JPS6338574A - 真空容器における内張り材の剥離防止方法 - Google Patents
真空容器における内張り材の剥離防止方法Info
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- JPS6338574A JPS6338574A JP18314186A JP18314186A JPS6338574A JP S6338574 A JPS6338574 A JP S6338574A JP 18314186 A JP18314186 A JP 18314186A JP 18314186 A JP18314186 A JP 18314186A JP S6338574 A JPS6338574 A JP S6338574A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、真空蒸発装置における蒸発缶のように内部を
大気圧以下の減圧状態にした真空容器において、該容器
の内面に耐蝕性の内張り材をライニングする場合、この
内張り材が容器内の真空によって剥離するのを防止する
方法に関するものである。
大気圧以下の減圧状態にした真空容器において、該容器
の内面に耐蝕性の内張り材をライニングする場合、この
内張り材が容器内の真空によって剥離するのを防止する
方法に関するものである。
一般に腐蝕性の流体を取り扱う真空容器では、当該真空
容器の母材板は鋼板等の比較的安価な材料で構成し、該
母材板の内面に、ステンレス又はチタン等のように耐蝕
性を有する合圧板製の内張り材をライニングすることが
行なわれていることは周知の通りである。
容器の母材板は鋼板等の比較的安価な材料で構成し、該
母材板の内面に、ステンレス又はチタン等のように耐蝕
性を有する合圧板製の内張り材をライニングすることが
行なわれていることは周知の通りである。
そして従来このライニングは、第５図及び第６図に示す
ように真空容器ｌにおける母材板２の内面に、適宜大き
さの内張り材３を複数枚並べて敷設し、該各内張り材３
の全周囲を、母材ｊｅｔ、 ２に対して各内張り材３の
相互間の隙間を埋めるように肉盛り溶接４する一方、前
記各内張り材３には、複数個の穴５を縦方向及び横方向
に適宜間隔で穿設し、各内張り材３を、母材板２に対し
て前記６穴５の部分において当該穴５を埋めるように肉
盛り溶接６する（このように、内張り材３に穴５を穿設
し、この穴５を埋めるように肉盛り溶接６することを栓
溶接又はプラグ切接と言う）ことにより、内張り材３の
工１１離を防止するようにしている。
ように真空容器ｌにおける母材板２の内面に、適宜大き
さの内張り材３を複数枚並べて敷設し、該各内張り材３
の全周囲を、母材ｊｅｔ、 ２に対して各内張り材３の
相互間の隙間を埋めるように肉盛り溶接４する一方、前
記各内張り材３には、複数個の穴５を縦方向及び横方向
に適宜間隔で穿設し、各内張り材３を、母材板２に対し
て前記６穴５の部分において当該穴５を埋めるように肉
盛り溶接６する（このように、内張り材３に穴５を穿設
し、この穴５を埋めるように肉盛り溶接６することを栓
溶接又はプラグ切接と言う）ことにより、内張り材３の
工１１離を防止するようにしている。
この場合、容器１内は真空であるのに対し、内張り材３
と母材板６との隙間は大気圧であるため、内張り材３の
剥離防止には栓溶接の数を増す必要がある。
と母材板６との隙間は大気圧であるため、内張り材３の
剥離防止には栓溶接の数を増す必要がある。
また、内張り材を真空容器における母材板に対して熔接
することができない場合には、真空容器における母材板
の内面に並べて敷設した複数攻の内張り材を、Ｖ；接同
士を熔接にて接合する一方、各内張り材を、縦方向及び
横方向に適宜間隔の箇所において母材板に対してリベッ
ト又はねじにて係止することにより、内張り材３の剥離
を防止するようにしている。
することができない場合には、真空容器における母材板
の内面に並べて敷設した複数攻の内張り材を、Ｖ；接同
士を熔接にて接合する一方、各内張り材を、縦方向及び
横方向に適宜間隔の箇所において母材板に対してリベッ
ト又はねじにて係止することにより、内張り材３の剥離
を防止するようにしている。
しかしこのように内張り材３の２（Ｊ ｍを防止するた
めに、当該内張り材３を、母材板２に対して複′！ｊ！
箇所において栓溶接するか、或いはりベント又はねじに
て係止することは、内張り材３に対して、栓溶接用の穴
