸素
分子に対して規定された拡散抵抗を有しなければ
ならない多孔質被覆層３４は、これを導体路３３
を有する測定電極３２ないしは固体電解質板３０
上に圧着しかつ引続き灼熱することによつて設け
た。この方法の代りに、第８図及び第９図に図示
されたように、固体電解質３０／６は試料ガスに
近い末端部分に、測定電極３２／６が延びる平ら
な凹み５５（又はスリツト又は段部）を設けるこ
とができ、次いで該凹みを多孔質被覆層３４／６
で充填することができ；こうして電極３２／６と
電極３６／６との間に酸素イオンに対して高い伝
導性を有する高度に圧縮された固体電解質帯域が
得られる。凹み５５から導出され測定電極３２／
６に接続された導体路３３／６は、酸素分子に対
し不透過性の被覆層５６を備え、該層はセラミツ
クガラス又は類似物からなりかつ測定信号の擬似
を阻止する。このような加熱可能なセンサの他の
構成は、第２図〜第７図により行なうことができ
る。

多孔質被覆層を製造するための他の良好な別法
は、板状の被覆層を別個に製造し、それを測定電
極を備える固体電極質板上に、第２図〜第７図に
図示された構成によるか又は第８図及び第９図に
図示された配置に従つて設けることである。予め
製造された被覆層を固体電解質に凹みを有する第
８図に図示された構造に使用する場合、被覆層と
固体電解質との間の側方の間隙は高融点ガラスで
密封充填することができる。この被覆層を別個に
製造すれば有利に、酸素分子に対する規定された
拡散抵抗を、しかも物質量の選択により及び／又
は被覆層を成形する際の特定の圧力及び／又は気
孔形成剤の使用によりならびに機械的切削加工に
よつて調節することが可能となる。

最初に、ケーシング１３内か又は金属スリーブ
１９内でのセンサ素子１１の保持及び密封は、前
記の実施例に拘束されずかつ本発明の対象でな
い。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すもので、第１図は、
拡大して図示された本発明による測定フイーラの
縦断面図であり；第２図は第１図による測定フイ
ーラの拡大して図示されたセンサ素子の分解斜視
図であり（この場合板状固体電解質はセンサ素子
及びその上に層状に設けられた発熱体の支持体で
ある）；第３図は、第２図のものに一致するが、
付加的に第２発熱体を備えている測定フイーラ−
センサ素子の（第２）実施態様の分解斜視図であ
り；第４図は、測定フイーラ−センサ素子の第３
実施態様の分解斜視図であり（この場合固体電解
質板の２つの大きな面上には固体電解質板に向い
ている層状発熱体を有する平面状電気絶縁体が１
つ宛載つている）；第５図は、第４図のものに一
致するが、電気絶縁体上に設けられた層状発熱体
が固体電解質板から離反している測定フイーラ−
センサ素子の（第４）実施態様の分解斜視図であ
り；第６図は、測定フイーラ−センサ素子の第５
実施態様の分解斜視図であり（この場合構成単位
の真中に板状電気絶縁体が支持体として役立ちか
つ層状発熱体はセンサ素子とともに組込まれてい
る；第７図は、測定フイーラ−センサ素子の第６
実施態様の分解斜視図であり、（この場合外側に
配置された電気絶縁体は支持体として役立ち、か
つ２つの層状発熱体は構成単位中に組込まれてい
る）；第８図は、多孔質被覆層が固体電解質板の
凹みに配置されている測定フイーラ−センサ素子
の試料ガス側の末端部分の縦断面図であり、第９
図は第８図による固体電解質板の平面図である。１０……測定フイーラ、１１，１１／１，１
１／２，１１／３，１１／４，１１／５……セン
サ素子、１２……縦孔、１３……金属ケーシン
グ、１４……固定部材、１５……真中の穿孔、１
６……段部、１７……雄ねじ、１８……六角状
部、１９……金属スリーブ、２０……絶縁挿入
体、２１……内部に向つて押出された突起、２２
……内部に向つて押出された張力軽減突出部、２
３……ストツパー−リング状金属円板、２４……
環状肩部、２５……中心穿孔、２６，２７……密
封肩、２８……接続導線、２９……測定フイーラ
−接続ケーブル、３０，３０／２，３０／４，３
０／５，３０／６……固体電解質、３１，３５…
…大きい面、３２，３６，３２／６，３６／２，
３６，６……電極、３３，３７，４１，４２，４
７，４８，３３／６，４１／２，４２／２，４
７／２，４８／２，４１／３，４２／３，４７／
３，４８／３……導体路、３４，３４／１，３
４／２，３４／６……多孔質被覆層、３８……電
気絶縁層、３９，５１，５２，３９／４，５１／
１，５２／１……電気絶縁体、４０，４６，４
０／１，４０／２，４０／３，４０／４，４０／
５，４６／２，４６／３，４６／５……層状発熱
体、４３，４９，４３／２，４３／３，４３／
５，４９／３……保護層、４４，４５，４４／
１，４４／４，４４／５……構成単位、５０……
孔又はスリツト状穿孔、５３……孔又はスリツト
状通過口、５３／１……試料ガス−通過口、５４
……通過口、５５……凹み、５６……被覆層。

