JPS6344149U - - Google Patents

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JPS6344149U
JPS6344149U JP13781086U JP13781086U JPS6344149U JP S6344149 U JPS6344149 U JP S6344149U JP 13781086 U JP13781086 U JP 13781086U JP 13781086 U JP13781086 U JP 13781086U JP S6344149 U JPS6344149 U JP S6344149U
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JP
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signal
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circuit
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による欠陥弁別回路の一実施例
を示すブロツク図、第２図はその弁別レベル形成
回路を示すブロツク図、第３図はその各部の信号
波形図、第４図は従来回路を示すブロツク図、第
５図及び第６図はその各部の信号波形図である。 ２…ＡＧＣ回路、３…タイミング制御回路、４
…ハイパスフイルタ、５…レベル比較器、６…弁
別レベル形成回路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) レーザ光を被検査物体の表面上に照射し、
    その反射光を光電変換した走査信号を入力し、上
    記走査信号を波形整形し、高周波成分を分離した
    後、弁別レベル信号と比較して上記被検査物体の
    表面上の欠陥有無を弁別する欠陥弁別回路におい
    て、 高周波成分分離後の上記走査信号を入力し、当
    該走査信号のノイズレベルのスロープ波形信号を
    得て、当該スロープ波形信号を所定倍して上記弁
    別レベル信号を形成する弁別レベル形成回路を具
    えたことを特徴とする欠陥弁別回路。 (2) 上記弁別レベル形成回路は高周波成分分離
    後の上記走査信号を絶対値回路で絶対値信号に変
    換し、ピーフストレツチヤでエンベロープ信号を
    検出し、ローパスフイルタで滑らかにして粗スロ
    ープ波形信号を得、過去の走査期間における当該
    粗スロープ波形信号を等比級数的に重み付け、加
    算して上記スロープ波形信号を得るようにしたこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に
    記載の欠陥弁別回路。
JP1986137810U 1986-09-10 1986-09-10 欠陥弁別回路 Expired - Lifetime JPH0642199Y2 (ja)

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JP1986137810U JPH0642199Y2 (ja) 1986-09-10 1986-09-10 欠陥弁別回路

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JP1986137810U JPH0642199Y2 (ja) 1986-09-10 1986-09-10 欠陥弁別回路

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Publication Number Publication Date
JPS6344149U true JPS6344149U (ja) 1988-03-24
JPH0642199Y2 JPH0642199Y2 (ja) 1994-11-02

Family

ID=31042211

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JP1986137810U Expired - Lifetime JPH0642199Y2 (ja) 1986-09-10 1986-09-10 欠陥弁別回路

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JP (1) JPH0642199Y2 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4957886A (ja) * 1972-09-30 1974-06-05
JPS5190873U (ja) * 1975-01-17 1976-07-21
JPS52125389A (en) * 1976-04-13 1977-10-21 Omron Tateisi Electronics Co Defect inspection apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4957886A (ja) * 1972-09-30 1974-06-05
JPS5190873U (ja) * 1975-01-17 1976-07-21
JPS52125389A (en) * 1976-04-13 1977-10-21 Omron Tateisi Electronics Co Defect inspection apparatus

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Publication number Publication date
JPH0642199Y2 (ja) 1994-11-02

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