JPS635225Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS635225Y2 JPS635225Y2 JP1982019478U JP1947882U JPS635225Y2 JP S635225 Y2 JPS635225 Y2 JP S635225Y2 JP 1982019478 U JP1982019478 U JP 1982019478U JP 1947882 U JP1947882 U JP 1947882U JP S635225 Y2 JPS635225 Y2 JP S635225Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- furnace core
- core tube
- tube
- glass tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は半導体用石英ガラス炉芯管に関する。
半導体用石英ガラス炉芯管は半導体装置の製造
において、不純物拡散、エピタキシヤル成長、パ
イロ酸化等の工程で使用されている。かかる工程
に用いられる炉芯管には、その炉芯管本体内にガ
スを導入したり、炉芯管本体内で熱電対を保護す
るために、５〜20mm程度の径を有する石英ガラス
管が取り付けられている。
において、不純物拡散、エピタキシヤル成長、パ
イロ酸化等の工程で使用されている。かかる工程
に用いられる炉芯管には、その炉芯管本体内にガ
スを導入したり、炉芯管本体内で熱電対を保護す
るために、５〜20mm程度の径を有する石英ガラス
管が取り付けられている。
従来、こうした構造の炉芯管は第４図ａ及びｂ
に示す如く、石英ガラス炉芯管本体１の内壁に石
英ガラス管２を溶接用の石英ガラス３を用いて溶
着することによつて取り付けたものであつた。
に示す如く、石英ガラス炉芯管本体１の内壁に石
英ガラス管２を溶接用の石英ガラス３を用いて溶
着することによつて取り付けたものであつた。
しかし、上述した構造の炉芯管は炉芯管本体１
と石英ガラス管２とが石英ガラス３で溶着されて
いるため次のような欠点があつた。
と石英ガラス管２とが石英ガラス３で溶着されて
いるため次のような欠点があつた。
(1) 溶接の際、熱膨張により炉芯管本体１又は石
英ガラス管２にクラツクが発生したり、歪が残
り易い。
英ガラス管２にクラツクが発生したり、歪が残
り易い。
(2) 使用中に炉芯管本体１と石英ガラス３との間
に温度差を生じると熱膨張差により石英ガラス
管２が破損し易い。
に温度差を生じると熱膨張差により石英ガラス
管２が破損し易い。
(3) 石英ガラス管２にクラツクが発生したり破損
した場合合、修理が困難である。
した場合合、修理が困難である。
本考案は上記問題点を解決するためになされた
ものであり、長寿命かつ修理の容易な半導体用石
英ガラス炉芯管を提供することを目的とする。
ものであり、長寿命かつ修理の容易な半導体用石
英ガラス炉芯管を提供することを目的とする。
本考案の半導体用石英ガラス炉芯管は、石英ガ
ラス炉芯管本体内に石英ガラス炉を、前記炉芯管
本体及び前記石英ガラス管にそれぞれ設けられた
支持部材が互いに係合するように、支持固定した
ことを特徴とするものである。
ラス炉芯管本体内に石英ガラス炉を、前記炉芯管
本体及び前記石英ガラス管にそれぞれ設けられた
支持部材が互いに係合するように、支持固定した
ことを特徴とするものである。
このような半導体用炉芯管炉芯管によれば、従
来の炉芯管と異なり、溶接時における問題点は生
じることがなく、非常に簡単に炉芯管本体に石英
ガラス管を支持固定することができる。また、炉
芯管の使用時に炉芯管本体と石英ガラス管との間
に温度差が生じても石英ガラス管が炉芯管本体に
固着されていないので破損が生じにくく、炉芯管
の耐用期間が長くなる。更に、石英ガラス管が破
損した場合や、高温・長時間の使用により支持部
材同士が溶着した場合でも、石英ガラス管を簡単
に取り外すことができ修理が容易である。
来の炉芯管と異なり、溶接時における問題点は生
じることがなく、非常に簡単に炉芯管本体に石英
ガラス管を支持固定することができる。また、炉
芯管の使用時に炉芯管本体と石英ガラス管との間
に温度差が生じても石英ガラス管が炉芯管本体に
固着されていないので破損が生じにくく、炉芯管
