JPS6353224A - 摺動用部材 - Google Patents

摺動用部材

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JPS6353224A
JPS6353224A JP19672786A JP19672786A JPS6353224A JP S6353224 A JPS6353224 A JP S6353224A JP 19672786 A JP19672786 A JP 19672786A JP 19672786 A JP19672786 A JP 19672786A JP S6353224 A JPS6353224 A JP S6353224A
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良雄 不破
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、互いに当接して相対的に摺動する第一の部材
と第二の部材とよりなる摺動用部材に係り、更に詳細に
は第一の部材がアルミナ−シリカ系繊維にて複合強化さ
れたアルミニウム合金若しくはマグネシウム合金よりな
る複合材料にて)14成され、第二の部材がセラミック
にて構成された摺動用部材に係る。
従来の技術 互いに当接して相対的に摺動する二つの部材よりなる摺
動用部材に於ては、二つの部材の組合せ如何によっては
それらの部材の何れか又は両方の摩耗量が大きくなり、
早期寿命を来たすことがある。かかる問題に対処すべく
、例えば本願出願人と同一の出願人の出願にかかる特開
昭58−93838号や特開昭58−93839号の公
報には、アルミニウム合金やマグネシウム合金をマトリ
ックスとしアルミナ−シリカ繊維の如き無機繊維を強化
繊維とする繊維強化金属複合材料にて一方の部材を構成
し、所定の硬さの鋼にて他方の部材を構成し、これによ
り摺動用部材の摩擦摺動特性を改善する試みが行われて
いる。
発明が解決しようとする問題点 しかし互いに当接して相対的に摺動する二つの部材より
なる摺動用部材に於て、その一方の部材を繊維強化金属
複合材料にて構成した場合には、その他方の部材の材質
によってはその他方の部材の摩耗が増大し、またそれら
の部材の間に於て焼付き等の問題が生じることがある。
本願発明者等は、互いに当接して相対的に摺動する第一
の部材と第二の部材とよりなる摺動用部材に於て、第一
の部材がアルミナ−シリカ系繊維を強化繊維とする複合
材料にて構成され、第二の部材がセラミックにて構成さ
れる場合に、第二の部材を構成するセラミックが如何な
る特徴ををするものであることが適切であるかについて
種々の実験的研究を行った結果、セラミックが成る特定
のセラミックであることが好ましいことを見出した。
本発明は、本願発明者等が行った種々の実験的研究の結
果得られた知見に基づき、互いに当接して相対的に摺動
する第一の部材と第二の部材とよりなる摺動用部材であ
って、第一の部材がアルミナ−シリカ系繊維を強化繊維
としアルミニウム合金若しくはマグネシウム合金をマト
リックスとする繊維強化金属複合材料にて構成され、第
二の部材が成る特定のセラミックにて構成され、それら
の両部材の耐摩耗性及び耐焼付き性等に優れた摺動用部
材を提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段 上述の如き目的は、本発明によれば、互いに当接して相
対的に摺動する第一の部材と第二の部材とよりなる摺動
用部材にして、前記第一の部材の少なくとも前記第二の
部材に対する摺動面部は40yt%以上AI 203 
、残部実質的に8102なる組成を有する体積率3〜3
0%のアルミナ−シリカ系繊維を強化繊維としアルミニ
ウム合金若しくはマグネシウム合金をマトリックスとす
る繊維強化金属複合材料にて構成され、前記第二の部材
の少なくとも前記第一の部材に対する摺動面部は5j3
N4、SiC及びZ「02よりなる群より選択されたセ
ラミックにて構成された摺動用部材によって達成される
発明の作用及び効果 本発明によれば、第一の部材の少なくとも第二の部材に
対する摺動面部は、体積率3〜30%のアルミナ−シリ
カ系繊維を強化繊維としアルミニウム合金若しくはマグ
ネシウム合金をマトリックスとする繊維強化金属複合材
