JPS6340115A - レ−ザ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザーに１し、將に例えばリングレーザージ
ャイロスコープにおけるレーザー９洞の７ライメント（
趣整）に関する。

レーザー空洞の光学的アライメントの実施は、１つのミ
ラー、通常はわん曲したミラーがレーザー空洞又はレー
ザーの組立ての間、少なくとも一部は取シ外されかつ再
調整されねばならないので、常に困難であった。ミラー
の取シ外し及びその結果の再調整は、空洞を利得媒体で
繰返し満たし、かつ正しいアライメントが得られるまで
ミラーのアライメントを点検することとなる。この繰返
えされる手順は、シール面とミラー面ｔｒｃ傷を付ける
危険並びに清浄なレーザー空洞に汚染を導入する危険′
ｔ−増大さぜる。三軸リングレーザ−ジャイロスコープ
が組立てられるとき、各ミラーが少なくとも一つの＠線
間で共有され、またレーザー発生か３つの軸で同時ＶＣ
達成されねはならないのでこの問題は勿論一層悪い。

ミラーの反射面ｒｔｃ突き轟っているねじ調整機構によ
シレーザー空洞内のミラーの角度的な配向をｖ８整する
ことは、英国特許第一００７９０６ム号及び同第２１４
、？５６６Ａ号明細書によシ公知である。これらの板構
はレーザー空洞の外側から近接し得るよう構成されるけ
れども、これらは角張った禍造が不可欠であシかつ空洞
の震動か操作中に行なわれるリングレーザージャイロス
コープのようなある分野に用いるには完全に極さないも
のである。

本発明の第１の局面によれは、反芽１面のＦｒ望の配向
を達成するようミラーの後面を変形するとと、及び反射
＋１［ｌを所望の配向に維持するための手段をミラーに
取付けることよ構成るレーザー空洞内のミラーの反射面
の配向を変更する方法が提供される。

本発明の方法は、レーザー空洞のミラーが調整されるの
を可能にする一方、この空洞がレーザーを発してアライ
メント手順を極めて簡素化する。

更に、本発明は、所望の配向を維持し、これにより必要
ならば空洞の引き続く震！ＩＩを可能にする空洞アライ
メントスプリングのような手段全ミラーに取付けること
を伴なう。

望ましくは、この方法は、ミラーの後面の突出部分にス
プリング手段を取付けることよ構成シ、このスプリング
手段は前記突出部に所定のゆかみを与えるよう構成され
ている。スプリング手段は突出部分に突き当るよう形成
され、また全体的に円形の部分内に位置する半円形部分
を備え得る、本発明の第コの局面によれば、光学空洞組
立体を使用位置に据付けられる可撓性部材と共に組立て
ること、次いで機械的な力を空洞の外側の前記可撓性部
材に掛けかつ加える力印加部材？前記組立体内に据付け
て、違轟なレーザー操作の遂行を可能にする位置に前記
反射面をゆがませかつゆがんだ状態に維持することよ構
成る光学空洞の末端を限定するため可撓性部材に設けた
反射面を含むレーザ装置用の光学空洞組立体を製作する
方法が提供される。

本発明の他の局面によれは、少なくとも一例のミラー、
及び前記ミラーの反射面の配向を変更するよう少なくと
も１個のミラーの後方に取付けられるスプリング手段を
備えるレーザー装置用の光学空洞組立体が提供される。

本発明の他の局面によれば、ここに記載したようなレー
ザー空洞の一部を構成している可撓性ミラーの形状をゆ
がめるためのスプリング手段が提供される。

本発明の更に別の局面によれは、可撓性部材に設けられ
かつ空洞の末端を限定している反射面、及び光学空洞の
外側から可撓性部、材に機械的な力を加えるため可撓性
部材と係合して取付けられる力印加部材全備え、前記力
印加部材が１１記空洞内でのレーザー発生を達成するた
め前記反射面をゆがめるのに役立ち又は役立っているレ
ーザー装置用の光学空洞組立体が提供される。