の耐用期間が長くなる。更に、石英ガラス管が破
損した場合や、高温・長時間の使用により支持部
材同士が溶着した場合でも、石英ガラス管を簡単
に取り外すことができ修理が容易である。
以下、本考案の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第1a及びｂにおいて、石英ガラス炉芯管本体
１１にはその内壁の少なくとも２箇所に夫々１対
の石英ガラスのＪ型フツク１２，１２…が溶着さ
れている。一方、石英ガラス管２１には石英ガラ
スの突起２２，２２…が溶着されている。そし
て、石英ガラス管２１はその突起２２，２２…を
炉芯管本体１１のＪ型フツク１２，１２…に掛止
することにより支持固定されている。
１１にはその内壁の少なくとも２箇所に夫々１対
の石英ガラスのＪ型フツク１２，１２…が溶着さ
れている。一方、石英ガラス管２１には石英ガラ
スの突起２２，２２…が溶着されている。そし
て、石英ガラス管２１はその突起２２，２２…を
炉芯管本体１１のＪ型フツク１２，１２…に掛止
することにより支持固定されている。
しかして上記実施例の炉芯管によれば、従来の
炉芯管と異なり、溶接時における問題点は生じな
い。また、炉芯管の使用時に炉芯管本体１１と石
英ガラス管２１との間に温度差が生じても石英ガ
ラス管２１が炉芯管本体１１に固着されていない
ので破損が生じにくく、炉芯管の耐用期間が長く
なる。更に、石英ガラス管２１が破損した場合で
も単に突起２２をＪ型フツク１２から取り外すだ
けでよく、高温・長時間の使用により支持部材同
士が溶着した場合でもＪ型フツク１２を加熱軟化
させることにより石英ガラス管２１を簡単に取り
外すことができ修理が容易である。
炉芯管と異なり、溶接時における問題点は生じな
い。また、炉芯管の使用時に炉芯管本体１１と石
英ガラス管２１との間に温度差が生じても石英ガ
ラス管２１が炉芯管本体１１に固着されていない
ので破損が生じにくく、炉芯管の耐用期間が長く
なる。更に、石英ガラス管２１が破損した場合で
も単に突起２２をＪ型フツク１２から取り外すだ
けでよく、高温・長時間の使用により支持部材同
士が溶着した場合でもＪ型フツク１２を加熱軟化
させることにより石英ガラス管２１を簡単に取り
外すことができ修理が容易である。
なお、本考案の半導体用石英ガラス炉芯管は第
１図ａ及びｂに示すものに限らず第２図ａ及び
ｂ、第３図ａ及びｂに示すものでもよい。
１図ａ及びｂに示すものに限らず第２図ａ及び
ｂ、第３図ａ及びｂに示すものでもよい。
第２図ａ及びｂ図示の炉芯管は、炉芯管本体１
１の内壁の少なくとも２箇所にリング１３を溶着
し、一方石英ガラス管２１の両末端に石英ガラス
の突起棒２３を溶着し、この突起棒２３を前記リ
ング１３に嵌挿することにより石英ガラス管２１
を支持固定するものである。
１の内壁の少なくとも２箇所にリング１３を溶着
し、一方石英ガラス管２１の両末端に石英ガラス
の突起棒２３を溶着し、この突起棒２３を前記リ
ング１３に嵌挿することにより石英ガラス管２１
を支持固定するものである。
第３図ａ及びｂ図示の炉芯管は、炉芯管本体１
１の内壁の少なくとも２箇所に略Ｌ字型のフツク
１４を溶着し、一方石英ガラス管２１にも略Ｌ字
型のフツク２４を前記炉芯管本体１１のフツク１
４と直交するように溶着し、このフツク２４を前
記フツク１４に掛止することにより石英ガラス管
２１を支持固定するものである。
１の内壁の少なくとも２箇所に略Ｌ字型のフツク
１４を溶着し、一方石英ガラス管２１にも略Ｌ字
型のフツク２４を前記炉芯管本体１１のフツク１
４と直交するように溶着し、このフツク２４を前
記フツク１４に掛止することにより石英ガラス管
２１を支持固定するものである。
上述した第２図ａ，ｂ及び第３図ａ，ｂ図示の
炉芯管はいずれも上記実施例の炉芯管と同様の効
果を奏する。
炉芯管はいずれも上記実施例の炉芯管と同様の効
果を奏する。
事実、以下に述べる実験例によつて、上述した
効果が確かめられた。
効果が確かめられた。
第１図ａ及びｂ図示の構造で炉芯管本体１１の
内径が150mm、熱電対保護用の石英ガラス管２１
の外径が10mmである炉芯管を半導体装置の不純物
拡散工程に用いた。すなわち、前記炉芯管本体１
１内に100mm径のＰ型シリコンウエハをボートに
載せて挿入し、酸素ガスを流しながら1000℃で
