JPS6347247U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6347247U JPS6347247U JP14072186U JP14072186U JPS6347247U JP S6347247 U JPS6347247 U JP S6347247U JP 14072186 U JP14072186 U JP 14072186U JP 14072186 U JP14072186 U JP 14072186U JP S6347247 U JPS6347247 U JP S6347247U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- base
- screw holes
- sensor chip
- semiconductor pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す側面断面図、
第２図は従来例を示す側面断面図である。 １…基台、２，３…ねじ孔、４…圧力センサチ
ツプ、８，９…第１及び第２圧力導入パイプ。
第２図は従来例を示す側面断面図である。 １…基台、２，３…ねじ孔、４…圧力センサチ
ツプ、８，９…第１及び第２圧力導入パイプ。
Claims (1)
- ２つのねじ孔を有する基台と、該基台上に上記
ねじ孔の１つを塞ぐように接着されたダイヤフラ
ム型の半導体圧力センサチツプと、該圧力センサ
チツプを包むように上記基台の周囲に固着された
キヤツプと、上記ねじ孔の少なくとも１つに螺着
された圧力導入パイプとを備えたことを特徴とす
る半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14072186U JPS6347247U (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14072186U JPS6347247U (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6347247U true JPS6347247U (ja) | 1988-03-30 |
Family
ID=31047837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14072186U Pending JPS6347247U (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6347247U (ja) |
-
1986
- 1986-09-12 JP JP14072186U patent/JPS6347247U/ja active Pending