JPS6355164A - 窒化アルミニウム質グリ−ンシ−トの製法 - Google Patents
窒化アルミニウム質グリ−ンシ−トの製法Info
- Publication number
- JPS6355164A JPS6355164A JP61200803A JP20080386A JPS6355164A JP S6355164 A JPS6355164 A JP S6355164A JP 61200803 A JP61200803 A JP 61200803A JP 20080386 A JP20080386 A JP 20080386A JP S6355164 A JPS6355164 A JP S6355164A
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- Japan
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- particle size
- aluminum nitride
- volume
- green sheet
- particles
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高熱伝導性、高密度窒化アルミニウム質シート
状焼結体を得るための窒化アルミニウム質グリーンシー
トの製法に関するものである。
状焼結体を得るための窒化アルミニウム質グリーンシー
トの製法に関するものである。
近年ＬＳＩの発達に伴い高集積回路、パワートランジス
タ、レーザーダイオード等高発熱量型の半導体を実装す
るために熱伝導率の貰い基板材料が必要とされている。
タ、レーザーダイオード等高発熱量型の半導体を実装す
るために熱伝導率の貰い基板材料が必要とされている。
このような高熱伝導性のセラミックとして、窒化アルミ
ニウム質基板材料が注目されている。中でもこのような
基板面に印刷技術でもって厚膜回路等の導体パターンを
形成するものでは、グリーンシート面にスクリーン印刷
し、印刷されたシートを打抜加工によりブロック化して
これを積層した後焼成するといった成形及び焼成法が安
価であり且つ多量生産に適しており、そのため良好なグ
リーンシートを得るための製法が検討されている。
ニウム質基板材料が注目されている。中でもこのような
基板面に印刷技術でもって厚膜回路等の導体パターンを
形成するものでは、グリーンシート面にスクリーン印刷
し、印刷されたシートを打抜加工によりブロック化して
これを積層した後焼成するといった成形及び焼成法が安
価であり且つ多量生産に適しており、そのため良好なグ
リーンシートを得るための製法が検討されている。
近時、酸化物の還元法による窒化アルミニウム原料粉末
を用いた窒化アルミニウム質グリーンシートの製法が提
案されている。（例えば特開昭６０−１７１２７０号公
報、特開昭６０−１８０９５４号公報及び特開昭６０−
１８０９６４号公報）〔発明が解決しようとする問題点
〕 しかし乍ら、現在得られている酸化物の還元法により得
られる窒化アルミニウム粉末は第３図の電子顕微鏡写真
に示すように粒子形状が均一であり且つ略球状である。
を用いた窒化アルミニウム質グリーンシートの製法が提
案されている。（例えば特開昭６０−１７１２７０号公
報、特開昭６０−１８０９５４号公報及び特開昭６０−
１８０９６４号公報）〔発明が解決しようとする問題点
〕 しかし乍ら、現在得られている酸化物の還元法により得
られる窒化アルミニウム粉末は第３図の電子顕微鏡写真
に示すように粒子形状が均一であり且つ略球状である。
このような粉末の粒度分布を調べると第４図に示すよう
に最大粒径が約５μｍ程度まであり、粒径３μｍ以上が
約１０体積％以下、粒径３μｍ未満が約９０体積％以上
と微粒子の量が多い。このような粒度分布を存する窒化
アルミニウム粉末はグリーンシート成形体中で粒子の充
填性が良いため、即ち粒子相互の詰まりが良いために、
グリーンシート作成中の乾燥工程においてこれら粒子間
の溶剤が容易に揮散せず、また脱バインダ時にも熱分解
されたバインダの脱ガスが出来にくい。したがって、ド
クターブレード法によるグリーンシートの作成に際して
はクラックが発生し易く、クランクの発生の少ないもの