100時間ドライブイン拡散を行なつた。
内径が150mm、熱電対保護用の石英ガラス管２１
の外径が10mmである炉芯管を半導体装置の不純物
拡散工程に用いた。すなわち、前記炉芯管本体１
１内に100mm径のＰ型シリコンウエハをボートに
載せて挿入し、酸素ガスを流しながら1000℃で
100時間ドライブイン拡散を行なつた。
従来の炉芯管は同様な条件では２ケ月程度の使
用で溶接部に剥離やクラツクが生じたのに対し
て、本考案の炉芯管は５ケ月使用しても何ら変化
を生じなかつた。
用で溶接部に剥離やクラツクが生じたのに対し
て、本考案の炉芯管は５ケ月使用しても何ら変化
を生じなかつた。
以上詳述した如く本考案によれば、長寿命でか
つ修理の容易な半導体用石英ガラス炉芯管を提供
できるものである。
つ修理の容易な半導体用石英ガラス炉芯管を提供
できるものである。
第１図ａは本考案の実施例における半導体用石
英ガラス炉芯管の断面図、同図ｂは同図ａの−
線に沿う断面図、第２図ａは本考案の他の実施
例における半導体用石英ガラス炉芯管の断面図、
同図ｂは同図ａの−線に沿う断面図、第３図
ａは本考案の更に他の実施例における半導体用石
英ガラス炉芯管の断面図、同図ｂは同図ａの−
線に沿う断面図、第４図ａは従来の半導体用石
英ガラス炉芯管の断面図、同図ｂは同図ａの−
線に沿う断面図である。 １１……炉芯管本体、１２……フツク、１３…
…リング、１４……フツク、２１……ガラス管、
２２……突起、２３……突起棒、２４……フツ
ク。
英ガラス炉芯管の断面図、同図ｂは同図ａの−
線に沿う断面図、第２図ａは本考案の他の実施
例における半導体用石英ガラス炉芯管の断面図、
同図ｂは同図ａの−線に沿う断面図、第３図
ａは本考案の更に他の実施例における半導体用石
英ガラス炉芯管の断面図、同図ｂは同図ａの−
線に沿う断面図、第４図ａは従来の半導体用石
英ガラス炉芯管の断面図、同図ｂは同図ａの−
線に沿う断面図である。 １１……炉芯管本体、１２……フツク、１３…
…リング、１４……フツク、２１……ガラス管、
２２……突起、２３……突起棒、２４……フツ
ク。
Claims (1)
- 石英ガラス炉芯管本体内に石英ガラス管を、前
記炉芯管本体及び前記石英ガラス管にそれぞれ設
けられた支持部材が互いに係合するように、支持
固定したことを特徴とする半導体用石英ガラス炉
芯管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1947882U JPS58122441U (ja) | 1982-02-15 | 1982-02-15 | 半導体用石英ガラス炉芯管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1947882U JPS58122441U (ja) | 1982-02-15 | 1982-02-15 | 半導体用石英ガラス炉芯管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58122441U JPS58122441U (ja) | 1983-08-20 |
| JPS635225Y2 true JPS635225Y2 (ja) | 1988-02-12 |
Family
ID=30031686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1947882U Granted JPS58122441U (ja) | 1982-02-15 | 1982-02-15 | 半導体用石英ガラス炉芯管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58122441U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50145260U (ja) * | 1974-05-20 | 1975-12-01 |
-
1982
- 1982-02-15 JP JP1947882U patent/JPS58122441U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58122441U (ja) | 1983-08-20 |
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