JPS6338101A - 鉄検出装置 - Google Patents
鉄検出装置Info
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- JPS6338101A JPS6338101A JP61182354A JP18235486A JPS6338101A JP S6338101 A JPS6338101 A JP S6338101A JP 61182354 A JP61182354 A JP 61182354A JP 18235486 A JP18235486 A JP 18235486A JP S6338101 A JPS6338101 A JP S6338101A
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- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 78
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Landscapes
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、工作機械や産業機械において移動又は回転す
る物体の特定の位置を非接触で精密に検出するだめの鉄
検出装置に関するものである。
る物体の特定の位置を非接触で精密に検出するだめの鉄
検出装置に関するものである。
本発明は、移動(又は回転)体に鉄片を埋込み、この鉄
片に対接して可飽和コイル及び磁石より成る検出ヘッド
を置き、このヘッドの検出面を鉄片が移動するとき直線
的に変化する直流電圧を得ることにより、一定区間連続
的に位置の検出ができるようKしたものである。
片に対接して可飽和コイル及び磁石より成る検出ヘッド
を置き、このヘッドの検出面を鉄片が移動するとき直線
的に変化する直流電圧を得ることにより、一定区間連続
的に位置の検出ができるようKしたものである。
スケール装置の原点又は移動台の定点を非接触で且つ高
精夏で検出する装置として、従来、磁石片とこの磁石片
の生ずる磁界を検出する高、感度の磁気センサとを組合
せたものが使用されている。
精夏で検出する装置として、従来、磁石片とこの磁石片
の生ずる磁界を検出する高、感度の磁気センサとを組合
せたものが使用されている。
この磁気センサは、可飽和コイルを用いたものである。
この従来の装置では、磁石片の位置を検出するようにな
っており磁石片を取付ける必要があるため、用途が制約
される欠点がある。
っており磁石片を取付ける必要があるため、用途が制約
される欠点がある。
また、ほかに、ホールy、4子又は通気抵抗素子に永久
磁石な組合せた磁気センサと使用し、鉄片等の磁性体を
検出するものがある。しかし、この11の己気検出器は
、感度が低(1ンサと被検出体の間隔を非常に小さくす
る必要があり、高い位註清度が得られない欠点がある。
磁石な組合せた磁気センサと使用し、鉄片等の磁性体を
検出するものがある。しかし、この11の己気検出器は
、感度が低(1ンサと被検出体の間隔を非常に小さくす
る必要があり、高い位註清度が得られない欠点がある。
本発明は、検出面に平行な可飽和コイルと検出面に画点
の方向に磁化された永久磁石とをもつ検出ヘッドを用い
、検出面に鉄片が接近したときに可飽和コイルに加わる
磁石磁束の変化を磁気検出回路により検出するようにし
た。
の方向に磁化された永久磁石とをもつ検出ヘッドを用い
、検出面に鉄片が接近したときに可飽和コイルに加わる
磁石磁束の変化を磁気検出回路により検出するようにし
た。
可飽和コイルと永久磁石の位置関係により、検出面を鉄
片が移動するとき磁気検出回路は正及び負の出力電圧を
生じる。
片が移動するとき磁気検出回路は正及び負の出力電圧を
生じる。
第1図は、本発明に用いる鉄検出ヘッドの基本構造を示
す断面図である。同図に2いて、tl)は非磁性体の容
器、(2)はその検出平面、(3)は可飽和コイル、(
4)は永久磁石、(5)は中継端子を示す。容器(1)
は、例えば厚さ0.2ミlJの非磁性ステンレスの板を
外径10ミリの円筒状に成形したものである。
す断面図である。同図に2いて、tl)は非磁性体の容
器、(2)はその検出平面、(3)は可飽和コイル、(
4)は永久磁石、(5)は中継端子を示す。容器(1)