が得られたとしても耐折れ性が劣り、そのため脱バイン
ダ後においてもクランクが発生し易い欠点がある。
に最大粒径が約５μｍ程度まであり、粒径３μｍ以上が
約１０体積％以下、粒径３μｍ未満が約９０体積％以上
と微粒子の量が多い。このような粒度分布を存する窒化
アルミニウム粉末はグリーンシート成形体中で粒子の充
填性が良いため、即ち粒子相互の詰まりが良いために、
グリーンシート作成中の乾燥工程においてこれら粒子間
の溶剤が容易に揮散せず、また脱バインダ時にも熱分解
されたバインダの脱ガスが出来にくい。したがって、ド
クターブレード法によるグリーンシートの作成に際して
はクラックが発生し易く、クランクの発生の少ないもの
が得られたとしても耐折れ性が劣り、そのため脱バイン
ダ後においてもクランクが発生し易い欠点がある。
本発明者は上記欠点を解消するため鋭意研究の結果、粒
径３μｍ以上の粒子が比較的多く存在する窒化アルミニ
ウム粉末を出発原料とすることにより良好な充填性を有
するグリーンシート成形体が得られることを知見した。
径３μｍ以上の粒子が比較的多く存在する窒化アルミニ
ウム粉末を出発原料とすることにより良好な充填性を有
するグリーンシート成形体が得られることを知見した。
本発明においては窒化アルミニウム粉末の粒子相互が良
好な充填性を有するため、グリーンシートの作成に際し
てクラックが発生し難く、耐折れ性に優れ、そのため脱
バインダ後においてもクラックが発生し難い成形性の優
れた窒化アルミニウム質グリーンシートの製法が提供さ
れる。
好な充填性を有するため、グリーンシートの作成に際し
てクラックが発生し難く、耐折れ性に優れ、そのため脱
バインダ後においてもクラックが発生し難い成形性の優
れた窒化アルミニウム質グリーンシートの製法が提供さ
れる。
本発明によれば、粒径３μｍ以上が２２〜４５体積％で
、粒径３μｍ未満が５５〜７８体積χの粒度分布を有す
る窒化アルミニウム原料粉末に、適当な焼結助剤を添加
し混合粉砕後、適当な有機結合剤を混合して得られたス
ラリーをテープ成形することを特徴とする窒化アルミニ
ウム質グリーンシートの製法が提供される。
、粒径３μｍ未満が５５〜７８体積χの粒度分布を有す
る窒化アルミニウム原料粉末に、適当な焼結助剤を添加
し混合粉砕後、適当な有機結合剤を混合して得られたス
ラリーをテープ成形することを特徴とする窒化アルミニ
ウム質グリーンシートの製法が提供される。
即ち、良好なグリーンシートを得るための手段は適度な
粒子充填性を持った窒化アルミニウム原料粉末の使用が
不可欠である。このような粒子充填性を持った窒化アル
ミニウム原料粉末として上記粒度分布を有するものが最
適である。このような粒度分布を有する現在市販の原料
では金属アルミニウムの直接窒化法で得られるものが多
い。そこで、現在市販の金属アルミニウムの直接窒化法
で得られる窒化アルミニウム原料粉末の電子顕微鏡写真
を第１図に示す。この様な粉末は第３図の原料粉末と異
なり不規則多角形状の一次粒子の凝集体（粒径が大きい
）と凝集していない粒子（粒径が小さい）とが混在して
いる。この粉末の粒度分布を調べると、第２図に示す如
く最大粒径が約７〜９μｍであり、粒径３μｍ以上が約
２２〜４５体積％、粒径３μｍ未満が約５５〜７８体積
％である。第３図に示す酸化物還元法により得られる原
料粉末と比べ、最大粒径が太き（かつ粒径３μｍ以上の
粒子の占める割合が比較的多くなる。
粒子充填性を持った窒化アルミニウム原料粉末の使用が
不可欠である。このような粒子充填性を持った窒化アル
ミニウム原料粉末として上記粒度分布を有するものが最
適である。このような粒度分布を有する現在市販の原料
では金属アルミニウムの直接窒化法で得られるものが多
い。そこで、現在市販の金属アルミニウムの直接窒化法
で得られる窒化アルミニウム原料粉末の電子顕微鏡写真
を第１図に示す。この様な粉末は第３図の原料粉末と異
なり不規則多角形状の一次粒子の凝集体（粒径が大きい
）と凝集していない粒子（粒径が小さい）とが混在して
いる。この粉末の粒度分布を調べると、第２図に示す如
く最大粒径が約７〜９μｍであり、粒径３μｍ以上が約
２２〜４５体積％、粒径３μｍ未満が約５５〜７８体積
％である。第３図に示す酸化物還元法により得られる原
