JPH0723733Y2 - 結晶方位角測定装置 - Google Patents
結晶方位角測定装置Info
- Publication number
- JPH0723733Y2 JPH0723733Y2 JP1987163206U JP16320687U JPH0723733Y2 JP H0723733 Y2 JPH0723733 Y2 JP H0723733Y2 JP 1987163206 U JP1987163206 U JP 1987163206U JP 16320687 U JP16320687 U JP 16320687U JP H0723733 Y2 JPH0723733 Y2 JP H0723733Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- detector
- output
- ray
- rotation angle
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 本考案は例えば基準発振器の振動子として用いられる水
晶板等の試料における結晶方位角の測定装置に関する。
晶板等の試料における結晶方位角の測定装置に関する。
このような装置においては、Ｘ線回折ゴニオメータを用
いて回折Ｘ線が検出されるときの試料装着台の回転角を
測定することにより、試料の表面と結晶格子面との関係
を観測して試料の良否検査を行う。すなわちゴニオメー
タの中心に試料の振動板を例えば真空吸引等によって密
着させる試料装着台を設けて、この装着台に形成した溝
等を通して試料の表面にＸ線を入射させることにより、
その回折Ｘ線が検出されるときの試料装着台の回転角か
ら結晶の格子面と表面との関係を測定して、良否を判定
する。しかし上記装着台の表面に異物が付着し、あるい
は試料に凹凸等があると、この観測に誤差を生ずる。従
って本考案は上述のような欠点がなく、試料の表面に対
する結晶格子面の方位角を正確迅速に検出することので
きる装置を提供する。
いて回折Ｘ線が検出されるときの試料装着台の回転角を
測定することにより、試料の表面と結晶格子面との関係
を観測して試料の良否検査を行う。すなわちゴニオメー
タの中心に試料の振動板を例えば真空吸引等によって密
着させる試料装着台を設けて、この装着台に形成した溝
等を通して試料の表面にＸ線を入射させることにより、
その回折Ｘ線が検出されるときの試料装着台の回転角か
ら結晶の格子面と表面との関係を測定して、良否を判定
する。しかし上記装着台の表面に異物が付着し、あるい
は試料に凹凸等があると、この観測に誤差を生ずる。従
って本考案は上述のような欠点がなく、試料の表面に対
する結晶格子面の方位角を正確迅速に検出することので
きる装置を提供する。
本考案はＸ線回折ゴニオメータの中心に配置した試料装
着台に試料面を密着させてこれを支持し、その試料表面
にＸ線を入射させて前記ゴニオメータにより回折Ｘ線が
検出されるときの試料装着台の回転角を測定すると同時
に上記試料表面に光源を投射してその反射光線の位置を
検出することにより、試料表面と前記試料装着台の表面
との間の偏差角を検出して上記回転角に補正を加えるよ
うにしたものである。従って試料装着台の表面と試料面
との間に塵埃等の異物が介在した場合、あるいは試料表
面の湾曲等に基づく測定誤差を除去することができると
共に回折Ｘ線の検出及び試料装着台の回転角の測定と、
光線の反射角測定とはこれを事実上同時に行い得るか
ら、測定時間が増大する等の欠点を伴わない作用効果が
ある。
着台に試料面を密着させてこれを支持し、その試料表面
にＸ線を入射させて前記ゴニオメータにより回折Ｘ線が
検出されるときの試料装着台の回転角を測定すると同時
に上記試料表面に光源を投射してその反射光線の位置を
検出することにより、試料表面と前記試料装着台の表面
との間の偏差角を検出して上記回転角に補正を加えるよ
うにしたものである。従って試料装着台の表面と試料面
との間に塵埃等の異物が介在した場合、あるいは試料表
面の湾曲等に基づく測定誤差を除去することができると
共に回折Ｘ線の検出及び試料装着台の回転角の測定と、
光線の反射角測定とはこれを事実上同時に行い得るか
ら、測定時間が増大する等の欠点を伴わない作用効果が
ある。
図面は本考案の実施例で、第１図は要部を横断した平面
図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面拡大図である。ゴニオ
メータ１に試料装着台２を設け、その側面に例えば水晶
板のような板状の試料３を密着させて真空吸引等の手段
で保持するようにしてある。かつ装着台２にはＸ線およ
び光線の通過孔４を形成して、上記装着台に密着する試
料面にＸ線ｘおよび光線ｌを入射させると共にその反射
線を取り出すようにしてある。ゴニオメータ１には上記
光線ｌの光源５およびゴニオメータ６の保持台７と反射
光線ｌ′の位置検出器８の保持台９等を設けてあり、保
持台７と保持台９は試料装着台２と連動して回転するよ
うにしてある。検出器８は例えば電荷結合デバイス（CC
D）による光の入射位置検出機能を有するもので、その
出力を検出回路10に加えてある。またゴニオメータ１の
Ｘ線源支持台には、試料３の表面（すなわち上記光線１
の入射面と同一部分）に細いＸ線ｘを入射させるための
Ｘ線源11およびコリメータ12を固設すると共に、ゴニオ
メータ１のＸ線検出器支持台にはＸ線検出器13を搭載し
てある。そして、試料３の結晶格子面からの回折Ｘ線
ｘ′を検出できるような位置に、Ｘ線源11とＸ線検出器
13の配置関係を定めてある。また、試料装着台２の回転
角を検出するための回転角検出器14をゴニオメータ１に
連結してある。更に上記出力検出回路10、Ｘ線検出器13
および回転角検出器14の出力を演算回路15に加えてあ
る。すなわち演算回路15は、Ｘ線検出器13が出力を送出
した状態におけるゴニオメータの回転角検出器14の出力
を検出して、その回転角に反射光線検出器８の出力を検
出する回路10によって得られる補正値を加算または減算
することにより、真の結晶方位角を算出する。
図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面拡大図である。ゴニオ
メータ１に試料装着台２を設け、その側面に例えば水晶
板のような板状の試料３を密着させて真空吸引等の手段
で保持するようにしてある。かつ装着台２にはＸ線およ
び光線の通過孔４を形成して、上記装着台に密着する試
料面にＸ線ｘおよび光線ｌを入射させると共にその反射
線を取り出すようにしてある。ゴニオメータ１には上記
光線ｌの光源５およびゴニオメータ６の保持台７と反射
光線ｌ′の位置検出器８の保持台９等を設けてあり、保
持台７と保持台９は試料装着台２と連動して回転するよ
うにしてある。検出器８は例えば電荷結合デバイス（CC
D）による光の入射位置検出機能を有するもので、その
出力を検出回路10に加えてある。またゴニオメータ１の
Ｘ線源支持台には、試料３の表面（すなわち上記光線１
の入射面と同一部分）に細いＸ線ｘを入射させるための
Ｘ線源11およびコリメータ12を固設すると共に、ゴニオ
メータ１のＸ線検出器支持台にはＸ線検出器13を搭載し
てある。そして、試料３の結晶格子面からの回折Ｘ線
ｘ′を検出できるような位置に、Ｘ線源11とＸ線検出器
13の配置関係を定めてある。また、試料装着台２の回転
角を検出するための回転角検出器14をゴニオメータ１に
連結してある。更に上記出力検出回路10、Ｘ線検出器13
および回転角検出器14の出力を演算回路15に加えてあ
る。すなわち演算回路15は、Ｘ線検出器13が出力を送出
した状態におけるゴニオメータの回転角検出器14の出力
を検出して、その回転角に反射光線検出器８の出力を検
出する回路10によって得られる補正値を加算または減算
することにより、真の結晶方位角を算出する。
このような装置において、試料３の表面が装着台２の表
面に確実に密着している場合は反射光線l0′が検出器８
の基準位置に入射して検出回路10から出力が送出されな
いように設定する。この場合、試料装着台２を回転させ
ていくと、Ｘ線検出器13で回折Ｘ線が検出できる位置が
見つかる。回折Ｘ線が検出できたことは、Ｘ線検出器13
の出力信号が演算回路15に入力されることで分かる。そ
して、この状態における回転角検出器14の出力信号が演
算回路15に取り込まれる。回転角検出器14の出力信号
は、試料装着台２の回転角度を示しており、この回転角
度は、入射Ｘ線ｘに対して試料装着台２の試料装着面が
どれくらい回転したか、という情報を含んでいる。とこ
ろで、試料装着面（この場合、試料表面と一致してい
る。）に対する結晶格子面の傾斜角度は、求めるべき結
晶方位角αであり、一方で、入射Ｘ線ｘに対する結晶格
子面の傾きは、ブラッグの法則を満足するような既知の
角度θとなっている。さらに、上述の回転角検出器14の
出力信号から、入射Ｘ線ｘに対する試料装着面の角度
（これをβと呼ぶことにする。）が分かっている。した
がって、β＋α＝θの関係が成り立ち、結晶方位角αは
α＝θ−Ｂで求めることができる。このような演算は演
算回路15で実行している。
面に確実に密着している場合は反射光線l0′が検出器８
の基準位置に入射して検出回路10から出力が送出されな
いように設定する。この場合、試料装着台２を回転させ
ていくと、Ｘ線検出器13で回折Ｘ線が検出できる位置が
見つかる。回折Ｘ線が検出できたことは、Ｘ線検出器13
の出力信号が演算回路15に入力されることで分かる。そ
して、この状態における回転角検出器14の出力信号が演
算回路15に取り込まれる。回転角検出器14の出力信号
は、試料装着台２の回転角度を示しており、この回転角
度は、入射Ｘ線ｘに対して試料装着台２の試料装着面が
どれくらい回転したか、という情報を含んでいる。とこ
ろで、試料装着面（この場合、試料表面と一致してい
る。）に対する結晶格子面の傾斜角度は、求めるべき結
晶方位角αであり、一方で、入射Ｘ線ｘに対する結晶格
子面の傾きは、ブラッグの法則を満足するような既知の
角度θとなっている。さらに、上述の回転角検出器14の
出力信号から、入射Ｘ線ｘに対する試料装着面の角度
（これをβと呼ぶことにする。）が分かっている。した
がって、β＋α＝θの関係が成り立ち、結晶方位角αは
α＝θ−Ｂで求めることができる。このような演算は演
算回路15で実行している。
次に、試料装着台２と試料３との間に異物が介挿されて
いて、それらの面が密着していない場合を考える。この
場合、試料装着面と試料表面との間に偏差角δが存在し
ている。これにより、反射光線１′は基準位置の反射光
線10′から２δの角度だけ偏位し、反射光線位置検出器
８では、２δの角度に相当する距離だけ離れた位置で反
射光線１′が検出される。そして、出力検出回路10から
は、この２δに相当する信号が出力される。一方で、こ
のように偏差角δが存在している場合は、入射Ｘ線ｘに
対する試料装着面の角度β（このβは回転角度検出器14
で検出される。）と、試料装着面と試料表面とのなす角
度すなわち偏差角δと、試料表面と結晶格子面とのなす
角度すなわち結晶方位角αとの和が、入射Ｘ線ｘに対す
る結晶格子面の傾きθと等しくなっている。したがっ
て、結晶方位角αは、α＝θ−（β＋δ）で求められ
る。すなわち、偏差角δがある場合は、偏差角δがない
場合と比較すると、回転角検出器14の出力信号βに対し
て、偏差角δ分を補正すればよいことになる。演算器15
では、Ｘ線検出器13から出力信号が送出された時点にお
ける回転角検出器14の出力信号（角度βに相当する）を
取り込み、さらに、そのときの出力検出回路10の出力信
号（角度２δに相当する）を取り込んでいる。そして、
α＝θ−（β＋δ）を演算することにより、結晶方位角
αを算出することができる。
いて、それらの面が密着していない場合を考える。この
場合、試料装着面と試料表面との間に偏差角δが存在し
ている。これにより、反射光線１′は基準位置の反射光
線10′から２δの角度だけ偏位し、反射光線位置検出器
８では、２δの角度に相当する距離だけ離れた位置で反
射光線１′が検出される。そして、出力検出回路10から
は、この２δに相当する信号が出力される。一方で、こ
のように偏差角δが存在している場合は、入射Ｘ線ｘに
対する試料装着面の角度β（このβは回転角度検出器14
で検出される。）と、試料装着面と試料表面とのなす角
度すなわち偏差角δと、試料表面と結晶格子面とのなす
角度すなわち結晶方位角αとの和が、入射Ｘ線ｘに対す
る結晶格子面の傾きθと等しくなっている。したがっ
て、結晶方位角αは、α＝θ−（β＋δ）で求められ
る。すなわち、偏差角δがある場合は、偏差角δがない
場合と比較すると、回転角検出器14の出力信号βに対し
て、偏差角δ分を補正すればよいことになる。演算器15
では、Ｘ線検出器13から出力信号が送出された時点にお
ける回転角検出器14の出力信号（角度βに相当する）を
取り込み、さらに、そのときの出力検出回路10の出力信
号（角度２δに相当する）を取り込んでいる。そして、
α＝θ−（β＋δ）を演算することにより、結晶方位角
αを算出することができる。
上述のように本考案の装置は、試料がその装着台に密着
していない場合でも、試料面と結晶格子面との間の正確
な角度を迅速に測定することができる。
していない場合でも、試料面と結晶格子面との間の正確
な角度を迅速に測定することができる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本考案実施例の平面図、並びに装置の構成を示
した図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面拡大図である。 なお、図において、１はゴニオメータ、２は試料装着
台、３は試料、４は光線およびＸ線の通過孔、５は光
源、11はＸ線源である。
した図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面拡大図である。 なお、図において、１はゴニオメータ、２は試料装着
台、３は試料、４は光線およびＸ線の通過孔、５は光
源、11はＸ線源である。
Claims (1)
- 【請求項１】試料を保持する試料装着台を具備したＸ線
回折ゴニオメータと、上記ゴニオメータの回転角に対応
した信号を送出する回転角検出器と、前記試料の表面に
細い光線を投射する光源と、前記試料の表面で反射した
反射光線の位置を検出する位置検出器と、前記試料の表
面にＸ線ビームを入射させるＸ線源と、上記試料の表面
で回折したＸ線を検出するＸ線検出器と、前記回転角検
出器の出力と前記位置検出器の出力と前記Ｘ線検出器の
出力とを取り込む演算回路とを備え、 前記回転角検出器の出力が、前記Ｘ線ビームに対する前
記試料装着台の試料装着面の相対回転角度に対応するよ
うに、前記回転角検出器を調整すると共に、前記位置検
出器の出力が、前記試料装着台の試料装着面に対する試
料表面の偏差角に対応するように、前記位置検出器を調
整して、 前記演算回路において、前記Ｘ線検出器が出力を送出し
た状態における前記回転角検出器の出力に、前記位置検
出器の出力に対応した補正を加えるようにしたことを特
徴とする結晶方位角測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987163206U JPH0723733Y2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 結晶方位角測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987163206U JPH0723733Y2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 結晶方位角測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0167554U JPH0167554U (ja) | 1989-05-01 |
| JPH0723733Y2 true JPH0723733Y2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=31447723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987163206U Expired - Lifetime JPH0723733Y2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 結晶方位角測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0723733Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006177842A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Pioneer Electronic Corp | カット面検査装置、及びカット面検査方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5548422Y2 (ja) * | 1975-06-17 | 1980-11-12 |
-
1987
- 1987-10-27 JP JP1987163206U patent/JPH0723733Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0167554U (ja) | 1989-05-01 |
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