JPS6360401A

JPS6360401A - 光学膜部品の製造方法

Info

Publication number: JPS6360401A
Application number: JP61205366A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Kusaka; 日下　敏; Hideki Noda; 秀樹野田
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1986-09-01
Filing date: 1986-09-01
Publication date: 1988-03-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概要〕光学基板の表裏両面を、マトリ・ノクス状の■溝により
、光学膜部品の形状等しい角形に区画し、それぞれの区
画の表面に光学膜を形成した後に、溝底稜線部分で、個
々の光学膜部品に分離して、稜線部分が面取りされた光
学膜部品を得ることにより、光学膜、及び基板素片が損
傷する恐れが少な（て、低コストの光学膜部品を提供す
る。

〔産業上の利用分野〕

本発明方法はガラス、シリコン等の光学基板の表面に所
望の光学膜が形成されてなる、光学膜部品の製造方法の
改良に関する。

フィルター膜、偏光分離膜、カプラ膜等の光学膜は、ガ
ラス、シリコン等の光学基板の表面に、屈折率の異なる
誘電体膜を交互に数十層形成することにより得られる。

このように光学基板の表面に所望の光学膜を形成した光
学膜部品は、所望の光学的特性を容易に得られ、且つ薄
く、小形であるので、光合分波器。

偏光分離器、光減衰器、光変調器等に広く使用されてい
る。

〔従来の技術〕

第３図は従来の光学膜部品の製造方法の工程を示す図で
ある。

第３図（ａｌにおいて、１は例えばガラス板よりなる光
学基板であり、光学膜部品１０を多数個取りできる角形
である。

このような光学基板１の表面の全面に、屈折率の異なる
誘電体膜を交互に数十層蒸着等して、所望の光学膜（フ
ィルター膜、偏光分離膜、カプラ膜）２を形成する。

次に第３図（′ｂ）のように、光学基板１を光学膜部品
１０の平面形状に等しくなるように、例えば切断砥石（
円板状で板厚の薄いダイヤモンド砥石）でマトリックス
状に切断して、基板素片ＩＡの表面に光学膜２が形成さ
れた光学膜部品素片１０Ａに分離する。

この光学膜部品素片１０Ａの状態では、基板素片ＩＡの
稜線部分が欠けたり、或いは稜線部分より基板素片ＩＡ
に亀裂が入り、光学膜部品素片１０Ａが損傷する恐れが
ある。

したがって、第３図（Ｃ）のように、光学膜部品素片１
０Ａのそれぞれの稜線部分をラッピング、研磨等して面
取稜線５にして、光学膜部品１０を完成させている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら上記従来の製造方法は、光学膜２を形成後
に、光学基板１を切断して、光学膜部品ＩＯとしている
。

この切断時に光学膜２が切断され、切断部より光学膜２
に亀裂が発生したり、光学膜２の切断部近傍が欠けて脱
落する等、光学膜２が損傷し、歩留まりが悪いという問
題点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記従来の問題点を解決するため本発明方法は、第１図
のように、周縁が面取りされた板状の光学基板ｌの表裏
両面に、マトリックス状の■溝１５を形成して、製造し
ようとする光学膜部品１０の平面形状等しい角形に区画
する。

次に面取部及びＶ溝１５を除く光学基板１の表面の全面
に、所望の膜特性を有する光学膜２を形成する。

その後光学基板１をそれぞれの溝底稜線Ｌ５ａ部分で切
断分離して、基板素片ＩＡの表面に光学膜２が形成され
た光学膜部品１０とする。

〔作用〕

上記本発明方法によれば、溝底稜線１５ａで光学基板１
を切断分離するので、基板素片ＩＡの切断面４と表裏面
とのなす稜線部分に、Ｖ溝１５の内壁面の一部がその侭
残り、光学膜部品１０の稜線は、面取稜線５となる。よ
って、切断分離後に面取り作業を必要としない。

また、■溝１５には光学膜２を形成してないので、光学
基板１を切断分離時に光学膜２は切断されない。したが
って、光学膜２が損傷する恐れがなく、歩留まりが高く
て、得られる光学膜部品ｌＯが低コストである。

〔実施例〕

以下図を参照しながら、本発明方法を具体的に説明する
。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。

第１図の（ａｌ、　（ｂｌは本発明方法の工程を示す図
、第２図は本発明方法の一実施例の図で、ｆａ）は■溝
形成時、山）は切断時の側断面図である。

第１図（ａ）において、ｌは、例えばガラス、シリコン
等よりなる光学基板であって、光学膜部品１０を多数個
取りできる角形で、周縁の表・裏面と側面とのなす稜線
部分を面とりして、面取稜線５としである。

このような光学基板１の表面及び裏面に対称に、マトリ
ックス状の■溝１５を形成して、製造しようとする光学
膜部品１０の平面形状等しい角形に区画する。

この■溝１５は、エツチング手段、或いは機械加工手段
で設けることもあるが、第２図（ａｌに示すように、光
学基板１をＸ軸、Ｙ軸方向にそれぞれ平行駆動可能のテ
ーブル上に載置し、上方より回転する■溝用砥石（例え
ば基板の表面にダイヤモンドの細粒を付着した、ダイヤ
モンド砥石）１６を、所望の深さに切り込ませて、■溝
１５を設けるのが、所望に大きい溝側壁を容易に得るこ
とができ、有利である。

なお、■溝用砥石１６の円周面は、頂角が例えば９０度
に形成された凸面である。

■溝１５を形成後、第１図（ｂｌのように、面取稜線５
及び■溝１５の溝側壁を除く光学基板１の表面の全面に
、屈折率の異なる誘電体膜を交互に数十層蒸着等して、
所望の光学膜（フィルター膜、偏光分離膜、カプラ膜）
２を形成する。

その後光学基板１をそれぞれの溝底稜線１５ａ部分で切
断分離して、基板素片ＩＡの切断面４と表裏面とのなす
稜線部分に、Ｖ溝１５の内壁面の一部がその侭残り、面
取稜線５となった光学膜部品１０とする。

なお、この切断分離作業は、光学基板１を■溝１５部分
で折り曲げてもよいものであるが、第２図（′ｂ）のよ
うに、切断砥石１７を使用すると、作業ミスが少なく分
離作業が容易である。

切断砥石１７は、例えばダイヤモンド砥石であって、円
板状の砥石の厚さは、■溝１５の開口幅よりも小さい厚
さである。

このような切断砥石１７を使用して、Ｘ軸、Ｙ軸方向に
それぞれ平行駆動可能のテーブル上に光学基板１を載置
し、切断砥石１７を回転させながら、上方より溝底稜線
１５ａ部分に切り込ませることにより、容易に、且つ綺
麗な切断面４を有する基板素片ＩＡに分離できる。

上述のように、溝底稜ｖＡ１５ａで光学基板ｌを切断分
離するので、基板素片ＩＡの切断面４と表裏面とのなす
稜線部分に、■溝１５の内壁面の一部がその侭残り、光
学膜部品１０の稜線は、面取稜線５となる。よって、切
断分離後に面取り作業を必要としない。

また、■溝１５には光学膜２を形成してないので、光学
基板１を切断分離時に光学膜２は切断されない。したが
って、光学膜２が損傷する恐れがなく、歩留まりが高い
。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明方法は、光学基板に光学膜を
牽制する前に■溝を形成し、光学膜を形成後に、溝底稜
線部分で個々の光学膜部品に分離切断する光学膜部品の
製造方法であって、光学膜が損傷する恐れがなくて、歩
留まりが向上し、低コストの光学膜部品を得られるとい
う、実用上で優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図の（ａｌ、　（ｂｌは本発明方法の工程を示す図
、第２図は本発明方法の一実施例の図で、（ａｌは■溝
形成時の側断面図、（ｂ）は切断時の側断面図、第３図の（ａｌ、　（ｂｌ、　（ｃｌは従来方法の工程
を示す図である。図において、１は光学基板、　　　　ＩＡは基板素片、２は光学膜、
　　　　　４は切断面、５は面取稜線、　　　　１０は光学膜部品、１０Ａは光
学膜部品素片、１５はＶ溝、１５ａは溝底稜線、１６は■溝用砥石、１７は切断砥石を示す。（（１’）（ｂン（ｂ）渠２図

Claims

【特許請求の範囲】周縁が面取りされた板状の光学基板（１）の表裏両面に
、光学膜部品（１０）の平面形状等しい角形に区画する
、マトリックス状のＶ溝（１５）を形成する工程と、該Ｖ溝形成工程後に実施する、面取部及び該Ｖ溝（１５
）を除く該光学基板（１）の表面の全面に、所望の膜特
性を有する光学膜（２）を形成する工程と、該光学膜形
成工程後実施する、該光学基板（１）をそれぞれの溝底
稜線（１５ａ）部分で分離する工程とを、有することを
特徴とする光学膜部品の製造方法。