料粉末と比べ、最大粒径が太き（かつ粒径３μｍ以上の
粒子の占める割合が比較的多くなる。
この様な窒化アルミニウム原料粉末に適当な焼結助剤を
添加し混合粉砕後、有機結合剤を加えて混合し、得られ
たスラリーをテープ成形すると、粒子相互の充填性が適
度な状態を保ち、グリーンシート作成時の乾燥工程にお
いて窒化アルミニウム粒子間の溶剤の揮散が容易で、ま
た脱バインダ時の熱分解されたバインダの脱ガスも容易
である。
添加し混合粉砕後、有機結合剤を加えて混合し、得られ
たスラリーをテープ成形すると、粒子相互の充填性が適
度な状態を保ち、グリーンシート作成時の乾燥工程にお
いて窒化アルミニウム粒子間の溶剤の揮散が容易で、ま
た脱バインダ時の熱分解されたバインダの脱ガスも容易
である。
そのため、グリーンシート作成に際し、クランクの発生
が少なく且つ耐折れ性が良好であり、脱バインダ時に発
生し易いクランクをも抑制することができる。
が少なく且つ耐折れ性が良好であり、脱バインダ時に発
生し易いクランクをも抑制することができる。
粒径３μｍ以上が２２体積％未満及び粒径３μｍ未満が
７８体積％を越えると、前記第３図及び第４図に示す原
料に近づき粒子の充填性が良くなり過ぎ、クランクが発
生し易く且つ耐折れ性が劣る。
７８体積％を越えると、前記第３図及び第４図に示す原
料に近づき粒子の充填性が良くなり過ぎ、クランクが発
生し易く且つ耐折れ性が劣る。
粒径３μｍ以上が４５体積％を越え粒径３μｍ未満が５
５体積％未満であると逆に粒子の充填性が悪化しクラッ
クが発生し易く且つ耐折れ性が劣るものと考えられる。
５体積％未満であると逆に粒子の充填性が悪化しクラッ
クが発生し易く且つ耐折れ性が劣るものと考えられる。
好ましくは粒径３μｍ以上が２３〜３８体積％、。
粒径３μｍ未満が６２〜７７体積％である。
さらに、より好ましくは粒径１．５μｍ以下が３０〜５
４体積％、粒径２μｍ以下（粒径１．５μｍ以下を含む
）が４０〜６６体積％、粒径４μｍ以下（粒径３μｍ以
下も含む）が６′４〜８６体積％、粒径５μｍ以下（粒
径４μｍ以下も含む）が６４〜８６体積％、粒径６μｍ
以下（粒径５μｍ以下も含む）が７５〜９８体積％、粒
径６μｍを越えるものが２〜２４体積％であることが望
まれる。
４体積％、粒径２μｍ以下（粒径１．５μｍ以下を含む
）が４０〜６６体積％、粒径４μｍ以下（粒径３μｍ以
下も含む）が６′４〜８６体積％、粒径５μｍ以下（粒
径４μｍ以下も含む）が６４〜８６体積％、粒径６μｍ
以下（粒径５μｍ以下も含む）が７５〜９８体積％、粒
径６μｍを越えるものが２〜２４体積％であることが望
まれる。
また、本発明において使用し得る焼結助剤は■ａ族、ｍ
ａ族、ｒＶａ族、ｍｂ族、ｌＶｂ族元素の単体、酸化物
、炭化物、窒化物、ホウ化物等の化合物、特にＹ２Ｏ３
またはＣａＯが好ましい。
ａ族、ｒＶａ族、ｍｂ族、ｌＶｂ族元素の単体、酸化物
、炭化物、窒化物、ホウ化物等の化合物、特にＹ２Ｏ３
またはＣａＯが好ましい。
さらに、本発明において使用し得る有機結合剤はポリビ
ニールブチラール（ＰＶＢ） 、ポリイソブチルメタア
クリレート（ＰＩＢＭＡ） 、ポリブチルメタアクリレ
ート（ＰＢＭＡ）、メチルメタアクリレート（ＨＭＡ）
及びエチルアクリレ−１−（ＥＡ）等のブチラール系又
はアクリル系及びこれらの共重合体が用いられる。
ニールブチラール（ＰＶＢ） 、ポリイソブチルメタア
クリレート（ＰＩＢＭＡ） 、ポリブチルメタアクリレ
ート（ＰＢＭＡ）、メチルメタアクリレート（ＨＭＡ）
及びエチルアクリレ−１−（ＥＡ）等のブチラール系又
はアクリル系及びこれらの共重合体が用いられる。
〔実施例１〜９〕
第２図Ａ及びＢに示す粒度分布を有する金属アルミニウ
ムの直接窒化法により得られた窒化アルミニウム原料粉
末に焼結助剤としてイツトリア（Ｙｚ（ｈ）及び結合剤
としてポリビニールブチラール（ＰＶＢ） 、ポリイソ
ブチルメタアクリレート（ＰＩＢ門Ａ）ポリブチルメタ
アクリレート（ＰＢＭＡ）及びメチルメタアクリレート
（ＭＭＡ） とエチルアクリレート（ＥＡ）との共重
合体とを第１表に示す割合で添加し、溶媒としてトルエ
ンを用いこれらをボールミルにて１７時間混合して所定
粘度を有するスラリーを作成した。これらのスラリーを
ドクターブレード法によりグリーンシート化した。得ら