又はリベット用の穴若しくはねじ用の穴を多数個ドリル
又はパンチにより穿設しなければならないから、これに
多大の手数を要するのである。
めに、当該内張り材３を、母材板２に対して複′！ｊ！
箇所において栓溶接するか、或いはりベント又はねじに
て係止することは、内張り材３に対して、栓溶接用の穴
又はリベット用の穴若しくはねじ用の穴を多数個ドリル
又はパンチにより穿設しなければならないから、これに
多大の手数を要するのである。
しかも、前者の栓溶接を行う場合には、熔接に際して母
材板の成分がまきあがって溶接表面の成分が変化し、例
えば母材板が炭素鋼で、内張り材がステンレス鋼である
とき、炭素鋼の炭素成分がステンレス鋼の溶接表面に析
出し、耐蝕性が低下することになるから、内張り材の板
厚さを厚くシたり、栓溶接を層状に複数回に・分けて行
うようにしなければならないのである。
材板の成分がまきあがって溶接表面の成分が変化し、例
えば母材板が炭素鋼で、内張り材がステンレス鋼である
とき、炭素鋼の炭素成分がステンレス鋼の溶接表面に析
出し、耐蝕性が低下することになるから、内張り材の板
厚さを厚くシたり、栓溶接を層状に複数回に・分けて行
うようにしなければならないのである。
また、後者のリベット又はねじによる方法も、多数本の
りベントのかしめ付け、ねじ止めに多大の手数を必要と
する上に、リベット又はねじからの漏洩を防止するため
に、複故本のリベット又はねじの頭を内張り材に対して
熔接するようにしなければならないから、多大の手数を
必要とするのである。
りベントのかしめ付け、ねじ止めに多大の手数を必要と
する上に、リベット又はねじからの漏洩を防止するため
に、複故本のリベット又はねじの頭を内張り材に対して
熔接するようにしなければならないから、多大の手数を
必要とするのである。
その上、前記栓溶接や、リベット又はねし止めによる方
法では、熔接の箇所が多く、溶接欠陥が発生する確率が
増大する点も問題であった。
法では、熔接の箇所が多く、溶接欠陥が発生する確率が
増大する点も問題であった。
本発明は、前記のように多大の手数を要する栓溶接や、
リベット止め又はねし止めを無くするか、或いは、栓溶
接や、リベット止め又はねじ止めする数を低減できる内
張り材の剥離防止方法を提供するものである。
リベット止め又はねし止めを無くするか、或いは、栓溶
接や、リベット止め又はねじ止めする数を低減できる内
張り材の剥離防止方法を提供するものである。
このため本発明は、内面に内張り材をライニングした真
空容器において、該真空容器を構成する母材板に、当該
母材板と前記内張り材との隙間に連通ずる開口部を穿設
し、該開口部を、前記真空容器内の真空度以上の真空度
を有する真空系に接続したものである。
空容器において、該真空容器を構成する母材板に、当該
母材板と前記内張り材との隙間に連通ずる開口部を穿設
し、該開口部を、前記真空容器内の真空度以上の真空度
を有する真空系に接続したものである。
真空容器内を真空する前において、当該真空容器におけ
る母材板と、その内面にライニングした内張り材との間
の隙間に連通ずる開口部を、例えば真空ポンプ又は蒸気
エゼクタ等の真空系に接続して、前記母材板と内張り材
との間の隙間を、前記真空容器内における真空度よりも
高い真空状態にする。
る母材板と、その内面にライニングした内張り材との間
の隙間に連通ずる開口部を、例えば真空ポンプ又は蒸気
エゼクタ等の真空系に接続して、前記母材板と内張り材
との間の隙間を、前記真空容器内における真空度よりも
高い真空状態にする。
すると、内張り材が母材板の内面に対して密着すること
になり、この密接状態は、真空容器内が大気圧以下の真
空になった場合においても保持されるから、内張り材が
真空容器内の真空によって剥離するのを防止することが
できる。
になり、この密接状態は、真空容器内が大気圧以下の真
空になった場合においても保持されるから、内張り材が
真空容器内の真空によって剥離するのを防止することが
できる。
この場合、前記母材板と内張り材との間の隙間に連通ず
る開口部は、前記隙間を真空にしたあと閉じるようにし
ても良いが、当該開口部から真空系への吸引は、真空容
器内を真空に維持する間中において連続的に又は間欠的
に行うようにしても良い。
る開口部は、前記隙間を真空にしたあと閉じるようにし
ても良いが、当該開口部から真空系への吸引は、真空容
器内を真空に維持する間中において連続的に又は間欠的
に行うようにしても良い。