は、例えば厚さ0.2ミlJの非磁性ステンレスの板を
外径10ミリの円筒状に成形したものである。
可飽和コイル(3)は、例えば厚さ0.1ミリ、幅3ミ
リ、長さ5ミリのパーマロイ薄板に互いに逆向きの1対
の巻線を施したもの(巻数は100回)で、検出面(2
)に平行になるよ5容器(IIの底面に密着させである
。永久磁石(4)は、例えば厚さ1.6ミlJ、外径8
ミリの円板状のプラスチック磁石で、厚さくZ軸)方向
に磁化し、可飽和コイル(3)の上に重ねである。
リ、長さ5ミリのパーマロイ薄板に互いに逆向きの1対
の巻線を施したもの(巻数は100回)で、検出面(2
)に平行になるよ5容器(IIの底面に密着させである
。永久磁石(4)は、例えば厚さ1.6ミlJ、外径8
ミリの円板状のプラスチック磁石で、厚さくZ軸)方向
に磁化し、可飽和コイル(3)の上に重ねである。
本例において、容器(1)の外側の検出面(2)で測定
した磁界の強さは160ガウスであった。可飽和コイル
(3)の巻線は、中継端子(5)を経てケーブルを介し
第2図の磁気検出回路に接続されろ。
した磁界の強さは160ガウスであった。可飽和コイル
(3)の巻線は、中継端子(5)を経てケーブルを介し
第2図の磁気検出回路に接続されろ。
第2図は、検出ヘッドと組合せて使用するブリッジ型磁
気検出回路の例を示す図である。同図において、O20
は例えば50KHzの高周波パルス発振器で、この場合
パルスの極性は一定でパルス幅シよ1μsである。R3
は直列抵抗、Dl及びD2はダイオード″、r1及びr
2は出力抵抗、C1,C2及びC3は容量、(力及び(
8)は出力端子を示す。可飽和コイル(3)は、パーマ
ロイの可飽和コア(6)と互いに逆方向の巻線Ll、L
2より成り、巻線L1 * R2と2抵抗R8,R8は
ブリッジの4辺を構成している。可飽和コイル(3)の
長手(X軸)方向に磁界が加わると、出力端子(7)、
(81に出力電圧を生ずる。上述の磁気検出回路では
、X軸方向の磁界が±50ガウスの範囲まで出力は直線
的で±6ボルトの電圧を生じ、±100ガウスで飽和し
て約10ボルトの一定出力を生じる。可飽和コイル(3
)に加わる磁界がX軸に直角なY軸又はZ軸方向の場合
、殆ど出力を生じない。
気検出回路の例を示す図である。同図において、O20
は例えば50KHzの高周波パルス発振器で、この場合
パルスの極性は一定でパルス幅シよ1μsである。R3
は直列抵抗、Dl及びD2はダイオード″、r1及びr
2は出力抵抗、C1,C2及びC3は容量、(力及び(
8)は出力端子を示す。可飽和コイル(3)は、パーマ
ロイの可飽和コア(6)と互いに逆方向の巻線Ll、L
2より成り、巻線L1 * R2と2抵抗R8,R8は
ブリッジの4辺を構成している。可飽和コイル(3)の
長手(X軸)方向に磁界が加わると、出力端子(7)、
(81に出力電圧を生ずる。上述の磁気検出回路では
、X軸方向の磁界が±50ガウスの範囲まで出力は直線
的で±6ボルトの電圧を生じ、±100ガウスで飽和し
て約10ボルトの一定出力を生じる。可飽和コイル(3
)に加わる磁界がX軸に直角なY軸又はZ軸方向の場合
、殆ど出力を生じない。
第3図は、第1図の検出ヘッドの検出面(2)に鉄片が
接近したとき磁石(4)の発する磁束の乱れを示す図で
ある。鉄片がないとき、磁束はZ軸に対して対称であり
、可飽和コイル(3)に加わるX軸方向の磁界が0で、
磁気検出回路の出力はOである。
接近したとき磁石(4)の発する磁束の乱れを示す図で
ある。鉄片がないとき、磁束はZ軸に対して対称であり
、可飽和コイル(3)に加わるX軸方向の磁界が0で、
磁気検出回路の出力はOである。
鉄片(7)がAの位置に接近すると、磁束が図示のよう
に右寄りに変化し、可飽和コア(6)にX軸方向の磁界
を生じる。鉄片(7)がBの位置に移動すると、磁界は
左寄りになり−X方向の磁界を生じる。したがって、検
出面(2)に近辺して鉄片(7)をX鋤方向に移動させ
ると、磁気検出回路の出力が変化する。
に右寄りに変化し、可飽和コア(6)にX軸方向の磁界
を生じる。鉄片(7)がBの位置に移動すると、磁界は
左寄りになり−X方向の磁界を生じる。したがって、検
出面(2)に近辺して鉄片(7)をX鋤方向に移動させ
ると、磁気検出回路の出力が変化する。
第4図は、検出面に接近して鉄片を移動させる場合の位
置関係を示す説明図である。鉄片(7)は2方向の長さ