れたグリーンシートのテープ成形状態（クランクやシワ
の発生状態）、テープ成形厚み、生密度、脱バインダ後
のテープ形成状態（クラック発生状Ｂ）、耐折れ性及び
脱バインダ後の生密度を夫々評価して第１表に示した。
ムの直接窒化法により得られた窒化アルミニウム原料粉
末に焼結助剤としてイツトリア（Ｙｚ（ｈ）及び結合剤
としてポリビニールブチラール（ＰＶＢ） 、ポリイソ
ブチルメタアクリレート（ＰＩＢ門Ａ）ポリブチルメタ
アクリレート（ＰＢＭＡ）及びメチルメタアクリレート
（ＭＭＡ） とエチルアクリレート（ＥＡ）との共重
合体とを第１表に示す割合で添加し、溶媒としてトルエ
ンを用いこれらをボールミルにて１７時間混合して所定
粘度を有するスラリーを作成した。これらのスラリーを
ドクターブレード法によりグリーンシート化した。得ら
れたグリーンシートのテープ成形状態（クランクやシワ
の発生状態）、テープ成形厚み、生密度、脱バインダ後
のテープ形成状態（クラック発生状Ｂ）、耐折れ性及び
脱バインダ後の生密度を夫々評価して第１表に示した。
脱バインダは実施例１〜５については大気中昇温速度５
０℃／時間で６００℃×１時間保持し、実施例６〜９に
ついてはＮ２中昇温速度５０℃／時間で１０００℃×１
時間保持して行った。耐折れ性は直径３ｍｍの断面半円
形の辺をもった板に得られたグリーンシートを押し付け
、折曲げてクランクの発生具合を評価した。
０℃／時間で６００℃×１時間保持し、実施例６〜９に
ついてはＮ２中昇温速度５０℃／時間で１０００℃×１
時間保持して行った。耐折れ性は直径３ｍｍの断面半円
形の辺をもった板に得られたグリーンシートを押し付け
、折曲げてクランクの発生具合を評価した。
〔比較例１〜４〕
第４図Ｃ及びＤに示す粒度分布を有する酸化アルミニウ
ムの還元法により得られた窒化アルミニウム原料粉末に
焼結助剤としてイツトリア（Ｙ２Ｏ，）及び結合剤とし
てポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、ポリイソブチルメ
タアクリレート（ＰｒＢＭＡ） 、ポリブチルメタアク
リレート（ＰＢ？’ｌＡ）とを第１表に示す割合で添加
し、溶媒としてトルエンを用いこれをボールミルにて１
７時間混合して所定粘度を有するスラリーを作成した。
ムの還元法により得られた窒化アルミニウム原料粉末に
焼結助剤としてイツトリア（Ｙ２Ｏ，）及び結合剤とし
てポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、ポリイソブチルメ
タアクリレート（ＰｒＢＭＡ） 、ポリブチルメタアク
リレート（ＰＢ？’ｌＡ）とを第１表に示す割合で添加
し、溶媒としてトルエンを用いこれをボールミルにて１
７時間混合して所定粘度を有するスラリーを作成した。
これらのスラリーをドクターブレード法によりグリーン
シート化した。
シート化した。
得られたグリーンシートのテープ成形状態（クラックや
シワの発生状態）、テープ成形厚み、生密度、脱バイン
ダ後のテープ成形状態（クランク発生状態）、耐折れ性
及び脱バインダ後の生密度を夫々前記実施例と同様の方
法で評価した。
シワの発生状態）、テープ成形厚み、生密度、脱バイン
ダ後のテープ成形状態（クランク発生状態）、耐折れ性
及び脱バインダ後の生密度を夫々前記実施例と同様の方
法で評価した。
脱バインダは大気中昇温速度５０℃／時間で６００”Ｃ
Ｘ １時間保持した。
Ｘ １時間保持した。
上記実施例１〜９及び比較例１〜４から理解されるよう
に粒径３μｍ以上が２２〜４５体積％で粒径３μｍ未満
が５５〜７８体積χの粒度分布を有する窒化アルミニウ
ム原料粉末を使用した本発明の実施例１〜９のものはグ
リーンシートの生密度が２．０８〜２．２０ｇ／ｃｍ３
程度であり、この程度の生密度を有するグリーンシート
はテープ成形状態においてクランクの発生がないか又は
あっても僅少であり、また脱バインダ後のテープ成形状
態及び耐折れ性評価においてクランクの発生が認められ
ず良好である。さらに、脱バインダ後の生密度も１．７
８〜１．８７ｇ／ｃｍ’程度と適当であり良好なグリー
ンシートが得られている。
に粒径３μｍ以上が２２〜４５体積％で粒径３μｍ未満
が５５〜７８体積χの粒度分布を有する窒化アルミニウ
