JPS6338083B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6338083B2 JPS6338083B2 JP57134611A JP13461182A JPS6338083B2 JP S6338083 B2 JPS6338083 B2 JP S6338083B2 JP 57134611 A JP57134611 A JP 57134611A JP 13461182 A JP13461182 A JP 13461182A JP S6338083 B2 JPS6338083 B2 JP S6338083B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- output
- circuit
- position sensor
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は表面欠陥検出装置に関するものであ
る。
る。
従来、シート状物体の欠陥検出方法として、ス
ポツトに絞つた光をスキヤニングして、その反射
光、透過光を光電変換して欠陥の検出を行う方法
が採られている。このデータを精度よく処理する
ためには、光を等速でスキヤンさせて、時間分割
でスキヤンラインのアドレス設定を行う必要があ
る。その方法として、ポリゴンで等速スキヤン
させる方法と、振動ミラーで等速スキヤンさせ
る方法とがある。のポリゴンで等速スキヤンさ
せる方法は、ポリゴンとFθレンズまたはFθミラ
ーで構成することにより、簡単に等速スキヤンが
できるため、ラインを分割させるためのアドレス
決めが容易ではあるが、光学的な精度が要求され
て複雑であり、非常に高価でもある。の振動ミ
ラーでの等速スキヤンの方法は、スキヤンスピー
ドを上げるには振動ミラーの応答性等でsinパル
ス振動になる。しかし、第１図のようにsin波で
実際に使用できるスキヤン幅ｌに限度がある。す
なわち、スキヤン幅の約半分の部分がある程度等
速に近いスピードであるため、検出用としてはこ
の部分を使用する。
ポツトに絞つた光をスキヤニングして、その反射
光、透過光を光電変換して欠陥の検出を行う方法
が採られている。このデータを精度よく処理する
ためには、光を等速でスキヤンさせて、時間分割
でスキヤンラインのアドレス設定を行う必要があ
る。その方法として、ポリゴンで等速スキヤン
させる方法と、振動ミラーで等速スキヤンさせ
る方法とがある。のポリゴンで等速スキヤンさ
せる方法は、ポリゴンとFθレンズまたはFθミラ
ーで構成することにより、簡単に等速スキヤンが
できるため、ラインを分割させるためのアドレス
決めが容易ではあるが、光学的な精度が要求され
て複雑であり、非常に高価でもある。の振動ミ
ラーでの等速スキヤンの方法は、スキヤンスピー
ドを上げるには振動ミラーの応答性等でsinパル
ス振動になる。しかし、第１図のようにsin波で
実際に使用できるスキヤン幅ｌに限度がある。す
なわち、スキヤン幅の約半分の部分がある程度等
速に近いスピードであるため、検出用としてはこ
の部分を使用する。
したがつて、この発明の目的は、簡単な構成で
正確なアドレス設定ができ、振動ミラーの応答性
やスキヤンスピードの変動にも影響せず、スキヤ
ン幅全体を検出ラインとして使える表面欠陥検出
装置を提供することである。
正確なアドレス設定ができ、振動ミラーの応答性
やスキヤンスピードの変動にも影響せず、スキヤ
ン幅全体を検出ラインとして使える表面欠陥検出
装置を提供することである。
この発明の一実施例を第２図ないし第４図に示
す。すなわち、この表面欠陥検出装置は、レーザ
１と、sin波駆動されてレーザ１からの光線を一
定角度θの範囲で直線状にスキヤンする振動ミラ
ー２と、この振動ミラー２でスキヤンされた光線
を平行光とするFθレンズ３と、このFθレンズ３
から出た平行光を２分して透過光を被測定物４に
照射するハーフミラー５と、このハーフミラー５
のFθレンズ３からの反射光を検出するポジシヨ
ンセンサ６と、前記透過光の被測定物４からの反
