JPS6344960A - 塗装膜形成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は塗装膜形成装置、特に、高精度の薄膜を必要と
する磁気ディスク基板等を塗装する塗布膜形成装置に関
する。

〔従来の技術〕

従来の塗装膜形成装置は、円板を保持して回転させるス
ピンドルと塗料を円板に塗布する塗料供給部と、円板の
外周上に配置して飛散塗料を受取るカバーと、一端をそ
のカバーの外壁に固定し、他端を排風機と接続する複数
の排気ダクトとを含んで構成される。

従来の塗装膜形成装置は、まず円板を回転させ、その表
面上に塗料を滴下する。

続いて、円板を高速回転させ、余分な塗料を飛散させて
円板上に薄膜、例えば数μｍの膜厚を形成させていた。

そして、飛散した塗料はカバーの内壁で受は取るととも
に、飛散塗料がカバー内壁に衝突して発生する細分化さ
れた粉塵塗料は、カバー内部の空気を排風機によって排
気し、ダクトを通してカバー内部から除去していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の塗装膜形成装置においては、カバー内の
排気量を可変できないため、排気量を二つの相反する条
件の折中の値で決定していた。

つ１す、二つの相反する条件とは、一つは飛散塗料がカ
バー内壁に衝突して新たに発生する粉塵塗料が円板上に
付着するのを防止するためには。

粉塵塗料を吸引可能な程度の大容量の排気が必要である
。

もう一つの条件は、排気作用で生ずる空気流が排気ダク
トの近傍に位置する円板外周部の塗装膜の乾燥を内周部
に比して早めるため、それを抑止するためには、排気流
量ヲ極力抑えることが必要なことである。

従って、従来の塗装膜形成装置で生産１〜だ磁気ディス
ク基板等では、塗装膜の均一性を高めると粉塵塗料の付
着量が多くなり、文通に粉塵塗料の付着を抑えると塗装
膜が不均一になるという欠点があった。

〔問題点を解決するだめの手段〕

本発明の塗装膜形成装置は、円板を軸心中央部で保持し
て回転させるスピンドルと、円板の上面に塗料全滴下す
るノズルを先端に有し、円板の半径方向に移動する塗装
腕と、前記円板の外周に配置して断面形状がＣ字状で、
内方向に開口部を向けたリング状のカバー本体と、一端
を前記カバー本体の内側と連絡する通気口を有してカバ
ー本体に固定し、他端を排風機に接続した複数の排気ダ
クトと、前記排気ダクトの途中に設け、管路の開口断面
積を制御信号に応じて増減できる自動弁とを含んで構成
される。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。

第１図１、本発明の一実施例を示す斜視図で、第２図は
、第１図に示す自動弁部分の断面図である。図において
、１は、円板２の中心箇所’（Ｃ真空吸着して保持する
機能を有し、かつ制御回転するスピンドルである。３は
、円板２の上面に位置し、ノズル４を先端に有し、円板
２０半径方向に移動させるスライド駆動部５に固定され
た塗装腕である。

ノズル４は、塗料を所定の量だけ供給する塗料供給部６
にチューブ７で接続している。８は、円板２と概略同じ
高さで、かつ円板２の外周に同心状に配置され、断面形
状がＣ字状で、内方向に開［」部９を向けたリング状の
カバー本体である。

１１　、１１’は、一端がカバー本体８の外壁に接続き
れて、カバー本体８の内部と連絡する通気口１２．１２
’を有し、他端が排風機１３に接続した排気ダクトであ
る。

１４．１４’は、排気ダクト１１　、１１’の途中に各
１個づつ設ｒ７．排気ダクト１１．１１’の内部に、排
気ダク）１１，１１．’の内径よシわずかに小径の円板
状の弁１５．１５’と、排気ダクト１１．１１’を回転
可能な状態で貫ぬき、弁１５．１５’に固定された弁棒
１６．１ｆ５’と、弁棒１．６．１６’と連結し、弁棒
１６゜１６’　ｋ　ｆｌＩ！Ｉ御信号に比信号所定の角
度に回転させる弁駆動部］　７　、　ｌ　７’とから成
る自動弁である。

伺、本発明は、排気ダクト１１．１１’に２本に限定す
るもので無く、円板２の外周における排気の均一性を更
に高めることを所望するならは、ダクトの本数を多くす
れば得られる。

