JPS6355647B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6355647B2 JPS6355647B2 JP56038002A JP3800281A JPS6355647B2 JP S6355647 B2 JPS6355647 B2 JP S6355647B2 JP 56038002 A JP56038002 A JP 56038002A JP 3800281 A JP3800281 A JP 3800281A JP S6355647 B2 JPS6355647 B2 JP S6355647B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- leakage
- space
- nozzle
- inner cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空漏洩検出方法に関するもので、特
に大形の真空容器等において、その製作過程で真
空度に影響を及ぼす材料接合部等の漏洩場所の検
出や漏洩の程度などを、真空容器等の容器全体を
真空状態にする手段をとることなく漏洩する可能
性がある部分を選択して局部的に漏洩の有無を検
出する方法に関するものである。
に大形の真空容器等において、その製作過程で真
空度に影響を及ぼす材料接合部等の漏洩場所の検
出や漏洩の程度などを、真空容器等の容器全体を
真空状態にする手段をとることなく漏洩する可能
性がある部分を選択して局部的に漏洩の有無を検
出する方法に関するものである。
従来、真空容器の真空漏洩の検出方法として
は、真空容器の所定の真空度まで真空にした後、
ヘリウムデイテクタ等によつて漏洩の有無および
漏洩の程度を把握していた。ところが近年、化学
プラント装置等が大形化され、それに伴つて真空
容器も大形化し、かつ高真空度の要求が出てき
た。
は、真空容器の所定の真空度まで真空にした後、
ヘリウムデイテクタ等によつて漏洩の有無および
漏洩の程度を把握していた。ところが近年、化学
プラント装置等が大形化され、それに伴つて真空
容器も大形化し、かつ高真空度の要求が出てき
た。
前記従来の漏洩検出方法では、容器全体を所定
の真空度まで真空引きするのに長時間を要するこ
とになり、さらに、漏洩部分は事前に予知するこ
とができないために、比較的漏洩量の多い部分を
有する容器が被検出体となつた場合は、所定の真
空度に至るまでむやみに時間を費やすことにな
る。また、所定の真空度に至らない場合もあり真
空漏洩の検出が不可能という結果に終ることもあ
る。
の真空度まで真空引きするのに長時間を要するこ
とになり、さらに、漏洩部分は事前に予知するこ
とができないために、比較的漏洩量の多い部分を
有する容器が被検出体となつた場合は、所定の真
空度に至るまでむやみに時間を費やすことにな
る。また、所定の真空度に至らない場合もあり真
空漏洩の検出が不可能という結果に終ることもあ
る。
本発明の目的は、前記不具合をなくす手段とし
て真空容器全体を真空引きすることなく局部的に
真空引きを行ない、極めて短時間で所定の真空度
に至らしめて真空漏洩を検出する方法を提供する
ことにある。
て真空容器全体を真空引きすることなく局部的に
真空引きを行ない、極めて短時間で所定の真空度
に至らしめて真空漏洩を検出する方法を提供する
ことにある。
本発明は、複数の材料を接合して形成された真
空容器の該材料接合部分の一方の面に、柔軟で、
かつ、前記接合部を囲む内筒および外筒が密着し
て設けられ前記接合部を覆う大きさを有した密着
板を設置し、前記外筒と内筒との間に形成される
密閉空間を真空ポンプで真空引きし、次いで前記
内筒の内側に形成される密閉空間を真空ポンプで
真空引きし、前記真空容器の材料接合部分の他方
の面に、該接合部分を囲む密室を形成して検知用
ガスを封入し、この検知用ガスが前記内筒の内側
に形成される密閉空間に漏れ込んだことを漏洩検
知器で検出することを特徴とするものである。
空容器の該材料接合部分の一方の面に、柔軟で、
かつ、前記接合部を囲む内筒および外筒が密着し
て設けられ前記接合部を覆う大きさを有した密着
板を設置し、前記外筒と内筒との間に形成される
密閉空間を真空ポンプで真空引きし、次いで前記
内筒の内側に形成される密閉空間を真空ポンプで
真空引きし、前記真空容器の材料接合部分の他方
の面に、該接合部分を囲む密室を形成して検知用
ガスを封入し、この検知用ガスが前記内筒の内側
に形成される密閉空間に漏れ込んだことを漏洩検
知器で検出することを特徴とするものである。
本発明の一実施例を図面により説明する。第１
図は大形の真空容器の構造を示すもので、本体１
およびノズル２はおのおの鋼板を溶接することに
よつて形成されており、本体１とノズル２も溶接
によつて接続されており、この両者によつて一つ
の真空容器として成り立つている。この真空容器
を真空引きして真空漏洩の検出も行なう場合、仮
にこの真空容器が全く真空漏洩がないものとする
と、真空容器全体を真空引きするためには真空ポ