料にて構成され、第二の部材の少なくとも第一の部材に
対する摺動面部は、Si3N4、SIC及びZrO2よ
りなる群より選択されたセラミックにて構成されるので
、後に説明する本願発明者等が行った実験的研究の結果
より明らかである如く、二つの部材の耐摩耗性及び耐焼
付き性に優れた摺動用部材を得ることができる。
本願発明者等が行った実験的研究の結果によれば、5i
iN4、SiC,及びZr 02は上述の如き繊維強化
金属複合材料と組合せて摺動用部材を構成するに適した
セラミックであるが、これらのセラミックの気孔率が2
%を越えると、その摺動面を後述の如く表面粗さ1,2
μRz以下に加工することが困難になり、そのためセラ
ミックの耐摩耗性が不十分となる。従って本発明の一つ
の詳細な特徴によれば、第二の部材を構成するセラミッ
クの気孔率は2%以下に設定される。
また本願発明者等が行った実験的研究の結果によれば、
第二の部材がSi:+ N4、Si C,又はZrO2
のセラミックにて構成される場合には、セラミックの摺
動面の表面粗さが比較的大きい場合にも、第二の部材が
耐摩耗性に乏しい金属にて構成される場合に比して、第
−及び第二の部材の摩耗量を低減することができるが、
セラミックの摺動面の表面粗さが特に1.2μRz以下
の場合に二つの部材の摩耗量を小さい値に抑えることが
できる。従って本発明の他の一つの詳細な特徴によれば
、第二の部材の摺動面の表面粗さは1,2μRz以下に
設定される。
また本願発明者等が行った実験的研究の結果によれば、
第一の部材の摺動面が電解エツチングされることにより
アルミナ−シリカ系繊維の一部が摺動面に露出し、摺動
面に露出するアルミナ−シリカ系繊維の間のマトリック
スの表面に凹部が形成される場合には、第−及び第二の
部材の耐摩耗性及び耐焼付き性を更に一層向上させるこ
とができる。従って本発明の更に他の一つの詳細な特徴
によれば、第一の部材はその摺動面が電解エツチングさ
れることによりアルミナ−シリカ系繊維の一部が摺動面
に露出しており、摺動面に露出するアルミナ−シリカ系
繊維の間のマトリックスの表面に凹部が形成された状態
にて使用される。
尚第−の部材の複合材料の強化繊維としてのアルミナ−
シリカ系繊維、即ちAl2O3及びSiO2を主成分と
する繊維のAlph3含有量が40wt%未満の場合に
は、複合材料の耐摩耗性を十分に向上させることができ
ない。従って本発明に於てはAl2O3含有量が40w
t%以上のアルミナ−シリカ系繊維が使用される。この
アルミナ−シリカ系繊維は長繊維又は短繊維の何れであ
ってもよく、平均繊維径は100μ以下、特に1〜40
μ程度であることが好ましい。
またアルミナ−シリカ系繊維の体積率が5%未満、特に
3%未満の場合には、複合材料の耐摩耗性等を十分に向
上させることができず、逆にアルミナ−シリカ系繊維の
体積率が15%、特に30%を越えると、複合材料及び
第二の部材の摩耗量が増大する。従ってアルミナ−シリ
カ系mtlの体積率は3〜30%、好ましくは3〜15
%に設定される。更にアルミナ−シリカ系繊維の配向は
一方向配向、二次元ランダム配向、三次元ランダム配向
等任意の配向であってよいが、特に一方向配向及二次元
ランダム配向の場合には、摺動面が一方向配向の方向又
は二次元ランダム配向平面に対しできるだけ垂直又はこ
れに近い角度をなすよう設定されることが好ましい。
また第二の部材は任意の方法により形成されてよいが、
比較的容易に気孔率を制御し得る点に於てセラミック粉
末を焼結させることにより形成されることが好ましい。
以下に添付の図を参照しつつ、本発明を実施例について
詳細に説明する。
実施例1 互いに当接して相対的に摺動する二つの部材よりなる摺
動用部材であって、その一方の部材がアルミナ−シリカ
繊維を強化繊維としアルミニウム合金をマトリックスと
する繊維強化金属複合材料にて構成されており、その他
方の部材がセラミックにて構成された摺動用部材につい
て行われた摩耗試験及び焼付き試験を、他の材質の組合
せよりなる摺動用部材について行われた摩耗試験及び焼
付き試験と対比して説明する。
まず平均繊維径2.8μ、平均繊維長6■のアルミナ−
シリカ繊維(55wt%Al : 03 、残部実質的
にSi o2)が実質的に三次元ランダムにて配向され
