JPS635512A - 半導体製造装置の稼動監視方式 - Google Patents
半導体製造装置の稼動監視方式Info
- Publication number
- JPS635512A JPS635512A JP15034386A JP15034386A JPS635512A JP S635512 A JPS635512 A JP S635512A JP 15034386 A JP15034386 A JP 15034386A JP 15034386 A JP15034386 A JP 15034386A JP S635512 A JPS635512 A JP S635512A
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- JP
- Japan
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- signal
- semiconductor manufacturing
- signals
- request signal
- input device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 16
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 2
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造装置の稼動監視方式に関する。
従来半導体製造装置の稼動監視方式は、人間が装置の稼
動状況を目視確認して状況を把握し、各装置の稼動状況
を集計するのが最初の段階であった。
動状況を目視確認して状況を把握し、各装置の稼動状況
を集計するのが最初の段階であった。
次の段階では、上位コンビエータが、各半導体製造装置
に取シ付けられた稼動状況入°力ａｔで状態変更時に発
生した信号を収集することによ）、各半導体製造装置の
稼動状況を把握していた。
に取シ付けられた稼動状況入°力ａｔで状態変更時に発
生した信号を収集することによ）、各半導体製造装置の
稼動状況を把握していた。
゛上述た従来の半導体製造装置の稼動監視方式は、上位
コンピュータがいかなる場合においても稼動状況入力装
置から送られてくる信号を受は取らなければならないの
で上位コンビーータを稼動監視専用として使用しなけれ
ばならないという欠点があった。
コンピュータがいかなる場合においても稼動状況入力装
置から送られてくる信号を受は取らなければならないの
で上位コンビーータを稼動監視専用として使用しなけれ
ばならないという欠点があった。
本発明の方式は、半導体製造装置の稼動に関しての複数
の状態の変化に応答してそれぞれ対応する状態信号を発
生する複数の状態信号発生手段と、上位コンビエータか
ら定期的に前記各状態信号に対応するそれぞれの要求信
号を一定間隔で発生する要求信号発生手段と、前記状態
信号と前記要求信号との供給をうけ前記状態信号を前記
要求信号に対する応答信号として送出するゲート手段と
を含んで構設される。
の状態の変化に応答してそれぞれ対応する状態信号を発
生する複数の状態信号発生手段と、上位コンビエータか
ら定期的に前記各状態信号に対応するそれぞれの要求信
号を一定間隔で発生する要求信号発生手段と、前記状態
信号と前記要求信号との供給をうけ前記状態信号を前記
要求信号に対する応答信号として送出するゲート手段と
を含んで構設される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。
入力スイッチで、例えば第１の入力スイッチ３は稼動中
状態入力スイッチ、第２の入力スイッチ４は製品待ち状
態入力スイッチ、第３の入力スイッチ５け試行状態入力
スイッチ、第４の入カスイッ４の出力要求信号７は故障
状態出力要求信号、第３の出力要求信号８は試行状態出
力要求信号、第２の出力要求信号９は製品待ち状態出力
要求信号、第１の出力要求信号１０は稼動中状態出力要
求信号である。１１は、応答信号である。２１〜２４は
ナントゲートであ逆対応する第１〜第４の出力要求信号
が論理値１１′のときに開く。
状態入力スイッチ、第２の入力スイッチ４は製品待ち状
態入力スイッチ、第３の入力スイッチ５け試行状態入力
スイッチ、第４の入カスイッ４の出力要求信号７は故障
状態出力要求信号、第３の出力要求信号８は試行状態出
力要求信号、第２の出力要求信号９は製品待ち状態出力
要求信号、第１の出力要求信号１０は稼動中状態出力要
求信号である。１１は、応答信号である。２１〜２４は
ナントゲートであ逆対応する第１〜第４の出力要求信号
が論理値１１′のときに開く。
半導体製造装置の状態が変化した場合に稼動状況入力装
置２の対応する入力スイッチが応動する。
置２の対応する入力スイッチが応動する。
例えば稼動開始時には第１のスイッチ３が閉じ論理値１
１＃をナントゲート２１に与え稼動終了に応答して第１
のスイッチ３は開きナントゲート２１の論理値１１′を
除く。
１＃をナントゲート２１に与え稼動終了に応答して第１
のスイッチ３は開きナントゲート２１の論理値１１′を
除く。
次に上位コンビエータ１は、定期的に第４の出力要求信
号７から第１の出力要求信号１０までを一定間隔で送信
しくこれはナントゲート２１〜２４にそれぞれ論理値１
１′を与える）、稼動状況入力装置２が各出力要求信号
７〜１０を受信したときにナントゲート２１〜２４を開
いて対応する応答信号１１を送信する。上位コンビエー
タ１は送信された応答信号によ）半導体製造装置の状態
を認識する。
号７から第１の出力要求信号１０までを一定間隔で送信
しくこれはナントゲート２１〜２４にそれぞれ論理値１
１′を与える）、稼動状況入力装置２が各出力要求信号
