JPH0810398Y2 - 回転塗布装置 - Google Patents
回転塗布装置Info
- Publication number
- JPH0810398Y2 JPH0810398Y2 JP2584490U JP2584490U JPH0810398Y2 JP H0810398 Y2 JPH0810398 Y2 JP H0810398Y2 JP 2584490 U JP2584490 U JP 2584490U JP 2584490 U JP2584490 U JP 2584490U JP H0810398 Y2 JPH0810398 Y2 JP H0810398Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- opening
- spin
- spin head
- coated
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- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Description
本考案は、レジスト等の薄膜を平板状の被塗布板に均
一に形成するための塗布装置に関する。
一に形成するための塗布装置に関する。
従来、この種の技術としては回転可能に水平に軸支さ
れたスピンヘッドに被塗布板を装着し、該スピンヘッド
の停止または低速回転時にレジストを供給、その後高速
回転させることによってレジストを伸ばして塗布する技
術が周知である。 しかし、単にスピンヘッドを高速回転させるだけで
は、回転中心部から離れるほど周速が速いため遠心力が
大きくなり、レジストが激しく跳ね飛ばされるので、表
面張力等の影響が大きい周端部を除いて周端に近いほど
膜厚が薄く形成されると云う問題点がある。このため、
スピンヘッド３の回転中心部上方にエアー吹き付け用ノ
ズル23を設けたり（第５図）、スピンカップ２の上方中
央部を小さく開口させて、回転中心部にエアーを強く吹
き付け、遠心力が不足して厚くなり勝ちな中心部を薄く
塗布する等の工夫がなされている。
れたスピンヘッドに被塗布板を装着し、該スピンヘッド
の停止または低速回転時にレジストを供給、その後高速
回転させることによってレジストを伸ばして塗布する技
術が周知である。 しかし、単にスピンヘッドを高速回転させるだけで
は、回転中心部から離れるほど周速が速いため遠心力が
大きくなり、レジストが激しく跳ね飛ばされるので、表
面張力等の影響が大きい周端部を除いて周端に近いほど
膜厚が薄く形成されると云う問題点がある。このため、
スピンヘッド３の回転中心部上方にエアー吹き付け用ノ
ズル23を設けたり（第５図）、スピンカップ２の上方中
央部を小さく開口させて、回転中心部にエアーを強く吹
き付け、遠心力が不足して厚くなり勝ちな中心部を薄く
塗布する等の工夫がなされている。
しかし、前記した塗布装置の場合はノズル23をレジス
ト５に接近させると境界部で大きな段差が発生する。一
方、この様な段差を発生させないようにノズル23をレジ
スト５から十分離すと、回転中心部の風圧と周端部の風
圧差が小さくなり過ぎるため、回転中心部のレジスト５
を薄くする効果がなくなる。 この様に、従来の塗布装置においては半径方向に均一
な膜厚形成が行われないので、後工程において種々の問
題が発生しており、均一な膜厚形成可能な塗布装置の考
案が期待されていた。
ト５に接近させると境界部で大きな段差が発生する。一
方、この様な段差を発生させないようにノズル23をレジ
スト５から十分離すと、回転中心部の風圧と周端部の風
圧差が小さくなり過ぎるため、回転中心部のレジスト５
を薄くする効果がなくなる。 この様に、従来の塗布装置においては半径方向に均一
な膜厚形成が行われないので、後工程において種々の問
題が発生しており、均一な膜厚形成可能な塗布装置の考
案が期待されていた。
本考案は上記した従来技術の課題を解決するためにな
されたもので、回転可能に水平に軸支されたスピンヘッ
ドの上方に、送風口をスピンヘッドの回転中心部側を大
きく、周部を小さく開口して配設したことを特徴とする
回転塗布装置を提供するものである。
されたもので、回転可能に水平に軸支されたスピンヘッ
ドの上方に、送風口をスピンヘッドの回転中心部側を大
きく、周部を小さく開口して配設したことを特徴とする
回転塗布装置を提供するものである。
本考案になる回転塗布装置は上記した構成であるの
で、回転可能に水平に軸支されたスピンヘッドに被塗布
板を装着し、該被塗布板の略中心部にレジストを供給し
たあと、送風口よりエアーを吹き込みながら被塗布板を
回転させると、送風口は回転中心部側が大きく開口し、
周部側が小さく開口しているため、開口端での風速、風
量の変化率が小さい。したがって、風圧は中心部から周
端部にかけて連続的に減少するので、段差を生じること
なくレジストは均一に塗布される。
で、回転可能に水平に軸支されたスピンヘッドに被塗布
板を装着し、該被塗布板の略中心部にレジストを供給し
たあと、送風口よりエアーを吹き込みながら被塗布板を
回転させると、送風口は回転中心部側が大きく開口し、
周部側が小さく開口しているため、開口端での風速、風
量の変化率が小さい。したがって、風圧は中心部から周
端部にかけて連続的に減少するので、段差を生じること
なくレジストは均一に塗布される。
つぎに本考案を図示の一実施例に基づいて詳細に説明
する。 符号１は送風口であり、スピンカップ２の筒状をした
上方の開口部21の内面下部に設けられている。該送風口