従って、本発明によると、直空容器における母材板の内
面にライニングした内張り材を、母材板に対して栓溶接
する数や、リベット止め又はねし止めする数を少な（す
ることができるか、或いは場合によっては栓溶接やリベ
ット止め又はねじ止めを無くすることができるから、ラ
イニングに要するコストを著しく低減できるのである。
面にライニングした内張り材を、母材板に対して栓溶接
する数や、リベット止め又はねし止めする数を少な（す
ることができるか、或いは場合によっては栓溶接やリベ
ット止め又はねじ止めを無くすることができるから、ラ
イニングに要するコストを著しく低減できるのである。
しかも、母材板と内張り材との間の隙間に連通ずる開口
部における真空度の低下によって、内張り材からの漏洩
発生を迅速且つ容易に検知することができて、内張り材
に漏洩が生じていることの発見遅れによる母材板の腐食
を低減できると共に、内張り材のライニング施行後にお
いて、前記開口部から母材板と内張り材との間の隙間に
比較的低圧の空気を吹き込むことによって、内張り材に
おける欠陥箇所を容易に発見することができる効果を有
する。
部における真空度の低下によって、内張り材からの漏洩
発生を迅速且つ容易に検知することができて、内張り材
に漏洩が生じていることの発見遅れによる母材板の腐食
を低減できると共に、内張り材のライニング施行後にお
いて、前記開口部から母材板と内張り材との間の隙間に
比較的低圧の空気を吹き込むことによって、内張り材に
おける欠陥箇所を容易に発見することができる効果を有
する。
以下本発明の実施例を図面（第１図〜第３図）について
説明すると、図において２は、真空容器１の外殻を構成
する炭素鋼等の母材板、３は、該母材板２の内面にライ
ニングする適宜大きさく例えば、幅５００■１１長さ１
５００龍）のステンレス鋼製内張り材を各々示し、前記
内張り材３は、その複数枚が前記母材板２の内面に並べ
て敷設され、且つ、該各内張り材３の全周囲は、母材板
２に対して各内張り材３の相互間の隙間を埋めるように
肉盛り溶接４されている。そして、前記母材４反２と内
張り材３との間の隙間を符号７で示す。
説明すると、図において２は、真空容器１の外殻を構成
する炭素鋼等の母材板、３は、該母材板２の内面にライ
ニングする適宜大きさく例えば、幅５００■１１長さ１
５００龍）のステンレス鋼製内張り材を各々示し、前記
内張り材３は、その複数枚が前記母材板２の内面に並べ
て敷設され、且つ、該各内張り材３の全周囲は、母材板
２に対して各内張り材３の相互間の隙間を埋めるように
肉盛り溶接４されている。そして、前記母材４反２と内
張り材３との間の隙間を符号７で示す。
符号８は、前記内張り材３と同じ材料製の蓋板を示し、
該蓋板８は、前記各内張り材３の隣接部において両内張
り材３に対して全周溶接されており、この蓋板８の裏面
の箇所においては内張り材３の母材板２に対する溶接を
省略して通路９を形成することにより、各内張り材３の
各々と母材板２との間の隙間７を、前記Ｍ板８によって
形成した通路９を介して相互に連通ずるように構成する
。
該蓋板８は、前記各内張り材３の隣接部において両内張
り材３に対して全周溶接されており、この蓋板８の裏面
の箇所においては内張り材３の母材板２に対する溶接を
省略して通路９を形成することにより、各内張り材３の
各々と母材板２との間の隙間７を、前記Ｍ板８によって
形成した通路９を介して相互に連通ずるように構成する
。
そして、前記真空容器１における母材板２には、前記隙
間７に連通ずる開口部１０を設けて、この開口部１０を
、真空ポンプ１１等の真空系に接続することによって、
前記隙間７を、前記真空容器ｌにおける真空度以上の真
空度にする。
間７に連通ずる開口部１０を設けて、この開口部１０を
、真空ポンプ１１等の真空系に接続することによって、
前記隙間７を、前記真空容器ｌにおける真空度以上の真
空度にする。
このように各内張り材３と母材板との間の隙間７を、真
空容器１内における直空度よりも高い真空にすることに
より、各内張り材３は、前記隙間７の真空によって母材
板２に密着するから、当該各内張り材３の剥離を防止す
ることができるのである。
空容器１内における直空度よりも高い真空にすることに
より、各内張り材３は、前記隙間７の真空によって母材
板２に密着するから、当該各内張り材３の剥離を防止す
ることができるのである。
第４図は、容器本体１３と、蓋１４とをフランジ１５．