本発−〇更に他の局面によれば、組立体が基板の一面に
設けられる反側面全備え、目１１記反射面の反対面に、
基板の中央円柱状部分の周シに延びかつ基板の周囲壁部
分によって周ルに延びている環状の凹所が設けられ、１
４ｉｆ記壁部分に関する前記円柱状部分の軸線方向運動
及びその結果起こる前記反射面の運動を可能にするため
、Ｗ１記凹所の底部が比較的薄い基板材料によって前記
一方の面から隔てられており、更に前記凹所内に取付け
られかつ円柱状部分の一側部に力を加えるよう操作し得
るスプリング手段を備えるレーザー装置用の光学空洞組
立体が提供される。

本発明を一層良好に理解するために１添付図面を参照し
て本発明を例示として以下詳細に説明する。

第２図は、望ましいレーザーモードか得られるよう空洞
の光路長を調整するのに用いられる、レーザー空洞用の
光路制御ミラーｌを示す。ミラー／は薄い、円形の可撓
性ダイヤフラム−を備え、その上に平担なミラー面Ｊが
形成される。ダイヤフラムコはリング部分りと中央の突
出部分５によシ支持され、部分ダと５はダイヤフシムコ
と一体に形成されている。

笑顔に、ミラーｌを含んでいるレーザー空洞は、ミラー
ｌの後部に近接できるように設定される。

もし空洞が望まれるようにレーザーを発しない場合、負
荷たわみ計によシミラーｌの突出部分５に力が加えられ
て、ミラー面Ｊの角度的な配向を変更する。十分なレー
ザー性能が達成されるとき、第一図に示す型式のスプリ
ングがミラーｌの突出部ｊＫ７９１望の負荷を加えるよ
う適合される。

光路長制御ミ２−ｔの中央部Ｓに負荷を加えることによ
ル、ミラーが放電するレーザー空洞の部分を構成する間
、空洞内のレーザービームの整列を改良し得るというこ
とが判明した。第二図に示すような空洞整列スプリング
６は、空洞内のレーザービームの改良した整列が得られ
るように、中央部に適当な負荷を加えるよう設計された
。

スプリング６は全体的に円形の部分８円に位置する半円
形の部分りを有するよう形成されるワイヤ片である。ス
プリング６は、ミラー面３の角度的な配向を極めて僅か
に変更するため、部分５に力を加えるよう設計され、レ
ーザー性能ｆｔ最高にする。第３図において、スプリン
グ６はミラー！上に組立てられ、半円形の部分りは部分
５に対して押圧し、スプリングの残部は第３図に示すよ
うに、リング部分ダと接触して位置される。

第を図は圧電トランスジューサ組立体９によって光路長
制御ミラーｌ内にシールされる空洞整列スプリング６を
示す１組立体デは円形の可撓性ダイヤフラム１０を備え
、その上にコ個の圧電エレメント／／、／−がダイヤフ
ラムの各側面をはさんで取付けられる。タイヤフラム１
０は、組立中にミラー／のリング部分ダにシールされる
リング部材１３によって支持される。コ個の圧電要素／
１．／λは部分ｓを動かし、またこうしてミラー面３を
動かして、レーザー空洞の光路長を調整する。要素７１
はブロック１４、全介して部分５に取付けられ、またミ
ラー面３の運動は、面３の位ｆ１ｉ、を変えるよう要素
／／　、／コを励起することによシ達成される。

トランスジューサ組立体９が一度適所にシールされると
、これはスプリングの必要性を回避するがしかしこのス
プリングは光路長制御ミラーｌの寿命の間適所に残る。

ミラーの使用中にスプリングがゆるんでくるのを防止す
るため、組立体９を取付ける前にスプリング６を適所に
固着することが最良である。

部分Ｓに加えられる必要のある負荷は、用いられるミラ
ー及びレーザー装置によシ変化する。三軸リングレーザ
−ジャイロスコープとしては、加えられる荷重は、全て
の３つの軸に正しい放電を達成するため、装置の１つ、
２つ又は３つの光路長制御ミラーにりＯグラムであシ得
る。