ンプの排気能力に応じた真空所要時間が定まる。
勿論、真空容器内面の清浄度が悪ければ、アウタ
ーガスが発生して真空所要時間はより長くなる。
すなわち、真空を対象とする部分の容積とその内
面の清浄度によつて真空引き時間が定まり、清浄
度が一定であれば容積が小さいほど真空引き時間
は短くてすむ。
図は大形の真空容器の構造を示すもので、本体１
およびノズル２はおのおの鋼板を溶接することに
よつて形成されており、本体１とノズル２も溶接
によつて接続されており、この両者によつて一つ
の真空容器として成り立つている。この真空容器
を真空引きして真空漏洩の検出も行なう場合、仮
にこの真空容器が全く真空漏洩がないものとする
と、真空容器全体を真空引きするためには真空ポ
ンプの排気能力に応じた真空所要時間が定まる。
勿論、真空容器内面の清浄度が悪ければ、アウタ
ーガスが発生して真空所要時間はより長くなる。
すなわち、真空を対象とする部分の容積とその内
面の清浄度によつて真空引き時間が定まり、清浄
度が一定であれば容積が小さいほど真空引き時間
は短くてすむ。
第２図は第１図のノズル２の部分に本発明を実
施した一実施例である。内筒３および外筒４は例
えば無通気性のスポンジゴムを使用し、一端は密
閉板５に接着され、他端は本体１の形状に合致さ
せてある。密閉板５には荒引きノズル６と真空ノ
ズル７が設けてあり、おのおののノズルはそれぞ
れ真空ホース８および９を介して荒引きポンプ１
１および真空ポンプ付漏洩検知器１２に接続され
ている。しかして、荒引きノズル６は内外筒３，
４間に真空ノズル７は内筒３内に開口され、内筒
３および外筒４と本体１との接触面は接着剤等を
使用せず自由に置いた状態である。
施した一実施例である。内筒３および外筒４は例
えば無通気性のスポンジゴムを使用し、一端は密
閉板５に接着され、他端は本体１の形状に合致さ
せてある。密閉板５には荒引きノズル６と真空ノ
ズル７が設けてあり、おのおののノズルはそれぞ
れ真空ホース８および９を介して荒引きポンプ１
１および真空ポンプ付漏洩検知器１２に接続され
ている。しかして、荒引きノズル６は内外筒３，
４間に真空ノズル７は内筒３内に開口され、内筒
３および外筒４と本体１との接触面は接着剤等を
使用せず自由に置いた状態である。
いま、荒引きポンプ１１を運転すると内外筒
３，４間すなわち空間Ｃの部分が負圧になり、外
気圧力によつて接触面ｈおよびh′の部分が密着状
態になる。空間Ｃがある程度真空引きされた後、
真空ポンプ付漏洩検知器１２のポンプの運転を開
始すると、空間Ｂの部分が負圧になる。空間Ｂの
大気洩れ込みは空間Ｃより接触面h′を通過するこ
とによるが、空間Ｃは比較的高い真空度に至つて
いるのでその洩れ込み量は無視できる量となり、
空間Ｂは早く所定の真空度まで至る。空間Ａは空
間Ｂと同一空間であるので、当然空間Ｂと同じ真
空度に至ることになる。
３，４間すなわち空間Ｃの部分が負圧になり、外
気圧力によつて接触面ｈおよびh′の部分が密着状
態になる。空間Ｃがある程度真空引きされた後、
真空ポンプ付漏洩検知器１２のポンプの運転を開
始すると、空間Ｂの部分が負圧になる。空間Ｂの
大気洩れ込みは空間Ｃより接触面h′を通過するこ
とによるが、空間Ｃは比較的高い真空度に至つて
いるのでその洩れ込み量は無視できる量となり、
空間Ｂは早く所定の真空度まで至る。空間Ａは空
間Ｂと同一空間であるので、当然空間Ｂと同じ真
空度に至ることになる。
一方、ノズル２に何らかの欠陥があつて空間Ａ
に真空洩れがあると仮定すれば、空間Ａは所定の
真空度に至らず、あらかじめ空間Ａの体積での所
定真空度に到達する所要時間を知つておけば、ノ
ズル２のどこかの部分より真空洩れ有りと判定す
ることができる。ノズル２の部分より真空洩れが
あつた場合でも、その欠陥が十分小さくて真空洩
れ量が少なく所定の真空度に到達する場合がある
が、その場合は図に示すようにビニールシート１
０によりノズル２の外周を覆つて空間Ｄを形成
し、この空間Ｄに検知用ガスを適量封入すれば、
真空ポンプ付漏洩検知器１２によつて真空洩れの
有無を確認することができる。
に真空洩れがあると仮定すれば、空間Ａは所定の
真空度に至らず、あらかじめ空間Ａの体積での所
定真空度に到達する所要時間を知つておけば、ノ
ズル２のどこかの部分より真空洩れ有りと判定す
ることができる。ノズル２の部分より真空洩れが
あつた場合でも、その欠陥が十分小さくて真空洩
れ量が少なく所定の真空度に到達する場合がある
が、その場合は図に示すようにビニールシート１
０によりノズル２の外周を覆つて空間Ｄを形成
し、この空間Ｄに検知用ガスを適量封入すれば、
真空ポンプ付漏洩検知器１２によつて真空洩れの
有無を確認することができる。
以上のような方法で真空容器内面の全面につい
て実施すれば、真空容器全体を真空にして漏洩検
知する場合に比べて所要時間が非常に短縮され、
かつ確実に漏洩の有無および漏洩部分を把握する
ことができる。
て実施すれば、真空容器全体を真空にして漏洩検
知する場合に比べて所要時間が非常に短縮され、