次に動作を説明する。

ます、円板２の中心とスピンドル１の回転中心とを合致
させた位置で真空吸着した円板２を、スピンドル１ｔ−
作動させ、円板２を一定の速度で回転する。次いで、塗
料供給部６を作動させて、ノズル４の先端から塗料を吐
出すると同時に、スライド駆動部５ｅ作動させて塗装腕
３を半径方向に移動し、円板２の上表面全域に塗料を塗
布する塗布厚さは、磁気ディスク基板の場合では、数寵
である。この時、自動弁１４．１４’の弁駆動部１７゜
１７′を作動させ、弁１５．１５’の回転位置をダクト
の長手軸に対して直角位置、っまシ管路の開口断面積を
概略零にした「閉状態」にする。以下の説明上、弁１５
．１５’の位置状態を以下のように呼称する。「閉状態
」は以上に規定したとぅシで、弁１５．１５’が「閉状
態」から９０度回転した位置を「全開状態」、４５度回
転させた位置を［半開状態」、１５度同転させた位置を
１−開状態」と呼ぶ。当然のごとく、排気の流量は、「
全閉状態」、［１開状態−１、「半開状態」、［全開状
態−１の順に大きくなる。

尚、排風機１３す１、常時作動させておく。その後、ス
ピンドル１の回転速度を高め、遠心力の作用に依って円
板２上の余分な塗料を飛散させ、塗装膜厚をコンマ数龍
にする。この時、弁１５．１５’は、「全開状態」にし
て飛散塗料がカバー本体８の内壁に衝突して発生する粉
塵塗料をカバー本体８の内部から除去する。続いて、ス
ピンドル１の回転を急激に市、め、円板２の塗装膜の外
表面の塗料をさらに飛散させ、薄膜、例えば数μｍの膜
厚にする。

ｆｉ’１１　、この工程の所要時間は、使用する塗料の
種類に依って多少異なるが、概略数秒間である。

今回、飛散される塗料は、前回の飛散塗料よシも細分化
された状態で、しかも高速度で飛散され、飛散塗料の盆
そのものは、減少するが、粉塵塗料の数は、大幅に増大
する。

又、塗料の中に含まれる溶剤が揮発されることに依って
、塗装膜の乾燥が開始される。

従って、この時の弁１５，１．５’は、初期には急激に
増大した粉塵塗料を速やかに排出するために「全開状態
」にし、すぐに塗装膜の乾燥に影響を与えないように、
［半開状態」にする。次いで、スピンドル１の回転を下
げて円板２の回転で生じる空気流に依って、塗装膜に含
まれている溶剤を揮発させ、塗装膜を乾燥させる。

この時、弁１５．１５’は、カバー本体８の内部に浮遊
している粉塵塗料を排出でき、しかも塗装膜の乾燥に影
響を与えないよりに、前回の［半開状態」よシも開口面
′！ｉｔを減じた「−開状態」にする。

以上に述べたように、弁１５．１５’の回転位置は、塗
装工程の各工程に応じた最適な状態に順次設定される。

なお、弁１５．１５’で排風量を制御する代りに、排風
機１３のモーターの回転数等を変化させ、排風機１３自
体の排風能力を調整して所要の目的を達成することも考
えられる。

〔発明の効果〕

本発明の塗装膜形成装置は、塗装工程っまシ塗料の塗布
、薄膜の形成、塗装膜の乾燥の各工程に最適な排気量を
設定できる自動弁を設けたことにより、粉塵塗料の付着
がなく、シかも均一な塗装膜を得ることができ、さらに
は塗布工程に要する時間をも短縮できるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は、第
１図に示す自動弁部分の断面図である。 ■・・・スピンドル、２・・・円板、３・塗装膜、４・
・・ノズル、６・・・塗料供給部、８・・・カバー本体
、９・・・開口部、　　１１　、１１’・・・排気ダク
ト、１２．１２’・・・通気口、１３・・・排風機、１
４．１４’・・・自動弁、１５．１５’・・・弁、１６
．１６’・・・弁棒、１７　、１７’・・・弁駆動部。 、ン 一′９− 第　／　圀

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 円板を軸心中央部で保持して回転させるスピンドルと、
   円板の上面に塗料を滴下するノズルを先端に有し、円板
   の半径方向に移動する塗装腕と、前記円板の外周に配置
   して断面形状がＣ字状で内方向に開口部を向けたリング
   状のカバー本体と、一端を前記カバー本体の内側と連絡
   する通気口を有してカバー本体に固定し他端を排風機に
   接続した複数の排気ダクトと、前記排気ダクトの途中に
   設け、管路の開口断面積を制御信号に応じて増減できる
   自動弁とを含むことを特徴とする塗装膜形成装置。