射光をハーフミラー５による反射を介して受光す
る受光素子となるフオトダイオード７と、このフ
オトダイオード７の検出出力をポジシヨンセンサ
６からの出力で周波数補正する回路とを備えたも
のである。この回路を第３図に示す。同図におい
て、８′はＡ／Ｄコンバータ、９′はアドレス信号
発生器、１２はアンプ、１３は電圧可変型ハイパ
スフイルタ、１０′は２値化回路、１１′はデータ
処理回路、１４は微分回路、１５は絶対値回路で
ある。
す。すなわち、この表面欠陥検出装置は、レーザ
１と、sin波駆動されてレーザ１からの光線を一
定角度θの範囲で直線状にスキヤンする振動ミラ
ー２と、この振動ミラー２でスキヤンされた光線
を平行光とするFθレンズ３と、このFθレンズ３
から出た平行光を２分して透過光を被測定物４に
照射するハーフミラー５と、このハーフミラー５
のFθレンズ３からの反射光を検出するポジシヨ
ンセンサ６と、前記透過光の被測定物４からの反
射光をハーフミラー５による反射を介して受光す
る受光素子となるフオトダイオード７と、このフ
オトダイオード７の検出出力をポジシヨンセンサ
６からの出力で周波数補正する回路とを備えたも
のである。この回路を第３図に示す。同図におい
て、８′はＡ／Ｄコンバータ、９′はアドレス信号
発生器、１２はアンプ、１３は電圧可変型ハイパ
スフイルタ、１０′は２値化回路、１１′はデータ
処理回路、１４は微分回路、１５は絶対値回路で
ある。
動作につき説明する。等速ではなくsin波でス
キヤニングされてくるスポツト光はポジシヨンセ
ンサ６でその光を受光することにより、スキヤニ
ングの場所に対応した電圧を出力する。この電圧
をＡ／Ｄ変換することにより、例えば８ビツトの
Ａ／Ｄコンバータであれば、０から255段階で分
割される。そしてフオトダイオード７からの信号
を２値化して処理する。その代表的な検出信号
に、このアドレス信号を提供することにより、全
スキヤン幅に対して均等な距離で８ビツトの場
合、256分割される。アドレス分割比はＡ／Ｄコ
ンバータ８′のビツト数によつて決定される。フ
オトダイオード７の出力は、２値化する前にスキ
ヤン速度で補正する。すなわち、ポジシヨンセン
サ６からの出力をＡ／Ｄ変換してアドレス信号と
して使用するものと、微分してVpsinθのポジシ
ヨンセンサ出力信号をVpcosθの速度に変換する
ものとに分ける。そして、スキヤンスピードに変
換された電圧を絶対値回路１５に入れ、第４図Ｂ
に示すような信号に変換する。被測定物４から反
射してくる光信号をフオトダイオード７で電気信
号に変換してアンプ１２で増幅する。増幅した信
号を外部電圧によるカツトオフ周波数が変わるハ
イパスフイルタ１３に送る。ハイパスフイルタ１
３では第４図Ｂの信号を受けてカツトオフ周波数
が第４図Ｃで示すように、fcminからfcmaxまで
可変する。フオトダイオード７からの出力信号
で、同一欠陥であつても欠陥の発生の場所によ
り、スキヤンスピードの影響で変化する生信号の
周波数成分が変わるのに対して、ハイパスフイル
タ１３の定数をスキヤンスピードに合わせて変え
ることにより、場所による検出の差はなくなる。
このように、振動ミラー２の欠点である応答遅れ
や、sin波スキヤンのための位置によるスピード
のばらつきなどが、ポジシヨンセンサ６を用いて
正確なアドレス設定を行うとともに、スキヤン速
度に応じてフオトダイオード７の出力を補正する
ことより、問題とならなくなつた。このように、
簡単な構成で正確なアドレス設定ができ、かつ振
動ミラー２の応答性、スキヤンスピードの変動に
も影響せず、またスキヤン幅全部を検出用ライン
として使うことができる。
キヤニングされてくるスポツト光はポジシヨンセ
ンサ６でその光を受光することにより、スキヤニ
ングの場所に対応した電圧を出力する。この電圧
をＡ／Ｄ変換することにより、例えば８ビツトの
Ａ／Ｄコンバータであれば、０から255段階で分
割される。そしてフオトダイオード７からの信号
を２値化して処理する。その代表的な検出信号
に、このアドレス信号を提供することにより、全
スキヤン幅に対して均等な距離で８ビツトの場