かつ確実に漏洩の有無および漏洩部分を把握する
ことができる。
以上述べたように、本発明によれば次のような
効果がある。
効果がある。
(1) 真空漏洩する可能性が高い部分より逐次実施
することができるので、早期に漏洩個所を発見
することができる。
することができるので、早期に漏洩個所を発見
することができる。
(2) 真空容器全体の真空漏洩検出時間を大巾に短
縮できるので、その検出に要する費用を大巾に
削減することができる。
縮できるので、その検出に要する費用を大巾に
削減することができる。
(3) 真空洩れの有無を確実に検出でき、それによ
り適切な漏洩補修ができるので、真空容器が稼
働開始後の真空漏洩による事故などを防止する
ことができる。
り適切な漏洩補修ができるので、真空容器が稼
働開始後の真空漏洩による事故などを防止する
ことができる。
第１図は大型真空容器の全体図、第２図は本発
明の一実施例をノズル部に適用した断面図であ
る。 １……本体、２……ノズル、３……内筒、４…
…外筒、５……密閉板、６……荒引きノズル、７
……真空ノズル、１０……ビニールシート、１１
……荒引きポンプ、１２……真空ポンプ付漏洩検
知器。
明の一実施例をノズル部に適用した断面図であ
る。 １……本体、２……ノズル、３……内筒、４…
…外筒、５……密閉板、６……荒引きノズル、７
……真空ノズル、１０……ビニールシート、１１
……荒引きポンプ、１２……真空ポンプ付漏洩検
知器。
Claims (1)
- １ 複数の材料を接合して形成された真空容器の
該材料接合部分の一方の面に、柔軟で、かつ、前
記接合部を囲む内筒および外筒が密着して設けら
れ前記接合部を覆う大きさを有した密着板を設置
し、前記外筒と内筒との間に形成される密閉空間
を真空ポンプで真空引きし、次いで前記内筒の内
側に形成される密閉空間を真空ポンプで真空引き
し、前記真空容器の材料接合部分の他方の面に、
該接合部分を囲む密室を形成して検知用ガスを封
入し、この検知用ガスが前記内筒の内側に形成さ
れる密閉空間に漏れ込んだことを漏洩検知器で検
出することを特徴とする真空漏洩検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3800281A JPS57153236A (en) | 1981-03-18 | 1981-03-18 | Detection for leakage of vacuum |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3800281A JPS57153236A (en) | 1981-03-18 | 1981-03-18 | Detection for leakage of vacuum |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57153236A JPS57153236A (en) | 1982-09-21 |
| JPS6355647B2 true JPS6355647B2 (ja) | 1988-11-04 |
Family
ID=12513362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3800281A Granted JPS57153236A (en) | 1981-03-18 | 1981-03-18 | Detection for leakage of vacuum |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57153236A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0351736A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-06 | Honda Motor Co Ltd | 車体の気密性検査方法 |
| US6886389B1 (en) * | 2003-12-10 | 2005-05-03 | The Boeing Company | Systems and methods for detecting and locating leaks in internal pressure vessels |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5417077A (en) * | 1977-07-07 | 1979-02-08 | Takuma Kk | Detecting of vacuum leakage |
-
1981
- 1981-03-18 JP JP3800281A patent/JPS57153236A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57153236A (en) | 1982-09-21 |
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