JPS6361152A - レ−ザビ−ム検査方法 - Google Patents
レ−ザビ−ム検査方法Info
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- JPS6361152A JPS6361152A JP20619186A JP20619186A JPS6361152A JP S6361152 A JPS6361152 A JP S6361152A JP 20619186 A JP20619186 A JP 20619186A JP 20619186 A JP20619186 A JP 20619186A JP S6361152 A JPS6361152 A JP S6361152A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- inspected
- mirror
- lens
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザビームを走査して被検査体表面上の
緒特性分布を調べるレーザビーム検査方法に関するもの
である。
緒特性分布を調べるレーザビーム検査方法に関するもの
である。
第２図は、従来のレーザービーム検査方法を示す図であ
り、図において、（１）はレーザービーム、（２）はレ
ーザービーム（１）を反射するミラー、（３）！ｒ！レ
ーザービーム（１）を収束させるレンズ、（４）はレン
ズ（３）によって収束されたレーザービームを走査させ
る振動ミラー、（５）は振動ミラー（４）によって走査
されたレーザービームにより照射される被検査体である
。
り、図において、（１）はレーザービーム、（２）はレ
ーザービーム（１）を反射するミラー、（３）！ｒ！レ
ーザービーム（１）を収束させるレンズ、（４）はレン
ズ（３）によって収束されたレーザービームを走査させ
る振動ミラー、（５）は振動ミラー（４）によって走査
されたレーザービームにより照射される被検査体である
。
次に動作について説明する。レーザー発振器により発生
されたレーザービーム（１）は、ミラー（２）によって
レーザービーム（１）を収束させるレンズ（３）へ導び
かれる。レンズ（３）によって収束されたレーザービー
ム（１）は振動ミラー（４）へ導びかれ、走査される。
されたレーザービーム（１）は、ミラー（２）によって
レーザービーム（１）を収束させるレンズ（３）へ導び
かれる。レンズ（３）によって収束されたレーザービー
ム（１）は振動ミラー（４）へ導びかれ、走査される。
振動ミラー（４）はレーザビーム（１）を走査し、被検
査体（５）へ照射する。
査体（５）へ照射する。
従来のレーザー走査方法は以上のようになっているので
、必然的に被検査体へのレーザービームの照射角度は一
定でなく、レーザーの強度が被検置体上で一定でないと
いう同盟点があった。
、必然的に被検査体へのレーザービームの照射角度は一
定でなく、レーザーの強度が被検置体上で一定でないと
いう同盟点があった。
すなわち・例えば・被検査体（５）がイメージセンサで
各画素の光電変換特性を調べる場合に角度が一定でない
と上記特性の分布に影響する〇この発明は上記のような
問題点を屏消するためになされたもので、レーザービー
ムの被検査体への照射角度が一定となるレーザービーム
検査方法を得ることを目的とする。
各画素の光電変換特性を調べる場合に角度が一定でない
と上記特性の分布に影響する〇この発明は上記のような
問題点を屏消するためになされたもので、レーザービー
ムの被検査体への照射角度が一定となるレーザービーム
検査方法を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザー走査方法は、レーザービームを
走査して、かつ、被検査体への照射角度を常に一定に保
つ為に、まず、放物鏡面の焦点より、レーザービームを
放物鏡面へ走査し、走査されたレー、ザーピームが放物
鏡面により平行なレーザービームとなる様にし、平行レ
ーザービームを被検査体へ照射する様にして、被検査体
への照射角度を常に一定に保つ様にした方法である。
走査して、かつ、被検査体への照射角度を常に一定に保
つ為に、まず、放物鏡面の焦点より、レーザービームを
放物鏡面へ走査し、走査されたレー、ザーピームが放物
鏡面により平行なレーザービームとなる様にし、平行レ
ーザービームを被検査体へ照射する様にして、被検査体
への照射角度を常に一定に保つ様にした方法である。
この発明におけろレーザー走査方法は、放物鏡面により
走査されたレーザービームが平行なレーザービームとな
り、被検査体へある一定角度（念とえば直角）で一定な
照射角度をもって照射される。
走査されたレーザービームが平行なレーザービームとな
り、被検査体へある一定角度（念とえば直角）で一定な
照射角度をもって照射される。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）はレーザー発振器から発生されたレ
ーザービーム、（２）はレーザービーム（１）を反射す
るミラー、（３）はレーザービーム（１）を収束するレ
ンズ、（４）はレンズ（３）により収束されたレーザー
ビームを走査する角度走査手段であって、この実施例で
は振動ミラー、（４６）はレーザービームが入射するミ
ラー（４）上の特定点、（６）は特定点（４＆）を焦点
とする光学手段であって、この実施例では振動ミラー（
４）によって走査されたレーザービームを平行レーザー
ビームとして反射する放物鏡面（この実施例では一次元
鏡面） 、（５）はレーザービーム（１）によって照射
される被検査体、（７）は放物鏡面からのレーザービー
ムの向きを変えるミラーである。
図において、（１）はレーザー発振器から発生されたレ
ーザービーム、（２）はレーザービーム（１）を反射す
るミラー、（３）はレーザービーム（１）を収束するレ
ンズ、（４）はレンズ（３）により収束されたレーザー
ビームを走査する角度走査手段であって、この実施例で
は振動ミラー、（４６）はレーザービームが入射するミ
ラー（４）上の特定点、（６）は特定点（４＆）を焦点
とする光学手段であって、この実施例では振動ミラー（
４）によって走査されたレーザービームを平行レーザー
ビームとして反射する放物鏡面（この実施例では一次元
鏡面） 、（５）はレーザービーム（１）によって照射
される被検査体、（７）は放物鏡面からのレーザービー
ムの向きを変えるミラーである。
次に動作について説明する０レ一ザー発振器により発生
されたレーザービーム（１）は、ミラー（２）により反
射されてレンズ（３）へ導かれる。レンズ（３）により
レーザービーム（１）は収束され、振動ミラー（４）へ
導かれる。振動ミラー（４）は、そのミラー面が導かれ