10ミリ、Y方向の幅20ミリ、、X方向の厚さ1ミリ
の軟鉄板とし、これを検出面と一定の間隔dを保ってX
方向に移動させたとき、磁気検出回路の出力は第5図の
ようになる。
置関係を示す説明図である。鉄片(7)は2方向の長さ
10ミリ、Y方向の幅20ミリ、、X方向の厚さ1ミリ
の軟鉄板とし、これを検出面と一定の間隔dを保ってX
方向に移動させたとき、磁気検出回路の出力は第5図の
ようになる。
第5図の出力曲線は、鉄片(7)が中心に来たときO電
圧でその前後において出力はほぼ直線的に変化しており
、傾斜は5ボルト/1ミリである。
圧でその前後において出力はほぼ直線的に変化しており
、傾斜は5ボルト/1ミリである。
d=0.5ミリのとき出力は±6ボルトになり、d=2
ミリでも±2ボルトの出力が得らnる。磁気検出回路の
中心のドリフトは非常に少なく10℃の温度変化で5m
V以下と安定しているので、10℃の温度変化に対し1
μmの精度で位置検出ができる。
ミリでも±2ボルトの出力が得らnる。磁気検出回路の
中心のドリフトは非常に少なく10℃の温度変化で5m
V以下と安定しているので、10℃の温度変化に対し1
μmの精度で位置検出ができる。
第6図は、X方向に長い鉄板を検出ヘッドの検出面から
dの間隔を保って移動させたときの磁気検出回路の出力
曲線を示す。鉄板の寸法は、X方向の長さ30ミリ、Y
方向の4xOミ+J、2方向の一スさ1ミリである。こ
の場合は、鉄板の93で正及び負の山を生じ、中心部で
は出力はOになる。
dの間隔を保って移動させたときの磁気検出回路の出力
曲線を示す。鉄板の寸法は、X方向の長さ30ミリ、Y
方向の4xOミ+J、2方向の一スさ1ミリである。こ
の場合は、鉄板の93で正及び負の山を生じ、中心部で
は出力はOになる。
よって、本発明による鉄検出装置は、鉄片の端を検出し
うるが均等に拡がる鉄板は検出できない。
うるが均等に拡がる鉄板は検出できない。
上述の実施例では、小さい形状で弱い磁石を使用したが
、磁石の磁界を強くすれば磁気検出回路の出力をもつと
太き(することができる。また、磁石の寸法を大きくし
ても、間隔dをもつと大きくして同等の出力を得ること
ができる。
、磁石の磁界を強くすれば磁気検出回路の出力をもつと
太き(することができる。また、磁石の寸法を大きくし
ても、間隔dをもつと大きくして同等の出力を得ること
ができる。
これまでの説明では被検出体を鉄片と述べてきたが、残
留磁気の少ない磁性体であれば、鉄に限らずフェライト
でも鋳物でもよい。残留磁気が大きい被検体は、位置検
出精度を下げるので好ましくない。
留磁気の少ない磁性体であれば、鉄に限らずフェライト
でも鋳物でもよい。残留磁気が大きい被検体は、位置検
出精度を下げるので好ましくない。
本発明の鉄検出装置は、位置検出の外にも、例えば多(
のねじ又はナツトが正規の位置にあるかどうかを非接触
で検出するのに利用できる。例えば、第7図のように軸
の回りに回転する装置の瑞面な等間隔に多数のねじで締
付けである場合、図示のように検出ヘッドを配置すると
、ねじが欠落したり締込み不足で出ていたりする不良の
検出が容易である。更に、検出ヘッドによる出力はねじ
の1つ1つに対応して出るので、エンコーターとして回
転体の位置検出にも応用できる。
のねじ又はナツトが正規の位置にあるかどうかを非接触
で検出するのに利用できる。例えば、第7図のように軸
の回りに回転する装置の瑞面な等間隔に多数のねじで締
付けである場合、図示のように検出ヘッドを配置すると
、ねじが欠落したり締込み不足で出ていたりする不良の
検出が容易である。更に、検出ヘッドによる出力はねじ
の1つ1つに対応して出るので、エンコーターとして回
転体の位置検出にも応用できる。
以上説明したとおり、本発明によれば、次の如き大きな
効果が得られる。
効果が得られる。
1)比較的弱い磁石を使用しても、鉄片などの磁性体を
検出して太きい出力電圧を発生させることができる。
検出して太きい出力電圧を発生させることができる。
2)被検体と検出ヘッドの間隔を2ミリ以上に大きくし
ても、なお大きな出力が得られる。
ても、なお大きな出力が得られる。
3)従来の磁石片の位置を検出するものと比べて、同等
の精度と安定度が得られ、磁石片を使わず鉄片等で置き
換えられるので、磁石片の場合のように鉄粉が付着して
位置検出精度を下げることもなく、非常に有利である。
の精度と安定度が得られ、磁石片を使わず鉄片等で置き