第５図と第６図は、同一の目的に用い得る上述したスプ
リングの他の変形例を示す。

これらのスプリングｉｓｃ第５図）と７６（ｉｂ図）は
、両方とも断面形状が全体的に平担であり、また平面図
において全体的に第一図のワイヤスプリングと同じ形状
を有する。スプリング１６は半円形部分ｌりとブリッジ
部Ｉｆｆ有し、幅の狭いブリッジ部は半円形部分／７ｆ
主本体部／ワに結合する。このスプリングは岡；］性の
プラスチック材料から作シ得、またスプリングが困惑の
必要なくミラー内に滞まるよう形成し得る。

スプリングの使用は、初めての試みでレーザー空洞装置
を組立てる可能性を与え、これによシ所望のレーザー性
能を確保するため、三軸リングレーザ−ジャイロスコー
プでしばしば必要な多くの再組立ての時間と費用を節約
する。スプリングの使用はまた、シール面及びミラー面
への′！Ｊ４傷の危険並びにかかる再組立ての間に生じ
るレーザー空洞の汚染を低減する。

【図面の簡単な説明】

第１図は光路長側（ｕ　ミラー全断面して示す側面図で
ある。 第一図は第１図のミラーと共に用いるための空洞アライ
メントスプリングの平面図である。 第３図は光路長制御ミラー内に組込まれる第一図のスプ
リングの平面図である。 第ダ図はミラー調整トランスジューサをもつ第３図の装
置を断面して示す側面図である。 第Ｓ図と第６図は異なる負荷要求のための空洞アライメ
ントスプリングの変形例を示す。 １００．ミラー　　　コ００．ダイヤフラム３００．ミ
ラー面　　弘０１．リング部分Ｓ００．突田部分 す、ｉｓ、ｉｂ、、、スプリング ワ６１．半円形部分　　ｇ１００円形部分り００．トラ
ンスジューサ組立体 ＩＱ、、、可撓性ダイヤフラム １／、１コ００．圧′＃Ｌ要素 ／、３．、、　　リング部材 １面の浄書（内容に変更なしｊ Ｆｔ’ｇ、５．　　　　　　Ｆｉｇ、６゜手続補正書（
方式） ％式％ １、事件の表示 昭和６２年　特許類　第１５８８４７号２、発明の名称 し　　　　　　−　　　　　ザ　　　　　　−３、補正
をする者 事件との関係　　　特許出願人 住所　　　イギリス国、ロンドン、ダプリュ・シイ・２
・エヌ、５・ジエイ・ティ、ストランド、１１ 名称トリティッシュｅニアロスはイス拳パブリック争す
ミアツド・カンパニー ４、代理人 〒１０５住所　東京都港区西新橋１丁目１番１５号ゝ、
＼ ６、補正の内容 出願時に手書きの明細書を提出したため、タイプ印書に
より浄書したもの 明細苫の浄９内容に変更なし 手続補正書（方式） ％式％ ２、発明の名称 し　　　　　−　　　　　ザ　　　　　−３、補正をす
る者 事件との関係　　特許出願人 住所　　イギリス国、ロンドン、ダプリュ・シイ・２・
エヌ、５・ジエイ・ティ、ストランド、１１ 名称　　　ブリティッシュ・エアロスベイス・パブリッ
ク・リミテッド・カンパニー ４、代理人 〒１０５住所　東京都港区西新橋１丁目１番１５号物産
ビル別館　電話（５９１）　０２６１昭和６２年８月　
５日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、レーザー空洞内のミラーの反射面の配向を変更する
   方法において、反射面の所望の配向を達成するよりミラ
   ーの後面を変形するとと、及び所望の配向に反射面を維
   持するための手段をミラーに取付けることより成る方法
   。 ２、スプリング手段をミラーの後面の突出部分に取付け
   ることより成り、スプリング手段は前記突出部分に所定