１は大きく開口した中心部11から、四方に延設された角
状開口部12を有しており、この下方にスピンヘッド３が
回転可能に水平に軸支されている。該スピンヘッド３は
従来公知のものと何ら変わるものではなく、適宜の固定
手段、例えば吸引装置に連通した吸引穴を上面に穿設し
たり、捩子着等により円盤状の被塗布板４を脱落不能に
装着し、回転軸31を介してモーター（図示せず）に連結
される。モーターへの連結に際してはギヤー、ベルト等
の適宜の変速手段を介したり、モーターを直接制御する
等の手段によってスピンヘッド３の回転数を調節自在に
連結される。なお、符号22はスピンヘッド３の側壁下部
に設けられた排気口であり、周囲の４箇所に形成され、
高速回転して塗布する際に被塗布板４から跳ね飛ばされ
たレジスト５の飛沫を、送風口１から吹き込まれたエア
ーと共に排出する。 上記開口部21の直径を26cm、送風口１の開口面積を15
0cm2、対向する角状開口部12同士の頂点間距離を14cm、
被塗布板４の上部表面積を162cm2、送風口１と被塗布板
４との距離を6cmとした本考案の回転塗布装置を使用し
て、被塗布板４に薄膜を形成する工程について簡単に説
明すると、スピンヘッド３に被塗布板４を適宜の方法で
脱落不能に固定し、スピンヘッド３を停止、または低速
回転（例えば500rpm）させながら、レジスト５を被塗布
板４の中心部に所定量供給する。続いて、送風口１から
例えば2m/秒でエアーを吹き込みながら、スピンヘッド
３を中〜高速回転（例えば1000〜3000rpm）させると、
レジスト５は遠心力により回転中心部Ａから周端部Ｂ方
向に押しやられる様にして塗布される。このとき、中心
部Ａの回りには周端部Ｂより大きな風圧が掛かり、膜厚
減少作用が顕著に発揮されるため、第２図の概念図（直
径方向を縮小した）に示した様に周端部Ｂを除いて半径
方向に均一な膜厚形成が行われた。一方、被塗布板４の
表面積の1/4（直径比で1/2）だけ円形に開口部21の中心
部を開口させて吹き込んだ比較例の場合には、中間点M1
とM2との間で前記した風圧差の変化に起因する大きな段
差51が生じ、該段差51の内外でそれぞれ遠心力に起因す
る膜厚変化が生じて第４図の概念図に示した様に半径方
向に起伏のある複雑な膜厚形成となった。 なお、送風口１は上記実施例に示した形状に限定され
るものではなく、被塗布板４の大きさと性状、被塗布板
４までの離間距離、回転速度、送風速度、レジスト５の
性状等によって、適宜変更可能であり、例えば第３図
（ａ）〜（ｃ）に示した形状等の送風口も使用される。
また、被塗布板４までの離間距離を調節自在に構成し、
種々の大きさ、形状（方形等であっても良い）の被塗布
板４に対応させることもできる。 さらに、被塗布板４の周端部Ｂより遠心力により跳ね
飛ばされる過剰なレジスト５が、スピンカップ２の内壁
に衝突して被塗布板４の方向に跳ね返り、その表面に付
着することがない様に従来公知の付着防止手段を付設し
たり、前記排気口22を側壁の全周に渡って設けて排気状
態をより安定化される等も従来通り可能である。
する。 符号１は送風口であり、スピンカップ２の筒状をした
上方の開口部21の内面下部に設けられている。該送風口
１は大きく開口した中心部11から、四方に延設された角
状開口部12を有しており、この下方にスピンヘッド３が
回転可能に水平に軸支されている。該スピンヘッド３は
従来公知のものと何ら変わるものではなく、適宜の固定
手段、例えば吸引装置に連通した吸引穴を上面に穿設し
たり、捩子着等により円盤状の被塗布板４を脱落不能に
装着し、回転軸31を介してモーター（図示せず）に連結
される。モーターへの連結に際してはギヤー、ベルト等
の適宜の変速手段を介したり、モーターを直接制御する
等の手段によってスピンヘッド３の回転数を調節自在に
連結される。なお、符号22はスピンヘッド３の側壁下部
に設けられた排気口であり、周囲の４箇所に形成され、
高速回転して塗布する際に被塗布板４から跳ね飛ばされ
たレジスト５の飛沫を、送風口１から吹き込まれたエア
ーと共に排出する。 上記開口部21の直径を26cm、送風口１の開口面積を15
0cm2、対向する角状開口部12同士の頂点間距離を14cm、
被塗布板４の上部表面積を162cm2、送風口１と被塗布板
４との距離を6cmとした本考案の回転塗布装置を使用し
て、被塗布板４に薄膜を形成する工程について簡単に説
明すると、スピンヘッド３に被塗布板４を適宜の方法で
脱落不能に固定し、スピンヘッド３を停止、または低速
回転（例えば500rpm）させながら、レジスト５を被塗布
板４の中心部に所定量供給する。続いて、送風口１から
例えば2m/秒でエアーを吹き込みながら、スピンヘッド
３を中〜高速回転（例えば1000〜3000rpm）させると、
レジスト５は遠心力により回転中心部Ａから周端部Ｂ方
向に押しやられる様にして塗布される。このとき、中心
部Ａの回りには周端部Ｂより大きな風圧が掛かり、膜厚
減少作用が顕著に発揮されるため、第２図の概念図（直
径方向を縮小した）に示した様に周端部Ｂを除いて半径
方向に均一な膜厚形成が行われた。一方、被塗布板４の
表面積の1/4（直径比で1/2）だけ円形に開口部21の中心
部を開口させて吹き込んだ比較例の場合には、中間点M1
とM2との間で前記した風圧差の変化に起因する大きな段
差51が生じ、該段差51の内外でそれぞれ遠心力に起因す
る膜厚変化が生じて第４図の概念図に示した様に半径方
向に起伏のある複雑な膜厚形成となった。 なお、送風口１は上記実施例に示した形状に限定され
