JPS6345363A - 蒸着用モリブデンヒ−タボ−ト - Google Patents
蒸着用モリブデンヒ−タボ−トInfo
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- JPS6345363A JPS6345363A JP18692486A JP18692486A JPS6345363A JP S6345363 A JPS6345363 A JP S6345363A JP 18692486 A JP18692486 A JP 18692486A JP 18692486 A JP18692486 A JP 18692486A JP S6345363 A JPS6345363 A JP S6345363A
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- boat
- heater
- molybdenum
- vapor deposition
- vapor
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は＋ ＡｕやＡｇ等の被蒸着用材料の蒸着に用い
られる蒸着用モリブデンヒータホードに関し。
られる蒸着用モリブデンヒータホードに関し。
特に、長寿命の蒸着用モリブデンヒータコートに関する
。
。
半導体やダイオード等の基盤表面のメタルバックには＋
Ａｕ又はＡｇ膜が蒸着形成されている。
Ａｕ又はＡｇ膜が蒸着形成されている。
斯かるＡｕ又はＡｇ膜の蒸着形成は、蒸着用Ａｕ又はＡ
ｇを入れた蒸着用モリブデンヒータデート１通電加熱し
、蒸着用Ａｕ又はＡｇ ｆ蒸発させる真空蒸発装置によ
って形成される。
ｇを入れた蒸着用モリブデンヒータデート１通電加熱し
、蒸着用Ａｕ又はＡｇ ｆ蒸発させる真空蒸発装置によ
って形成される。
ところが、従来の蒸着用モリブデンヒータボートに使用
されるモリブデンは、その組織が残留歪の高い繊維組織
から成っているため、モリブデン板の圧延時及びヒータ
ボート作成時に内部残留歪を生じ易く２通電加熱時のヒ
ータボートの高温変形及び垂下等を起こし、ヒータゲー
ト全短寿命にするという欠点がある。
されるモリブデンは、その組織が残留歪の高い繊維組織
から成っているため、モリブデン板の圧延時及びヒータ
ボート作成時に内部残留歪を生じ易く２通電加熱時のヒ
ータボートの高温変形及び垂下等を起こし、ヒータゲー
ト全短寿命にするという欠点がある。
さらに、ヒータボートの高温変形及び垂下等により２通
電加熱時に溶融した高価な蒸着用Ａｕ又はＡｇがヒータ
ボートからこぼれ易くなり、被蒸着用材料のロスを大き
くなる欠陥がある。
電加熱時に溶融した高価な蒸着用Ａｕ又はＡｇがヒータ
ボートからこぼれ易くなり、被蒸着用材料のロスを大き
くなる欠陥がある。
そこで１本発明の目的は、上記欠点に鑑み、モリブデン
ヒータボートの内部７曳留歪を除去し、高温変形を防止
した長寿命で、且つ、抜蒸着材料のロスの少い蒸着用モ
リブデンヒータボートヲ提浜することである。
ヒータボートの内部７曳留歪を除去し、高温変形を防止
した長寿命で、且つ、抜蒸着材料のロスの少い蒸着用モ
リブデンヒータボートヲ提浜することである。
本発明によれば、モリブデンからなる蒸着用モリブデン
ヒータデートにおいて、前記モリブデンの組織は、再結
晶、組織からなることと特徴とする蒸着用モリブデンヒ
ータコートが得られる。
ヒータデートにおいて、前記モリブデンの組織は、再結
晶、組織からなることと特徴とする蒸着用モリブデンヒ
ータコートが得られる。
本発明の実施例を図面を参照して説明する。
まず、第１図に示すとおシ、モリブデン板１をその中央
部２に絞り加工等を施して舟底状にし。
部２に絞り加工等を施して舟底状にし。
蒸着用材料である蒸着用Ａｕ又はＡｇのベレット等がそ
の中央部２に入るようにしたモリブデンヒータボート３
を用意する。
の中央部２に入るようにしたモリブデンヒータボート３
を用意する。
次に、斯かるモリブデンヒータデートに水素雰囲気中で
、１６００℃×１０分の加熱による再結晶処理を施す。
、１６００℃×１０分の加熱による再結晶処理を施す。
このとき、高周波炉、エレクトロンビーム、ｆラズマア
ーク、レーザ等の高温加熱（１４００〜２２００℃）ｆ
：行っても十分な再結晶組織が得られる。
ーク、レーザ等の高温加熱（１４００〜２２００℃）ｆ
：行っても十分な再結晶組織が得られる。
第２図に、再結晶処理？施したモリブデンの再結晶組織
を示す。モリブデンの結晶粒が大きく成長し、耐垂下構
造を有してｂることが認められる。
を示す。モリブデンの結晶粒が大きく成長し、耐垂下構
造を有してｂることが認められる。
ここで９本発明の実施例であるモリブデンの再結晶組織
からなるヒータデートと、従来の繊維組織からなるヒー
タテートとの耐高温変形性の比較実験全真空蒸着装置を
