JPS6359331U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6359331U JPS6359331U JP13510386U JP13510386U JPS6359331U JP S6359331 U JPS6359331 U JP S6359331U JP 13510386 U JP13510386 U JP 13510386U JP 13510386 U JP13510386 U JP 13510386U JP S6359331 U JPS6359331 U JP S6359331U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- processing apparatus
- plasma processing
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図ａ〜ｆは、本考案の一実施例の正面図、
平面図、ウエハガイドを閉じた状態の側面図、ウ
エハガイドを閉じた状態の側面図およびウエハス
トツパの各部の溝の状態を示す断面図である。第
２図ａおよびｂは、本考案の他の実施例の正面図
および平面図である。 １，２……ウエハガイド、１ａ，２ａ……ウエ
ハガイド部の溝、３……ウエハストツパ、３ａ，
３ｂ……ウエハストツパ部の溝、４ａ，４ｂ……
脚部、５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ……ウエハガイド
支持部、９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ……ボート位置
合せピン受穴、１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ
……長穴。
平面図、ウエハガイドを閉じた状態の側面図、ウ
エハガイドを閉じた状態の側面図およびウエハス
トツパの各部の溝の状態を示す断面図である。第
２図ａおよびｂは、本考案の他の実施例の正面図
および平面図である。 １，２……ウエハガイド、１ａ，２ａ……ウエ
ハガイド部の溝、３……ウエハストツパ、３ａ，
３ｂ……ウエハストツパ部の溝、４ａ，４ｂ……
脚部、５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ……ウエハガイド
支持部、９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ……ボート位置
合せピン受穴、１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ
……長穴。
Claims (1)
- プラズマ処理装置で使用されるウエハボートに
おいて、ウエハをカセツト・トウ・カセツトによ
り移しかえるためのカセツト位置合せ用ピン受穴
と、交互に反対方向に傾斜した溝を有しウエハ下
部を支持するウエハストツパと、左右に拡大可能
なウエハガイドとを含むことを特徴とするプラズ
マ処理装置用ウエハボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13510386U JPS6359331U (ja) | 1986-09-02 | 1986-09-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13510386U JPS6359331U (ja) | 1986-09-02 | 1986-09-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6359331U true JPS6359331U (ja) | 1988-04-20 |
Family
ID=31036973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13510386U Pending JPS6359331U (ja) | 1986-09-02 | 1986-09-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6359331U (ja) |
-
1986
- 1986-09-02 JP JP13510386U patent/JPS6359331U/ja active Pending
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