たレーザービームを反射するミラー面が、放物鏡面（６
）の焦点の位置となる様にセットされて−る。振動ミラ
ー（４）によって、レーザービームは走査され放物鏡面
（６）へ導かれる。放物鏡面（６）の焦点の位置から走
査されたレーザービーム（１）は、放物鏡面（６）が持
つ性質により、平行なレーザービームとして反射して、
ミラー（２）へ導く、ミラー（７）は平行レーザービー
ムを反射して被検査体（５）へ照射するＯ なお、上記実施例では、放物面鏡（６）から反射された
レーザービーム（１）を被検査体（５）へ照射するため
にミラー（７）を設けたものを示したが、ミラー（２）
、レンズ（３）、振動ミラー（４）、放物面鏡（６）の
位置を変え直接放物面錠（６）から反射されたレーザー
ビーム（１）を被検査体（５）へ照射してもよい。
されたレーザービーム（１）は、ミラー（２）により反
射されてレンズ（３）へ導かれる。レンズ（３）により
レーザービーム（１）は収束され、振動ミラー（４）へ
導かれる。振動ミラー（４）は、そのミラー面が導かれ
たレーザービームを反射するミラー面が、放物鏡面（６
）の焦点の位置となる様にセットされて−る。振動ミラ
ー（４）によって、レーザービームは走査され放物鏡面
（６）へ導かれる。放物鏡面（６）の焦点の位置から走
査されたレーザービーム（１）は、放物鏡面（６）が持
つ性質により、平行なレーザービームとして反射して、
ミラー（２）へ導く、ミラー（７）は平行レーザービー
ムを反射して被検査体（５）へ照射するＯ なお、上記実施例では、放物面鏡（６）から反射された
レーザービーム（１）を被検査体（５）へ照射するため
にミラー（７）を設けたものを示したが、ミラー（２）
、レンズ（３）、振動ミラー（４）、放物面鏡（６）の
位置を変え直接放物面錠（６）から反射されたレーザー
ビーム（１）を被検査体（５）へ照射してもよい。
まな上記実施例では角度走査手段（４）が振動ミラーで
ある場合につ−て述べたが、球中心を特定点（４＆）と
する半球状レンズを点（４ａ）の回りに回転振動させ透
過光を振らせるようにする場合であってもよい。
ある場合につ−て述べたが、球中心を特定点（４＆）と
する半球状レンズを点（４ａ）の回りに回転振動させ透
過光を振らせるようにする場合であってもよい。
また上記実施例では、光学手段（６）が−次元放物面鏡
である場合について述べたが、二次元放物面鏡であって
もよく、さらに、これら相当のレンズであってもよい。
である場合について述べたが、二次元放物面鏡であって
もよく、さらに、これら相当のレンズであってもよい。
以上のように、この発明によれば一定方向を保つレーザ
ービームにより走査するようにしたので、被検査体表面
上の求める特性分布に対するレーザービームの角度変化
の影響を排除できる効果がある。
ービームにより走査するようにしたので、被検査体表面
上の求める特性分布に対するレーザービームの角度変化
の影響を排除できる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す概念図、第２図は従
来のレーザービーム検査方法を示す概念図である。 図において、（１）はレーザービーム、（４）は角度走
査手段、（４＆）は特定点、（５＞け被検査体、（６）
は光学手段である。 なお、各図中、同一符号は同一または相通部分を示す。
来のレーザービーム検査方法を示す概念図である。 図において、（１）はレーザービーム、（４）は角度走
査手段、（４＆）は特定点、（５＞け被検査体、（６）
は光学手段である。 なお、各図中、同一符号は同一または相通部分を示す。
Claims (2)
- （１）被検査体の表面を第１の方向を保つレーザビーム
で走査して前記被検査体の前記表面上の特性分布を調べ
ることを特徴とするレーザビーム検査方法。 - （２）位置方向共に固定されたレーザビームを角度走査
手段により特定点から放射状に角度走査されたレーザビ
ームに変換しさらに前記特定点を焦点とする光学手段に
よつて変換して第１の方向を保つ走査レーザビームを得
るようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のレーザビーム検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20619186A JPS6361152A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | レ−ザビ−ム検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20619186A JPS6361152A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | レ−ザビ−ム検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6361152A true JPS6361152A (ja) | 1988-03-17 |
Family
ID=16519314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20619186A Pending JPS6361152A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | レ−ザビ−ム検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6361152A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5343290A (en) * | 1992-06-11 | 1994-08-30 | International Business Machines Corporation | Surface particle detection using heterodyne interferometer |
-
1986
- 1986-09-01 JP JP20619186A patent/JPS6361152A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5343290A (en) * | 1992-06-11 | 1994-08-30 | International Business Machines Corporation | Surface particle detection using heterodyne interferometer |
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