ム原料粉末を使用した本発明の実施例１〜９のものはグ
リーンシートの生密度が２．０８〜２．２０ｇ／ｃｍ３
程度であり、この程度の生密度を有するグリーンシート
はテープ成形状態においてクランクの発生がないか又は
あっても僅少であり、また脱バインダ後のテープ成形状
態及び耐折れ性評価においてクランクの発生が認められ
ず良好である。さらに、脱バインダ後の生密度も１．７
８〜１．８７ｇ／ｃｍ’程度と適当であり良好なグリー
ンシートが得られている。
これに対し、粒径３μｍ以上が約１０体積％以下で、粒
径３μｍ未満が約９０体積％以上の粒度分布を有する窒
化アルミニウム原料粉末を使用した比較例１〜４のもの
はグリーンシートの生密度が２．２９〜２．３４ｇ／ｃ
ｍゴと本発明の実施例１〜９のものと比べ最密充填性が
高すぎ、テープ成形状態においてはクラックの発生率が
高い。また、耐折れ性評価においてもクラックが生じ易
くなり、脱バインダ後の生密度も本発明の実施例と比べ
１．９７〜２．０１と高い値を示しておりクラックが発
生し易（なっている。
径３μｍ未満が約９０体積％以上の粒度分布を有する窒
化アルミニウム原料粉末を使用した比較例１〜４のもの
はグリーンシートの生密度が２．２９〜２．３４ｇ／ｃ
ｍゴと本発明の実施例１〜９のものと比べ最密充填性が
高すぎ、テープ成形状態においてはクラックの発生率が
高い。また、耐折れ性評価においてもクラックが生じ易
くなり、脱バインダ後の生密度も本発明の実施例と比べ
１．９７〜２．０１と高い値を示しておりクラックが発
生し易（なっている。
上述の如く、本発明においては粒径３μｍ以上が２２〜
４５体積χで、粒径３μｍ未満が５５〜７８体積χの粒
度分布を有する窒化アルミニウム原料粉末をテープ成形
したものであるので、成形されたテープ中の粒子相互の
充填性を適度な状態に保つことができ、テープ成形に際
してクランク及びシワの発生が少なく且つ耐折れ性が良
好であり脱バインダ後に発生し易いクランクを抑制する
ことができ、良好なグリーンシートを提供することがで
きる。
４５体積χで、粒径３μｍ未満が５５〜７８体積χの粒
度分布を有する窒化アルミニウム原料粉末をテープ成形
したものであるので、成形されたテープ中の粒子相互の
充填性を適度な状態に保つことができ、テープ成形に際
してクランク及びシワの発生が少なく且つ耐折れ性が良
好であり脱バインダ後に発生し易いクランクを抑制する
ことができ、良好なグリーンシートを提供することがで
きる。
第１図は本発明の実施例で使用している現在市販の金属
アルミニウムの直接窒化法により得られた代表的な窒化
アルミニウム原料粉末の電子顕微鏡写真、第２図は本発
明の窒化アルミニウム原料粉末の粒径積分分布図、（揚
場製作所 ＣＡＰＡ５０〇−沈降法による）、第３図は
比較例の原料粉末であり、現在提供されている酸化物還
元法により得られた代表的な窒化アルミニウム原料粉末
の電子顕微鏡写真、第４図は比較例の窒化アルミニウム
原料粉末の粒径積分分布図、（揚場製作所ＣＡＰＡ５０
０−沈降法による）である。
アルミニウムの直接窒化法により得られた代表的な窒化
アルミニウム原料粉末の電子顕微鏡写真、第２図は本発
明の窒化アルミニウム原料粉末の粒径積分分布図、（揚
場製作所 ＣＡＰＡ５０〇−沈降法による）、第３図は
比較例の原料粉末であり、現在提供されている酸化物還
元法により得られた代表的な窒化アルミニウム原料粉末
の電子顕微鏡写真、第４図は比較例の窒化アルミニウム
原料粉末の粒径積分分布図、（揚場製作所ＣＡＰＡ５０
０−沈降法による）である。
Claims (1)
- （１）粒径３μｍ以上が２２〜４５体積％で、粒径３μ
ｍ未満が５５〜７８体積％の粒度分布を有する窒化アル
ミニウム原料粉末に適当な焼結助剤を添加し混合粉砕後
、適当な有機結合剤を混合して得られたスラリーをテー
プ成形することを特徴とする窒化アルミニウム質グリー
ンシートの製法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61200803A JPH0774105B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 窒化アルミニウム質グリ−ンシ−トの製法 |
| US07/222,381 US5314850A (en) | 1985-10-31 | 1988-07-19 | Aluminum nitride sintered body and production thereof |
| US07/770,336 US5154863A (en) | 1985-10-31 | 1991-10-03 | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61200803A JPH0774105B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 窒化アルミニウム質グリ−ンシ−トの製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6355164A true JPS6355164A (ja) | 1988-03-09 |
| JPH0774105B2 JPH0774105B2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=16430451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61200803A Expired - Lifetime JPH0774105B2 (ja) | 1985-10-31 | 1986-08-26 | 窒化アルミニウム質グリ−ンシ−トの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0774105B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01273381A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-11-01 | Tokin Corp | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
| JP2013082592A (ja) * | 2011-10-12 | 2013-05-09 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6252179A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-06 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム組成物 |
| JPS62138363U (ja) * | 1986-02-20 | 1987-09-01 |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP61200803A patent/JPH0774105B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6252179A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-06 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム組成物 |
| JPS62138363U (ja) * | 1986-02-20 | 1987-09-01 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01273381A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-11-01 | Tokin Corp | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
| JP2013082592A (ja) * | 2011-10-12 | 2013-05-09 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0774105B2 (ja) | 1995-08-09 |
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