７〜１０を受信したときにナントゲート２１〜２４を開
いて対応する応答信号１１を送信する。上位コンビエー
タ１は送信された応答信号によ）半導体製造装置の状態
を認識する。
定期的要求信号発生についてはコンビエータの公知の技
術法説明は省略する。
術法説明は省略する。
このようにすることによフ上位コンビエータは出力要求
時以外は他の仕事をすることができコンビエータの使用
効率を向上できる。
時以外は他の仕事をすることができコンビエータの使用
効率を向上できる。
以上説明したように本発明には、上位コンピュータが半
導体製造装置に取シ付けた稼動状況入力装置２に対して
定期的に状態出力要求信号を一定間隔で出し各状態出力
要求信号に対する稼動状況入力装置２からの応答信号を
集計することにより、間けつ的定期的に稼動監視をする
ことによシ上位コンピュータの使用効率を向上できると
いう効果がある。
導体製造装置に取シ付けた稼動状況入力装置２に対して
定期的に状態出力要求信号を一定間隔で出し各状態出力
要求信号に対する稼動状況入力装置２からの応答信号を
集計することにより、間けつ的定期的に稼動監視をする
ことによシ上位コンピュータの使用効率を向上できると
いう効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。
１・・・・・・上位コンビエータ、２・・・・・・稼動
状況入力装置、３・・・・・・第１人力スイッチ、４・
・・・・・第２人力スイッチ、５・・・・・・第３人力
スイッチ、６・・・・・・第４人力スイッチ、７・・・
・・・第４出力要求信号、８・・・・・・第３出力要求
信号、９・・・・・・第２出力要求信号、１０・・・・
・・第１出力要求信号、１１・・・・・・応答信号。 ２１〜２４・・・・・・ナントゲート。
状況入力装置、３・・・・・・第１人力スイッチ、４・
・・・・・第２人力スイッチ、５・・・・・・第３人力
スイッチ、６・・・・・・第４人力スイッチ、７・・・
・・・第４出力要求信号、８・・・・・・第３出力要求
信号、９・・・・・・第２出力要求信号、１０・・・・
・・第１出力要求信号、１１・・・・・・応答信号。 ２１〜２４・・・・・・ナントゲート。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 半導体製造装置の稼動に関しての複数の状態の変化に応
答してそれぞれ対応する状態信号を発生する複数の状態
信号発生手段と、 上位コンピュータから定期的に前記各状態信号に対応す
るそれぞれの要求信号を一定間隔で発生する要求信号発
生手段と、 前記状態信号と前記要求信号との供給をうけ前記状態信
号を前記要求信号に対する応答信号として送出するゲー
ト手段とを含むことを特徴とする半導体製造装置の稼動
監視方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15034386A JPS635512A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 半導体製造装置の稼動監視方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15034386A JPS635512A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 半導体製造装置の稼動監視方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS635512A true JPS635512A (ja) | 1988-01-11 |
Family
ID=15494920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15034386A Pending JPS635512A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 半導体製造装置の稼動監視方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS635512A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288448A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-28 | Nitto Boseki Co Ltd | プリント基板用ガラスクロスの製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5956171A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-03-31 | Toshiba Corp | 機器システム監視装置 |
-
1986
- 1986-06-25 JP JP15034386A patent/JPS635512A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5956171A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-03-31 | Toshiba Corp | 機器システム監視装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288448A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-28 | Nitto Boseki Co Ltd | プリント基板用ガラスクロスの製造方法 |
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