Claims

【特許請求の範囲】１金属ケーシングが酸素測定フイーラを固定す
るために測定ガスを導く管中でセンサ素子保持部
材として使用され、センサ素子が大体において平
らな酸素イオン伝導性の固体電解質を有し、該固
体電解質がその１つの大きい面上で測定ガスに曝
されるガス透過性測定電極を支持しかつその他方
の大きい面上で基準電極を支持し、その際基準電
極及び測定電極には電圧を印加することができ、
センサ素子の少なくとも１つの大きい面上には層
状のガス透過性電気絶縁体が設けられており、該
電気絶縁体は固体電解質の１つの大きい面とほぼ
同一の寸法を有しかつ電極にできるだけ近接して
いる導体路状発熱体を支持する、ガス用、殊に内
燃機関の排ガス用のポーラログラフ酸素測定フイ
ーラにおいて、層状測定電極３２及び層状基準電
極３６を支持する平らな固体電解質３０が縦方向
に金属ケーシング１３の縦孔１２中に配置され、
測定電極３２が層状被覆３４を備え、該層状被覆
の多孔度が該被覆３４を通じて拡散される全部の
酸素分子を電極３２，３６間に存在する電圧によ
り酸素イオンとして固体電解質３０に導通させる
ように定められていることを特徴とする、ガス用
のポーラログラフ酸素測定フイーラ。２測定ガスの酸素分子に対する拡散抵抗を形成
する層状被覆３４が特定の多孔度の圧縮体であ
る、特許請求の範囲第１項記載のポーラログラフ
酸素測定フイーラ。３固体電解質３０／６が凹み５５を有し、その
底に測定電極３２／６が設けられており、拡散障
壁として役立つ層状被覆３４／６が大体において
凹み５５を充填し、この場合該凹み中に存在する
測定電極３２／６は完全に被覆されている、特許
請求の範囲第２項記載のポーラログラフ酸素測定
フイーラ。４電極３２，３６及び発熱体４０，４６に接続
された導体路３３，３７；４１，４２；４７，４
８が金属ケーシング１３を、測定ガスから遠くの
測定フイーラ１０の接続部範囲まで貫通し有利に
その範囲で接続接点として形成されている、特許
請求の範囲第１項から第３項までのいずれか１項
に記載のポーラログラフ酸素測定フイーラ。５電気絶縁体３９；３９／４；５１／２がセン
サ素子１１，１１／４，１１／５と層状に強固に
結合している、特許請求の範囲第１項から第４項
までのいずれか１項に記載のポーラログラフ酸素
測定フイーラ。６電気絶縁体５１，５２；５１／１，５２／１
が強固にセンサ素子１１／２，１１／３に接しか
つ少なくとも１つの固定部材１４によつて結合さ
れている、特許請求の範囲第１項から第４項まで
のいずれか１項に記載のポーラログラフ酸素測定
フイーラ。７発熱体４０／２，４６／２；４０／５が特に
保護層４３／２，４３／５で被覆され、この場合
特に電気絶縁体５１，５２；５１／２のセンサ素
子１１／２，１１／５に面した側に設けられてい
る、特許請求の範囲第５項又は第６項に記載のポ
ーラログラフ酸素測定フイーラ。８センサ素子１１，１１／１…及び該素子に所
属せる、発熱体４０，４１／１…；４６，４６／
１，…で被覆された電気絶縁体３９；５１，５
１／１，…；５２，５２／２，…が、有利に薄板
からなる少なくとも１つの固定部材１４によつて
金属ケーシング１３の縦孔１２中に保持され、か
つ有利には同じく金属ケーシング１３中に密封性
に取り付けられている、特許請求の範囲第１項か
ら第７項までのいずれか１項に記載のポーラログ
ラフ酸素測定フイーラ。