用いて２行った。
からなるヒータデートと、従来の繊維組織からなるヒー
タテートとの耐高温変形性の比較実験全真空蒸着装置を
用いて２行った。
比較実験は、第３図に示すとおり、ヒータボート３の中
央部２に被蒸着物４である１０ｇの蒸着用Ａｕ板を入れ
、ヒータコート３の両端をヒータ都電ｉ４，４’に各々
取シ付け、真空度Ｉ Ｘ １Ｏ−７Ｔｏｒｒ 。
央部２に被蒸着物４である１０ｇの蒸着用Ａｕ板を入れ
、ヒータコート３の両端をヒータ都電ｉ４，４’に各々
取シ付け、真空度Ｉ Ｘ １Ｏ−７Ｔｏｒｒ 。
加熱温度１８００℃、保持時間１０秒の通電加熱による
Ａｕ蒸着をくり返し、ヒータコートの変形の有無を、そ
の蒸着回数によシ比較した。
Ａｕ蒸着をくり返し、ヒータコートの変形の有無を、そ
の蒸着回数によシ比較した。
実験の結果２本発明の実施例のヒータボートの方が、従
来例に比べ、変形に致る蒸着回数が１，５〜３倍も多く
、高温耐変形性を向上させることが認められた。
来例に比べ、変形に致る蒸着回数が１，５〜３倍も多く
、高温耐変形性を向上させることが認められた。
尚１本実施例に示すヒータボートの形状に依らず他の形
状であっても同様の効果が得られた。
状であっても同様の効果が得られた。
以上の説明から分かるとおり１本発明によれば。
蒸着用モリブデンヒータテートの素材であるモリブデン
の組織を再結晶させることにより、ヒータボート内部の
残留歪を除去することができるから。
の組織を再結晶させることにより、ヒータボート内部の
残留歪を除去することができるから。
高温耐変形性を向上させ、長寿命の蒸着用モリブデンヒ
ータボートを提供することができる。また。
ータボートを提供することができる。また。
通電加熱時の変形が少いから、溶融した被蒸着用材料が
ヒータボートからこぼれる等のロスを無くすことができ
る。
ヒータボートからこぼれる等のロスを無くすことができ
る。
第１図は２本発明に係る蒸着用モリブデンヒータホード
の斜視図、第２図は、モリブデンの再結晶組織の拡大図
、第３図は、耐高温変形性の比較実験の既略図である。 １・・・モリブデン板、２・・・甲央部、３・・・ヒー
タデート、４．４’・・ヒータ部電極。 第１図 第２図 第３図
の斜視図、第２図は、モリブデンの再結晶組織の拡大図
、第３図は、耐高温変形性の比較実験の既略図である。 １・・・モリブデン板、２・・・甲央部、３・・・ヒー
タデート、４．４’・・ヒータ部電極。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- １、モリブデンからなる蒸着用モリブデンヒータボート
において、前記モリブデンの組織は、再結晶組織からな
ることを特徴とする蒸着用モリブデンヒータボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18692486A JPS6345363A (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 | 蒸着用モリブデンヒ−タボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18692486A JPS6345363A (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 | 蒸着用モリブデンヒ−タボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6345363A true JPS6345363A (ja) | 1988-02-26 |
Family
ID=16197089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18692486A Pending JPS6345363A (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 | 蒸着用モリブデンヒ−タボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6345363A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0457108U (ja) * | 1990-09-18 | 1992-05-15 |
-
1986
- 1986-08-11 JP JP18692486A patent/JPS6345363A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0457108U (ja) * | 1990-09-18 | 1992-05-15 |
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