るものではなく、被塗布板４の大きさと性状、被塗布板
４までの離間距離、回転速度、送風速度、レジスト５の
性状等によって、適宜変更可能であり、例えば第３図
（ａ）〜（ｃ）に示した形状等の送風口も使用される。
また、被塗布板４までの離間距離を調節自在に構成し、
種々の大きさ、形状（方形等であっても良い）の被塗布
板４に対応させることもできる。 さらに、被塗布板４の周端部Ｂより遠心力により跳ね
飛ばされる過剰なレジスト５が、スピンカップ２の内壁
に衝突して被塗布板４の方向に跳ね返り、その表面に付
着することがない様に従来公知の付着防止手段を付設し
たり、前記排気口22を側壁の全周に渡って設けて排気状
態をより安定化される等も従来通り可能である。
以上説明した様に、本考案による回転塗布装置は回転
可能に水平に軸支されたスピンヘッドの上方に、送風口
をスピンヘッドの回転中心部側を大きく、周部を小さく
開口して配設したことを特徴とする回転塗布装置である
ので、遠心力が小さいために膜厚が厚くなり勝ちな回転
の中心部側に強い風圧を掛け、遠心力が強い周端部に向
かって風圧を徐々に減少させてレジスト等を塗布するこ
とが出来るため、周端部を除いて半径方向に均一な膜厚
形成が可能となった。
可能に水平に軸支されたスピンヘッドの上方に、送風口
をスピンヘッドの回転中心部側を大きく、周部を小さく
開口して配設したことを特徴とする回転塗布装置である
ので、遠心力が小さいために膜厚が厚くなり勝ちな回転
の中心部側に強い風圧を掛け、遠心力が強い周端部に向
かって風圧を徐々に減少させてレジスト等を塗布するこ
とが出来るため、周端部を除いて半径方向に均一な膜厚
形成が可能となった。
第１図〜第３図が本考案に係わる実施例の説明図であ
り、第１図は装置の説明図、第２図は塗布した薄膜の断
面説明図、第３図（ａ）〜（ｃ）は要部の他の形状例を
示す説明図、第４図と第５図は比較例の説明図である。 １……送風口、11……中心部、12……角状開口部、２…
…スピンカップ、３……スピンヘッド、４……被塗布
板、５……レジスト、51……段差、Ａ……中心部、Ｂ…
…周端部、M1、M2……中間部。
り、第１図は装置の説明図、第２図は塗布した薄膜の断
面説明図、第３図（ａ）〜（ｃ）は要部の他の形状例を
示す説明図、第４図と第５図は比較例の説明図である。 １……送風口、11……中心部、12……角状開口部、２…
…スピンカップ、３……スピンヘッド、４……被塗布
板、５……レジスト、51……段差、Ａ……中心部、Ｂ…
…周端部、M1、M2……中間部。
Claims (1)
- 【請求項１】回転可能に水平に軸支されたスピンヘッド
の上方に、送風口をスピンヘッドの回転中心部側を大き
く、周部を小さく開口して配設したことを特徴とする回
転塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2584490U JPH0810398Y2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 回転塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2584490U JPH0810398Y2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 回転塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03119472U JPH03119472U (ja) | 1991-12-10 |
| JPH0810398Y2 true JPH0810398Y2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=31528764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2584490U Expired - Lifetime JPH0810398Y2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 回転塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810398Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3380663B2 (ja) * | 1995-11-27 | 2003-02-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP3679695B2 (ja) * | 1999-08-12 | 2005-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像装置、基板処理装置及び現像方法 |
| JP6789155B2 (ja) * | 2017-03-15 | 2020-11-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布処理装置及びカップ |
-
1990
- 1990-03-14 JP JP2584490U patent/JPH0810398Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03119472U (ja) | 1991-12-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |