JPS6359974B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6359974B2 JPS6359974B2 JP59134464A JP13446484A JPS6359974B2 JP S6359974 B2 JPS6359974 B2 JP S6359974B2 JP 59134464 A JP59134464 A JP 59134464A JP 13446484 A JP13446484 A JP 13446484A JP S6359974 B2 JPS6359974 B2 JP S6359974B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- carbon mold
- carbon
- mold
- molding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B40/00—Preventing adhesion between glass and glass or between glass and the means used to shape it, hold it or support it
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/02—Re-forming glass sheets
- C03B23/023—Re-forming glass sheets by bending
- C03B23/025—Re-forming glass sheets by bending by gravity
- C03B23/0252—Re-forming glass sheets by bending by gravity by gravity only, e.g. sagging
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は石英ガラスを所定の形状に成型する方
法に関するものである。
法に関するものである。
石英ガラスは1700℃以上の高融点材料であり、
その成型が困難な材料の一つである。従来の成型
方法は酸水素焔によつて加熱するものが多いが、
バーナーからの焔の加熱面積を大きくすることが
困難で、そのためその周辺部との間に熱歪を残し
やすい。従つて例えば溶接した場合は周辺全体も
含めてアニール処理したり、研磨等の工程が必要
となる。又、小型の成型品を作ることも難かし
く、加工部において肉厚が変化しやすい等の欠点
があつた。
その成型が困難な材料の一つである。従来の成型
方法は酸水素焔によつて加熱するものが多いが、
バーナーからの焔の加熱面積を大きくすることが
困難で、そのためその周辺部との間に熱歪を残し
やすい。従つて例えば溶接した場合は周辺全体も
含めてアニール処理したり、研磨等の工程が必要
となる。又、小型の成型品を作ることも難かし
く、加工部において肉厚が変化しやすい等の欠点
があつた。
本発明はカーボン型を用いて石英ガラスを軟化
変形させる際、カーボン型と石英ガラスとの反応
によつて生ずるガスを自然排気させることによつ
て石英ガラスをカーボン型に密着させるようにし
たものである。
変形させる際、カーボン型と石英ガラスとの反応
によつて生ずるガスを自然排気させることによつ
て石英ガラスをカーボン型に密着させるようにし
たものである。
石英ガラスは高温でカーボンと接触するとSiO
等のガスを発生するため、型として使用した場
合、カーボン型と石英ガラスとの間にガスが溜り
やすく、型としての役割がはたせない。この場合
カーボン型に多数の貫通孔を設けることによつ
て、石英ガラスをカーボン型に密着させることが
できるようになつた。発生するガスは強制的に排
気されるようにしてもよいが、単に貫通孔を設け
ることによつて圧力差により自然に拡散する。従
つて石英ガラスはカーボン型の形状に応じて無荷
重でも任意の形に成型することができる。
等のガスを発生するため、型として使用した場
合、カーボン型と石英ガラスとの間にガスが溜り
やすく、型としての役割がはたせない。この場合
カーボン型に多数の貫通孔を設けることによつ
て、石英ガラスをカーボン型に密着させることが
できるようになつた。発生するガスは強制的に排
気されるようにしてもよいが、単に貫通孔を設け
ることによつて圧力差により自然に拡散する。従
つて石英ガラスはカーボン型の形状に応じて無荷
重でも任意の形に成型することができる。
以下に本発明の一実施例を図によつて説明す
る。
る。
第１図において、カーボンは上部カーボンを型
１と下部カーボン型２とからなつている。上部カ
ーボン型１には多数の貫通孔３が設けられてい
る。このカーボン型の上に成型すべき石英ガラス
板４を載置し、図示しない非酸化性雰囲気炉内で
1700℃以上に加熱される。
１と下部カーボン型２とからなつている。上部カ
ーボン型１には多数の貫通孔３が設けられてい
る。このカーボン型の上に成型すべき石英ガラス
板４を載置し、図示しない非酸化性雰囲気炉内で
1700℃以上に加熱される。
第２図は石英ガラス板が軟化変形した状態を示
すもので、石英ガラス４の両端４ａ，４ｂは垂れ
下り、中央部分はカーボン型１に密着している。
すもので、石英ガラス４の両端４ａ，４ｂは垂れ
下り、中央部分はカーボン型１に密着している。
カーボン型１と石英ガラス板４との接触面は加
熱処理温度においてSiOガスを発生させるがカー
ボン型に設けられている貫通孔３を通り、上部カ
ーボン型１と下部カーボン型２との間の透き間か
ら脱気される。
熱処理温度においてSiOガスを発生させるがカー
ボン型に設けられている貫通孔３を通り、上部カ
ーボン型１と下部カーボン型２との間の透き間か
ら脱気される。
成型終了後冷却された時、熱膨脹の大きいカー
ボン型は容易に脱型できる。
ボン型は容易に脱型できる。
又、カーボン型の形状は、成型すべき石英ガラ
スの形状に応じて任意に定めることができ、例え
ば深底の容器状のものの場合は大十字形の石英ガ
ラス板を角形のカーボン型を使用して成型する。
そして角形のカーボン型脱型後成型石英ガラスの
四隅を溶接することによつて製造することができ
る。
スの形状に応じて任意に定めることができ、例え
ば深底の容器状のものの場合は大十字形の石英ガ
ラス板を角形のカーボン型を使用して成型する。
そして角形のカーボン型脱型後成型石英ガラスの
四隅を溶接することによつて製造することができ
る。
又、発生するSiOガスの排気は減圧下で処理す
れば容易であるが、石英ガラス板が軟化しカーボ
ン型に密着するためSiOガスは貫通孔に圧入さ
れ、常圧のもとでも不都合はない。又排気を容易
にするために下部カーボン型に溝を設けてもよ
い。なお、実施例においては上部及び下部の二つ
のカーボン型を用いたが、これは成型する石英ガ
ラスの形状によつて任意に選択すれば良い。
れば容易であるが、石英ガラス板が軟化しカーボ
ン型に密着するためSiOガスは貫通孔に圧入さ
れ、常圧のもとでも不都合はない。又排気を容易
にするために下部カーボン型に溝を設けてもよ
い。なお、実施例においては上部及び下部の二つ
のカーボン型を用いたが、これは成型する石英ガ
ラスの形状によつて任意に選択すれば良い。
本発明の成型方法によれば、特に５mm以上の肉
厚の石英ガラスの成型には好適で、寸法精度の高
いことを求められるような製品、例えば半導体処
理用ボート等に利用し得る。
厚の石英ガラスの成型には好適で、寸法精度の高
いことを求められるような製品、例えば半導体処
理用ボート等に利用し得る。
第１図及び第２図は本発明の実施例を示す概略
正面図である。 １……上部カーボン型、２……下部カーボン
型、３……貫通孔、４……石英ガラス板。
正面図である。 １……上部カーボン型、２……下部カーボン
型、３……貫通孔、４……石英ガラス板。
Claims (1)
- １ 多数の貫通孔を有するカーボン製型板上に石
英ガラスを載置し、非酸化性雰囲気炉内で加熱軟
化させ無荷重でカーボン製型板に密着せしめるこ
とを特徴とする石英ガラスの成型方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13446484A JPS6114148A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 石英ガラスの成型方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13446484A JPS6114148A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 石英ガラスの成型方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6114148A JPS6114148A (ja) | 1986-01-22 |
| JPS6359974B2 true JPS6359974B2 (ja) | 1988-11-22 |
Family
ID=15128936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13446484A Granted JPS6114148A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 石英ガラスの成型方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6114148A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5204681A (en) * | 1991-09-24 | 1993-04-20 | Gordian Holding Corporation | Radio frequency automatic identification system |
| JP7463972B2 (ja) * | 2019-02-08 | 2024-04-09 | Ａｇｃ株式会社 | ガラス板の成形装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS565695A (en) * | 1979-06-26 | 1981-01-21 | Tokyo Shibaura Electric Co | Device for charging treating agent for washing machine* etc* |
| JPS5792528A (en) * | 1980-11-27 | 1982-06-09 | Mitsubishi Metal Corp | Molding device for transparent quartz glass |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP13446484A patent/JPS6114148A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6114148A (ja) | 1986-01-22 |
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