１６にて接合することで構成した真空容器１２の内面に
、チタン等の耐蝕性内張り材を溶接によることな（ライ
ニングした場合の実施例を示すもので、容器本体１３の
内面にライニングした内張り材１７と、及び蓋１４の内
面にライニングした内張り材１８とは共に、前記フラン
ジ１５゜１６の間に挟まれている。
１６にて接合することで構成した真空容器１２の内面に
、チタン等の耐蝕性内張り材を溶接によることな（ライ
ニングした場合の実施例を示すもので、容器本体１３の
内面にライニングした内張り材１７と、及び蓋１４の内
面にライニングした内張り材１８とは共に、前記フラン
ジ１５゜１６の間に挟まれている。
そして、容器本体１３及び蓋１４を構成する母材板には
、その内面と各内張り材１７．１８との間の隙間１９．
２０に連通ずる開口部２１．２２を各々設けて、この両
開口部２１．２２を、真空ポンプ２３等の真空系に接続
して、前記隙間１９゜２０を、真空容器１２における真
空度以上の真空度にすることにより、各内張り材１７．
１８が容器本体１３及び盟１４の内面に密着するから、
その剥離を防止できる。
、その内面と各内張り材１７．１８との間の隙間１９．
２０に連通ずる開口部２１．２２を各々設けて、この両
開口部２１．２２を、真空ポンプ２３等の真空系に接続
して、前記隙間１９゜２０を、真空容器１２における真
空度以上の真空度にすることにより、各内張り材１７．
１８が容器本体１３及び盟１４の内面に密着するから、
その剥離を防止できる。
なお、本発明は前記実施例の場合に限らず、他の方法に
よって内張り材をライニングする場合にも通用できるこ
とは言うまでもない。
よって内張り材をライニングする場合にも通用できるこ
とは言うまでもない。
第１図乃至第４図は本発明の実施例を示し、第１図は真
空容器の内面の示す平面図、第２図は第１図のｎ−ｎ視
拡大断面図、第３図は第１図の■−ｍ視拡大断面図、第
４図は本発明の他の実施例を示す真空容器の縦断正面図
、第５図及び第６図は従来の方法を示し、第５図は真空
容器の内面の平面図、第６図は第５図のｖｒ−ｖｔ視被
拡大断面図ある。 １．１２・・・・真空容器、２・・・・母材板、３，１
７．１８・・・・内張り材、７，１９．２０・・・・隙
間、１０．２１．２２・・・・開口部、１１．２３・・
・・！１空ポンプ。 特許出願人 株式会社 笹倉機械磨作所区 Ｎ 第４図 手背１浦正書（自発） 昭和６１年 ９月１８日 １、事件の表示 特願昭６１−１８３１４１号 ２、発明の名称 真空容器における内張り材の剥離防止方法３、 ？ｌＩ
ｉ正をする者 事件との関係 特 許 出 馴 人住所
大阪市西淀用区御幣島６丁目７番５号
名称 株式会社 笹倉機械製作所４
、ｆ（埋入 住所 ■５３０大阪市北区大神橋
２丁目北１番２１号明 細 書 ６、補正の内容
空容器の内面の示す平面図、第２図は第１図のｎ−ｎ視
拡大断面図、第３図は第１図の■−ｍ視拡大断面図、第
４図は本発明の他の実施例を示す真空容器の縦断正面図
、第５図及び第６図は従来の方法を示し、第５図は真空
容器の内面の平面図、第６図は第５図のｖｒ−ｖｔ視被
拡大断面図ある。 １．１２・・・・真空容器、２・・・・母材板、３，１
７．１８・・・・内張り材、７，１９．２０・・・・隙
間、１０．２１．２２・・・・開口部、１１．２３・・
・・！１空ポンプ。 特許出願人 株式会社 笹倉機械磨作所区 Ｎ 第４図 手背１浦正書（自発） 昭和６１年 ９月１８日 １、事件の表示 特願昭６１−１８３１４１号 ２、発明の名称 真空容器における内張り材の剥離防止方法３、 ？ｌＩ
ｉ正をする者 事件との関係 特 許 出 馴 人住所
大阪市西淀用区御幣島６丁目７番５号
名称 株式会社 笹倉機械製作所４
、ｆ（埋入 住所 ■５３０大阪市北区大神橋
２丁目北１番２１号明 細 書 ６、補正の内容
Claims (1)
- （１）、内面に内張り材をライニングした真空容器にお
いて、該真空容器を構成する母材板に、当該母材板と前
記内張り材との隙間に連通する開口部を穿設し、該開口
部を、前記真空容器内の真空度以上の真空度を有する真
空系に接続したことを特徴とする真空容器における内張