た繊維成形体を形成し、該繊維成形体を用いて行われる
高圧鋳造(溶湯の温度730°C1溶湯に対する加圧力
500 kg/ cm2)により、体積率8%のアルミ
ナ−シリカ繊維を強化繊維としアルミニウム合金(JI
S規格AC8A)をマトリックスとする複合材料を製造
した。次いでこの複合材料より大きさが16X6Xb その一つの面(16X6mm)を試験面とする平板試験
片を多数作成した。また比較用としてアルミナ−シリカ
繊維にて強化されていないアルミニウム合金(JIS規
格AC8A)のみよりなり、上述の平板試験片と同一の
寸法を有する平板試験片を多数作成した。
また平均粒径1,0μのSi3N4粉末と少量のY2O
3粉末及びMgA+、04粉末との混合粉末を常温にて
成形した後、非酸化雰囲気中に於て1750℃にて焼結
することにより、外径35■、内径30ffIffl、
幅10mmのSi3N4製の円筒試験片(気孔率1,0
%)を形成し、平均粒径0゜5μのZr 04粉末と少
量のY403粉末との混合粉末を常温にて成形した後1
650°Cにて焼結することにより同一寸法のZrO2
製の円筒試験片(気孔率1.0%)を形成し、平均粒径
0.3μのSiC粉末と少量のB粉末及びC粉末との混
合粉末を常温にて成形した後、低酸素雰囲気中に於て2
100℃にて焼結することにより同一寸法のSIC′7
Aの円筒試験片(気孔率1.1%)を形成し、平均粒径
0.4μのAI = 03粉末を常温にて成形した後1
700℃にて焼結することにより同一寸法のAI 20
3製の円筒試験片(気孔率1.0%)を形成した。
次いでこれらの平板試験片を順次摩擦摩耗試験機にセッ
トし、相手部材である上述の各セラミック製の円筒試験
片又は外径35mm、内径30fflI111幅100
1111の球状黒鉛鋳鉄(JIS規IFcD70)製の
円筒試験片の端面と接触させ、それらの試験片の接触部
に温度150°Cの潤滑油(キャッスルモータオイル5
W−30)を供給しつつ、荷重60 kg、回転数16
 Orpmにて円筒試験片を1時間回転させる摩耗試験
を行った。
尚平板試験片と円筒試験片との組合せは下記の表1に記
されている通りであり、各組合せの円筒試験片の被試験
面の表面粗さは全て1,2μRzであった。
夷     1 この摩耗試験の結果を第1図に示す。尚第1図に於て、
上半分は平板試験片の摩耗量(摩耗痕深さμ)を表わし
ており、下半分は相手材である円筒試験片の摩耗量(摩
耗量mff1g)を表わしている(後述の第2図〜第5
図に於ても同じ)。
第1図より、組合せAδ〜A Iffの平板試験片の摩
耗量は非常に高い値であり、組合せA5及びAl11の
円筒試験片の摩耗量は比較的高い値であることが解る。
また組合せA1−A3の平板試験片の摩耗量と組合せA
4の平板試験片の摩耗量との比較より、円筒試験片の構
成材料がSi3N4、Si C,Zr O:である場合
には構成材料がAl2O3である場合に比して平板試験
片の摩耗量が小さい値であることが解る。かくしてアル
ミナ−シリカ繊維にて強化されたアルミニウム合金より
なる平板試験片とS13 N4 、Si C,及びZr
O2よりなる円筒試験片との組合せAl−A3の場合に
は、平板試験片及び円筒試験片両方の摩耗量が他の組合
せの場合に比して小さいことが解る。
また上掲の表1に示された試験片の組合せA1〜A 1
0について、平板試験片と円筒試験片との接触部に常温
の潤滑油(キャッスルモータオイル5W−30)を供給
し、円筒試験片を回転数100Orpmにて回転させつ
つ平板試験片に対する円筒試験片の抑圧荷重を10kg
より700 kgまで増加させ、これにより焼付き限度
荷重を測定する焼付き試験を行った。
この試験の結果、組合せA1−A3の焼付き限度荷重は
他の何れの組合せよりも高く、従ってこれらの組合せは
耐焼付き性にも優れていることが確認さ゛れた。
実施例2 上述の実施例1の場合と同一の要領にて、体積率896
にて実質的に三次元ランダムにて配向されたアルミナ−
シリカ繊維(実施例1に於て使用されたアルミナ−シリ
カ繊維と同一)を強化繊維とし、マグネシウム合金(J
IS規格MC2)をマトリックスとする複合材料を高圧
鋳造(溶湯の温度700°C1溶湯に対する加圧力80
0 kg/ cab” )にて製造し、該複合材料より
実施例1の場合と同一の寸法の平板試験片を多数作成し
