JPS6350156U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6350156U JPS6350156U JP14497786U JP14497786U JPS6350156U JP S6350156 U JPS6350156 U JP S6350156U JP 14497786 U JP14497786 U JP 14497786U JP 14497786 U JP14497786 U JP 14497786U JP S6350156 U JPS6350156 U JP S6350156U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- beams
- output
- monitor device
- beam semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 1
Description
第1図は本考案に係るモニタ装置の模式的斜視
図、第2図は本考案に係るモニタ装置を3ビーム
半導体レーザに組合せた状態を示す平面図である
。 1……ウエハ、2a,2b,2c……フオトダ
イオード、3a,3b,3c……溝、4a,4c
……溝、5a,5b,5c……ブロツク、6a,
6b……遮光壁、10……3ビーム半導体レーザ
。
図、第2図は本考案に係るモニタ装置を3ビーム
半導体レーザに組合せた状態を示す平面図である
。 1……ウエハ、2a,2b,2c……フオトダ
イオード、3a,3b,3c……溝、4a,4c
……溝、5a,5b,5c……ブロツク、6a,
6b……遮光壁、10……3ビーム半導体レーザ
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 マルチビーム半導体レーザの各ビームの出力
をモニタする装置において、 各ビームに対応する位置に設けられ、各ビーム
の出力を検出するビーム数と同数の光検出部と、
各ビームが交錯しないように各ビームの進路間及
び前記光検出部間に設けられた遮光手段とを具備
することを特徴とするマルチビーム半導体レーザ
用モニタ装置。 2 前記光検出部と前記遮光手段とが一体に構成
されている実用新案登録請求の範囲第1項記載の
マルチビーム半導体レーザ用モニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14497786U JPS6350156U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14497786U JPS6350156U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350156U true JPS6350156U (ja) | 1988-04-05 |
Family
ID=31056087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14497786U Pending JPS6350156U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350156U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57173238A (en) * | 1981-04-17 | 1982-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical transmitter |
| JPS61152088A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Canon Inc | 半導体レ−ザ |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP14497786U patent/JPS6350156U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57173238A (en) * | 1981-04-17 | 1982-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical transmitter |
| JPS61152088A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Canon Inc | 半導体レ−ザ |