JPS6350132U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6350132U JPS6350132U JP14269086U JP14269086U JPS6350132U JP S6350132 U JPS6350132 U JP S6350132U JP 14269086 U JP14269086 U JP 14269086U JP 14269086 U JP14269086 U JP 14269086U JP S6350132 U JPS6350132 U JP S6350132U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holders
- guide
- holder
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図および第４図は本考案の一実施例である
真空処理装置を示す縦断面図、第２図はサポート
２ａないし２ｄの詳細図、第３図は第１図をＡ―
Ａから見た平面図、第５図は第４図をＢ―Ｂから
見た断面図である。 １……試料押え、２ａないし２ｄ……サポート
、３……ガイド、４……ウエハ、５……試料台、
６……試料台上下装置。
真空処理装置を示す縦断面図、第２図はサポート
２ａないし２ｄの詳細図、第３図は第１図をＡ―
Ａから見た平面図、第５図は第４図をＢ―Ｂから
見た断面図である。 １……試料押え、２ａないし２ｄ……サポート
、３……ガイド、４……ウエハ、５……試料台、
６……試料台上下装置。
Claims (1)
- 真空容器内で試料を配置し往復動する試料台と
、前記試料台の試料配置側にあつて前記試料を押
え保持する複数の試料押えと、前記真空容器内に
取り付けられ前記試料押えを案内するガイドと、
前記試料押えを前記試料から順次離れるように所
定の位置に保持する複数のサポートとを具備した
ことを特徴とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14269086U JPS6350132U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14269086U JPS6350132U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350132U true JPS6350132U (ja) | 1988-04-05 |
Family
ID=31051656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14269086U Pending JPS6350132U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350132U (ja) |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP14269086U patent/JPS6350132U/ja active Pending
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