た。
次いでこれらの平板試験片について、下記の表2に示さ
れた試験片の組合せにて実施例1の場合と同一の要領及
び条件にて摩耗試験及び焼付き試験を行った。尚下記の
表2に示された組合せB!〜B4の円筒試験片はそれぞ
れ上掲の表1に示された組合せA1−A4と同一の要領
及び条件にて形成され表面粗さが調整されたものであり
、組合せB5の円筒試験片の被試験面の表面粗さは1゜
2μRzであった。
表  2 この摩耗試験の結果を第2図に示す。第2図より、組合
せB4及びB5の場合に比して組合せB!〜B3の摩耗
量は平板試験片及び円筒試験片の何れについても低い値
で5あり、従ってアルミナ−シリカ繊維にて強化された
マグネシウム合金よりなる複合材料とSt 3 Na 
、Si C1及びZrO2との組合せも耐摩耗性に優れ
ていることが解る。
また図には示されていないが、焼付き試験の結果、アル
ミナ−シリカ繊維にて強化されたマグネシウム合金より
なる複合材料とSi3N4.5iC1及びZrO2との
組合せは耐焼付き性にも優れていることが確認された。
実施例3 上述の実施例1の場合と同一の要領にて、体積率6%に
て実質的に三次元ランダムにて配向されたアルミナ繊維
(95wt%Al 203 、残部実質的にS i O
2)平均繊維径3.2μ、平均繊維長8am)を強化繊
維とし、アルミニウム合金(JIS規格AI)C10)
をマトリックスとする複合材料を高圧鋳造(溶湯の温度
740°C1溶湯に対する加圧力500 kg/ cm
2)にて製造し、該複合材料より実施例1の場合と同一
の寸法の平板試験片を多数作成した。
次いでこれらの平板試験片について、下記の表3に示さ
れた試験片の組合せにて実施例1の場合と同一の要領及
び条件にて摩耗試験及び焼付き試験を行った。尚下記の
表3に示された組合せ01〜C4の円筒試験片はそれぞ
れ上掲の表1に示された組合せA、−A4と同一の要領
及び条件にてか形成され表面粗さが調整されたものであ
り、組合せC5の円筒試験片の被試験面の表面粗さは1
゜2μRzであった。
表  3 この摩耗試験の結果を第3図に示す。第3図より、組合
せC4及びC5の場合に比して組合せ01〜C3の摩耗
量は平板試験片及び円筒試験片の何れについても低い値
であり、従ってアルミナ繊維にて強化されたアルミニウ
ム合金よりなる複合材料とSI3 N4 、SI C,
及びZrO2との組合せも耐摩耗性に優れていることが
解る。
また図には示されていないが、焼付き試験の結果、アル
ミナ繊維にて強化されたアルミニウム合金よりなる複合
材料とSi3N4、Si C,及びZrO2との組合せ
は耐焼付き性にも優れていることが確認された。
実施例4 上述の実施例1の場合と同一の要領にて、体積率6%に
て実質的に三次元ランダムにて配向されたアルミナ繊維
(実施例3に於て使用されたアルミナ繊維と同一)を強
化繊維とし、マグネシウム合金(JIS規格MC2)を
マトリックスとする複合材料を高圧鋳造(溶湯の温度7
00°C1溶湯に対する加圧力800 kg/ cm”
 )にて製造し、該複合材料より実施例1の場合と同一
の寸法の平板試験片を多数作成した。
次いでこれらの平板試験片について、下記の表4に示さ
れた試験片の組合せにて実施例1の場合と同一の要領及
び条件にて摩耗試験及び焼付き試験を行った。尚下記の
表4に示された組合せり。
〜D4の円筒試験片はそれぞれ上掲の表1に示された組
合せA1−A4と同一の要領及び条件にて形成され表面
粗さが調整されたものであり、組合せD5の円筒試験片
の被試験面の表面粗さは1゜2μRzであった。
表  4 この摩耗試験の結果を第4図に示す。第4図より、組合
せD4及びD5の場合に比して組合せD1〜D3の摩耗
量は平板試験片及び円筒試験片の何れについても低い値
であり、従ってアルミナ繊維にて強化されたマグネシウ
ム合金よりなる複合材料とS l 3 N4 、S I
 C−及びZrO2との組合せも耐摩耗性に優れている
ことが解る。
また図には示されていないが、焼付き試験の結果、アル
ミナ繊維にて強化されたマグネシウム合金よりなる複合
材料とSl 3 N4 、SI C,及びZrO2との
組合せは耐焼付き性にも優れていることが確認された。
実施例5 実施例1の試験片の組合せA1に対応する試験片の組合
せに於て、円筒試験片の被試験面に対する研削条件を変