り材の剥離防止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18314186A JPS6338574A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | 真空容器における内張り材の剥離防止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18314186A JPS6338574A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | 真空容器における内張り材の剥離防止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338574A true JPS6338574A (ja) | 1988-02-19 |
Family
ID=16130519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18314186A Pending JPS6338574A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | 真空容器における内張り材の剥離防止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6338574A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0639087A (ja) * | 1992-02-20 | 1994-02-15 | Takasago Denki Sangyo Kk | スロットマシン |
| US6933907B2 (en) | 2003-04-02 | 2005-08-23 | Dx Antenna Company, Limited | Variable directivity antenna and variable directivity antenna system using such antennas |
| JP2011146624A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Ulvac Japan Ltd | 真空チャンバ、真空処理装置及び真空チャンバの製造方法 |
| JP2014172042A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Tantec Gmbh | 反応装置 |
| JP2016538730A (ja) * | 2013-09-10 | 2016-12-08 | テラセミコン コーポレイション | 熱処理装置のチャンバ及びその製造方法 |
-
1986
- 1986-08-04 JP JP18314186A patent/JPS6338574A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0639087A (ja) * | 1992-02-20 | 1994-02-15 | Takasago Denki Sangyo Kk | スロットマシン |
| US6933907B2 (en) | 2003-04-02 | 2005-08-23 | Dx Antenna Company, Limited | Variable directivity antenna and variable directivity antenna system using such antennas |
| US7084829B2 (en) | 2003-04-02 | 2006-08-01 | Dx Antenna Company, Limited | Signal receiving system |
| JP2011146624A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Ulvac Japan Ltd | 真空チャンバ、真空処理装置及び真空チャンバの製造方法 |
| JP2014172042A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Tantec Gmbh | 反応装置 |
| US9457332B2 (en) | 2013-03-08 | 2016-10-04 | Tantec Gmbh | Reactor |
| JP2016538730A (ja) * | 2013-09-10 | 2016-12-08 | テラセミコン コーポレイション | 熱処理装置のチャンバ及びその製造方法 |
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