   の偏向を加えるよう構成されている特許請求の範囲第２
   項に記載の方法。 ３、スプリング手段が突出部分に突き当るよう形成され
   る半円形部分を備え、また前記半円形部分が全体的に円
   形の部分内に位置する特許請求の範囲第２項に記載の方
   法。 ４、スプリング手段をミラーの適所に固着する特許請求
   の範囲第２項又は第３項に記載の方法。 ５、レーザー空洞の光学的な光路長制御を達成するため
   、ミラーの後部にトランスジューサ組立体を取付けるこ
   とより成る特許請求の範囲各項の任意の１項に記載の方
   法。 ６、レーザー空洞内にミラーを整列する方法において、
   少なくとも２個のミラーを備えているレーザー空洞を初
   めに組立てること、レーザー空洞の性能を試験すること
   、及び特許請求の範囲第１項に記載のミラーの少なくと
   も１つの反射面の配向を変更することより成る方法。 ７、光学空洞の末端を限定するため可撓性部材に設けた
   反射面を含むレーザ装置用の光学空洞組立体を製作する
   方法において、前記組立体を使用位置に据付けられる可
   撓性部材と共に組立てること、次いで機械的な力を空洞
   の外側の前記可撓性部材に掛けかつ加える力印加部材を
   前記組立体内に据付けて、適当なレーザー操作の遂行を
   可能にする位置に前記反射面をゆがませかつゆがんだ状
   態に維持することより成る方法。 ８、少なくとも２個のミラー、及び前記ミラーの反射面
   の配向を変更するよう少なくとも１個のミラーの後方に
   取付けられるスプリング手段を備えるレーザー装置用の
   光学空洞組立体。 ９、前記少なくとも１個のミラーが後方の突出部分を備
   え、またスプリング手段が前記突出部分に所定の偏向を
   加えるより構成される特許請求の範囲第８項に記載の組
   立体。 １０、スプリング手段が突出部分に突き当るよう形成さ
   れかつ全体的に円形の部分内に位置する半円形部分を備
   える特許請求の範囲第８項又は第９項に記載の組立体。 １１、スプリング手段がレーザー空洞の光学的光路長制
   御を達成するよう可動であるミラーに取付けられる特許
   請求の範囲第８項ないし第１０項の任意の１項に記載の
   組立体。 １２、可撓性部材に設けられかつ空洞の末端を限定して
   いる反射面、及び光学空洞の外側から可撓性部材に機械
   的な力を加えるため可撓性部材と係合して取付けられる
   力印加部材を備え、前記力印加部材が前記空洞内でのレ
   ーザー発生を達成するため前記反射面をゆがめるのに役
   立ち又は役立つているレーザー装置用の光学空洞組立体
   。 １３、レーザー装置用の光学空洞組立体において、前記
   組立体が基板の一面に設けられる反射面を備え、前記反
   射面の反対面に、基板の中央円柱状部分の周りに延びか
   つ基板の周囲壁部分によつて周りに延びている環状の凹
   所が設けられ、 前記壁部分に関する前記円柱状部分の軸線方向運動及び
   その結果起こる前記反射面の運動を可能にするため、前
   記凹所の底部が比較的薄い基板材料によつて前記一方の
   面から隔てられており、前記組立体が更に前記凹所内に
   取付けられかつ円柱状部分の一側部に力を加えるよう操
   作し得るスプリング手段を備える光学空洞組立体。 １４、特許請求の範囲前記各項の任意の１項に記載のレ
   ーザー空洞の一部を構成している可撓性ミラーの形状を
   ゆがめるためのスプリング手段。