化させることにより、円筒試験片の被試験面の表面粗さ
を0,4μRz、0.8μRz、1.0μRz、1.2
μRz、1.4μR2,2,0μRzに設定し、平板試
験片の表面粗さを1.6μRzに設定して、上述の実施
例1の場合と同一の要領及び条件にて摩耗試験を行った
この摩耗試験の結果を第5図に示す。
第5図より、円筒試験片の被試験面の表面粗さが1.2
μRz以下の場合に平板試験片及び円筒試験片両方の摩
耗量が小さい値であり、従ってセラミックの表面粗さは
1.2μRz以下であることが好ましいことが解る。
尚この実施例と同様の摩耗試験を実施例1の試験片の組
合せA2及びA3についても行ったところ、第5図に示
された結果と同様の結果が得られた。
実施例6 実施例1に於て使用されたアルミナ−シリカ繊維と同一
のアルミナ−シリカ繊維が実質的に三次元ランダムにて
配向された繊維成形体を形成し、該繊維成形体を用いて
行われる高圧鋳造(溶湯の温度730℃、溶湯に対する
加圧力500 kg/ cII12)により、体積率8
%のアルミナ−シリカ繊維を強化繊維としアルミニウム
合金(JIS規洛ADT4)をマトリックスとする複合
材料を製造した。次いでこの複合材料より外径25.6
■、内径20.011111%長さ16mmの寸法を有
し一方の端面を被試験面とする円筒試験片を5個形成し
、各試験片の被試験面の表面粗さを研削により0,6μ
Rzに仕上げた。
次いで硝酸水溶液を用いて行われる電解エツチングによ
り、3個の円筒試験片の被試験面のマトリックスの表面
に凹部を形成した。第6図はかくして形成された試験片
の被試験面近傍の断面を示す模式図であり、図に於て2
1は強化繊維としてのアルミナ−シリカ繊維を示してお
り、22はマトリックスとしてのアルミニウム合金を示
しており、23は凹部を示している。
この場合電解エツチングの条件を適宜に設定することに
より、被試験面の任意の断面に現われる四部23の深さ
DIの平均値Diが1.8μであり、凹部23の開口径
に対する深さの比の平均値、即ち被試験面の任意の断面
に現われる凹部23の開口部長さWlに対する深さDI
の比の平均値D1/W1が0.02であり、複合材料の
表面24よりアルミナ−シリカ繊維の露出高さHlの平
均値H1が0.8μであり、凹部の面積率、即ち複合材
料の任意の断面の成る基準長さしに対する凹部23の開
口部長さWiの合計の比の百分率が2096である3個
の円筒試験片が形成された。
次いで電解エツチングが行われたこれらの円筒試験片及
び電解エツチングが行われず、従って四部の深さ、アル
ミナ−シリカ繊維の露出高さ及び凹部の面積率が0であ
る複合材料よりなる円筒試験片を順次摩擦摩耗試験機に
セットし、Si3N4 (気孔率1.0%)、Alph
3 (気孔率1゜096 ) 、球状黒鉛鋳鉄(JIS
規洛FCD70)よりなり、大きさが30X30X5m
mであり、その一つの面(30X30mm)を被試験面
とする平板試験片の被試験面と接触させ、それらの試験
片の接触部に常温の潤滑油(キャッスルモータオイル5
AE30)を供給し、円筒試験片を回転数11000r
pにて回転させつつ、平板試験片に対する円筒試験片の
抑圧荷重を10kgより700kgまで増加させ、これ
により焼付き限度荷重を測定する焼付き試験を行った。
尚この焼付き試験に於ける円筒試験片と平板試験片との
組合せは下記の表5に示す通りであった。
また各平板試験片の被試験面の表面粗さは全て0゜8μ
Rzであった。
表  5 この焼付き試験の結果を第7図に示す。第7図より、組
合せElの焼付き限度荷重は組合せE2の焼付き限度荷
重よりも遥かに高く、組合せE4の焼付き限度荷重(焼
付き発生せず)は組合せE2 、E3 、E5の焼付き
限度荷重よりも遥かに高く、従ってアルミナ−シリカ繊
維にて強化されたアルミニウム合金よりなる複合材料と
Si3Naとの組合せ、及びアルミナ−シリカ繊維にて
強化されたアルミニウム合金よりなり電解エツチングさ
れた複合材料とSi 3 N4との組合せは耐焼付き性
に優れていることが解る。また特に組合せElとE4と
の比較より、複合材料に電解エツチングを施して強化繊
維を露出させると共に、複合材料の表面の強化繊維の間
に凹部を形成すれば耐焼付き性が更に向上することが解
る。
