JPS6338314U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6338314U JPS6338314U JP13023386U JP13023386U JPS6338314U JP S6338314 U JPS6338314 U JP S6338314U JP 13023386 U JP13023386 U JP 13023386U JP 13023386 U JP13023386 U JP 13023386U JP S6338314 U JPS6338314 U JP S6338314U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bell gear
- gear
- inner bell
- springs
- pins
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案によるインナーベルジヤ押し上
げ台の上面図Ａと側面図Ｂ、第２図は本考案のイ
ンナーベルジヤ押し上げ台を取付けたベルジヤ式
縦形半導体製造装置の構造概要図である。 １……下リング、１ａ……ピン、２……上リン
グ、３……スプリング、４……インナーベルジヤ
押し上げ台、５……インナーベルジヤ、６……水
冷ベルジヤ、７……サポート、８……ベース部、
９……爪、１０……サセプタ、１１……ウエハガ
ス、１２……ノズル。
げ台の上面図Ａと側面図Ｂ、第２図は本考案のイ
ンナーベルジヤ押し上げ台を取付けたベルジヤ式
縦形半導体製造装置の構造概要図である。 １……下リング、１ａ……ピン、２……上リン
グ、３……スプリング、４……インナーベルジヤ
押し上げ台、５……インナーベルジヤ、６……水
冷ベルジヤ、７……サポート、８……ベース部、
９……爪、１０……サセプタ、１１……ウエハガ
ス、１２……ノズル。
Claims (1)
- 水冷式ステンレス鋼製のベルジヤとその内部の
石英製インナーベジヤを反応室として有する縦形
半導体製造装置において、前記ベルジヤの円板形
ベース上に前記インナーベルジヤの側壁下端直下
の３個所以上複数の位置に、下リングと、下リン
グに取付けた複数のピンと、その各ピンにはめ込
んだスプリングと、これらのスプリングの上にの
せた上リングとより成るインナーベルジヤ押上げ
台を設けたことを特徴とするインナーベルジヤの
外部ベルジヤへの密着機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13023386U JPS6338314U (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13023386U JPS6338314U (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338314U true JPS6338314U (ja) | 1988-03-11 |
Family
ID=31027535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13023386U Pending JPS6338314U (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6338314U (ja) |
-
1986
- 1986-08-28 JP JP13023386U patent/JPS6338314U/ja active Pending