換えられるので、磁石片の場合のように鉄粉が付着して
位置検出精度を下げることもなく、非常に有利である。
4)直線上の位置検出だけでな(、回転体におゆる多数
のねじの検査や回転体の位置検出にも利用できる。
のねじの検査や回転体の位置検出にも利用できる。
第1図は本発明の検出ヘッドの基本構造を示す断面図、
第2図は検出ヘッドと組合せて用いる磁気検出回路の例
を示す図、第3図は第1図の検出ヘッドにおいて鉄片に
より磁束が変化する状態を示す説明図、第4図は検出ヘ
ッドと鉄片の位置関係を示す図、第5図は鉄片なX方向
に移動したときの出力曲線図、第6図はX方向に長い鉄
板を用いた場合の出力曲線図、第7図は本発明の応用例
を示す側面図である。
第2図は検出ヘッドと組合せて用いる磁気検出回路の例
を示す図、第3図は第1図の検出ヘッドにおいて鉄片に
より磁束が変化する状態を示す説明図、第4図は検出ヘ
ッドと鉄片の位置関係を示す図、第5図は鉄片なX方向
に移動したときの出力曲線図、第6図はX方向に長い鉄
板を用いた場合の出力曲線図、第7図は本発明の応用例
を示す側面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 検出平面をもつ非磁性体の容器の中に上記検出平面に平
行に可飽和コイルを置き、その上に上記検出平面に垂直
な方向に磁化された永久磁石を設けて成る検出ヘッドと
、 上記可飽和コイルの互いに逆方向に巻回された1対の巻
線をブリッジの2辺とするブリッジ型磁気検出回路とを
具え、 上記検出平面に鉄片が接近したとき正及び負の出力電圧
を生ずることを特徴とする鉄検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61182354A JPS6338101A (ja) | 1986-08-02 | 1986-08-02 | 鉄検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61182354A JPS6338101A (ja) | 1986-08-02 | 1986-08-02 | 鉄検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338101A true JPS6338101A (ja) | 1988-02-18 |
Family
ID=16116844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61182354A Pending JPS6338101A (ja) | 1986-08-02 | 1986-08-02 | 鉄検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6338101A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011008647A3 (en) * | 2009-07-14 | 2011-06-03 | Connor Martin C | Electromagnetic antenna and method of use for detecting objects |
| JP2013024779A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Murata Mach Ltd | 磁気式変位センサと変位検出方法 |
-
1986
- 1986-08-02 JP JP61182354A patent/JPS6338101A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011008647A3 (en) * | 2009-07-14 | 2011-06-03 | Connor Martin C | Electromagnetic antenna and method of use for detecting objects |
| JP2013024779A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Murata Mach Ltd | 磁気式変位センサと変位検出方法 |
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