面図には示されていないが、上掲の表5に示された試験
片の組合せについて実施例1の場合と同一の要領にて摩
耗試験を行ったところ、組合せEl及びE4、特に組合
せE4は耐摩耗性にも優れていることが確認された。
以上に於ては本発明を幾つかの実施例について詳細に説
明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施例が可能で
あることは当業者にとって明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第5図はそれぞれ実施例1〜5の摩耗試験の
結果を示すグラフ、第6図は本発明よる摺動用部材の第
一の部材を構成する繊維強化金属複合材料の一つの実施
例の表面部の断面を示す模式図、第7図は実施例6の焼
付き試験の結果を示すグラフである。 21・・・アルミナ−シリカ繊維、22・・・アルミニ
ウム合金、23・・・凹部、24・・・表面部 許 出
 願 人  トヨタ自動車株式会社代   理   人
  弁理士  明石 昌毅第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 耗 量 (mg) 第 6 図 第7図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 互いに当接して相対的に摺動する第一の部材と
    第二の部材とよりなる摺動用部材にして、前記第一の部
    材の少なくとも前記第二の部材に対する摺動面部は40
    wt%以上Al_2O_3、残部実質的にSiO_2な
    る組成を有する体積率3〜30%のアルミナ−シリカ系
    繊維を強化繊維としアルミニウム合金若しくはマグネシ
    ウム合金をマトリックスとする繊維強化金属複合材料に
    て構成され、前記第二の部材の少なくとも前記第一の部
    材に対する摺動面部はSi_3N_4、SiC及びZr
    O_2よりなる群より選択された何れかのセラミックに
    て構成された摺動用部材。
  2. (2) 特許請求の範囲第1項の摺動用部材に於て、前
    記セラミックの気孔率は2%以下であることを特徴とす
    る摺動用部材。
  3. (3) 特許請求の範囲第1項又は第2項の摺動用部材
    に於て、前記第二の部材の摺動面の表面粗さは1.2μ
    Rz以下であることを特徴とする摺動用部材。
  4. (4) 特許請求の範囲第1項乃至第3項の何れかの摺
    動用部材に於て、前記第一の部材の摺動面が電解エッチ
    ングされることにより前記アルミナ−シリカ系繊維の一
    部が前記摺動面に露出しており且前記摺動面に露出する
    前記アルミナ−シリカ系繊維の間の前記マトリックスの
    表面に凹部が形成されていることを特徴とする摺動用部
    材。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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GB2406533A (en) * 2003-10-02 2005-04-06 Leica Microsys Lithography Ltd Stage for a workpiece
KR101023689B1 (ko) 2003-12-19 2011-03-25 두산인프라코어 주식회사 주축 이송계에 복합재료를 갖는 공작기계

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GB2406533A (en) * 2003-10-02 2005-04-06 Leica Microsys Lithography Ltd Stage for a workpiece
GB2406533B (en) * 2003-10-02 2005-11-02 Leica Microsys Lithography Ltd Stage for a workpiece
KR101023689B1 (ko) 2003-12-19 2011-03-25 두산인프라코어 주식회사 주축 이송계에 복합재료를 갖는 공작기계

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