合、256分割される。アドレス分割比はＡ／Ｄコ
ンバータ８′のビツト数によつて決定される。フ
オトダイオード７の出力は、２値化する前にスキ
ヤン速度で補正する。すなわち、ポジシヨンセン
サ６からの出力をＡ／Ｄ変換してアドレス信号と
して使用するものと、微分してVpsinθのポジシ
ヨンセンサ出力信号をVpcosθの速度に変換する
ものとに分ける。そして、スキヤンスピードに変
換された電圧を絶対値回路１５に入れ、第４図Ｂ
に示すような信号に変換する。被測定物４から反
射してくる光信号をフオトダイオード７で電気信
号に変換してアンプ１２で増幅する。増幅した信
号を外部電圧によるカツトオフ周波数が変わるハ
イパスフイルタ１３に送る。ハイパスフイルタ１
３では第４図Ｂの信号を受けてカツトオフ周波数
が第４図Ｃで示すように、fcminからfcmaxまで
可変する。フオトダイオード７からの出力信号
で、同一欠陥であつても欠陥の発生の場所によ
り、スキヤンスピードの影響で変化する生信号の
周波数成分が変わるのに対して、ハイパスフイル
タ１３の定数をスキヤンスピードに合わせて変え
ることにより、場所による検出の差はなくなる。
このように、振動ミラー２の欠点である応答遅れ
や、sin波スキヤンのための位置によるスピード
のばらつきなどが、ポジシヨンセンサ６を用いて
正確なアドレス設定を行うとともに、スキヤン速
度に応じてフオトダイオード７の出力を補正する
ことより、問題とならなくなつた。このように、
簡単な構成で正確なアドレス設定ができ、かつ振
動ミラー２の応答性、スキヤンスピードの変動に
も影響せず、またスキヤン幅全部を検出用ライン
として使うことができる。
以上のように、この発明の表面欠陥検出装置
は、振動ミラーと平行光線を得るレンズとによる
光スキヤニング手段を作り、ポジシヨンセンサを
用いてその微分した速度信号により受光素子の出
力を補正するようにしたものであるから、簡単な
構成で正確なアドレス設定ができ、振動ミラーの
応答性やスキヤンスピードの変動に影響せず、し
かもスキヤン幅全部を検出ラインとして使えると
いう効果がある。
は、振動ミラーと平行光線を得るレンズとによる
光スキヤニング手段を作り、ポジシヨンセンサを
用いてその微分した速度信号により受光素子の出
力を補正するようにしたものであるから、簡単な
構成で正確なアドレス設定ができ、振動ミラーの
応答性やスキヤンスピードの変動に影響せず、し
かもスキヤン幅全部を検出ラインとして使えると
いう効果がある。
第１図は従来のsin波駆動の問題を示す説明図、
第２図はこの発明の一実施例の斜視図、第３図は
その回路ブロツク図、第４図は同じくその動作説
明図である。 １…レーザ、２…振動ミラー、３…Fθレンズ、
４…被測定物、６…ポジシヨンセンサ、７…フオ
トダイオード（受光素子）、８…Ａ／Ｄコンバー
タ、９…アドレス信号発生器、１０…２値化回
路、１１，１１′…データ処理回路。
第２図はこの発明の一実施例の斜視図、第３図は
その回路ブロツク図、第４図は同じくその動作説
明図である。 １…レーザ、２…振動ミラー、３…Fθレンズ、
４…被測定物、６…ポジシヨンセンサ、７…フオ
トダイオード（受光素子）、８…Ａ／Ｄコンバー
タ、９…アドレス信号発生器、１０…２値化回
路、１１，１１′…データ処理回路。
Claims (1)
- １ レーザと、sin波駆動されて前記レーザから
の光線を一定角度範囲で直線状にスキヤンする振
動ミラーと、この振動ミラーでスキヤンされた光
線を平行光とするレンズと、このレンズから出た
平行光を２分して透過光を被測定物に照射するハ
ーフミラーと、このハーフミラーの前記レンズか
らの反射板を検出するポジシヨンセンサと、前記
透過光の被測定物からの反射光を前記ハーフミラ
ーによる反射を介して受光する受光素子と、前記
ポジシヨンセンサの出力からＡ／Ｄ変換回路を介
してアドレス信号を得るアドレス信号発生回路
と、前記受光素子の出力が入力され制御電圧によ
りカツトオフ周波数が変わる電圧可変型のハイパ
スフイルタと、このハイパスフイルタの出力を２
値化する２値化回路と、前記ポジシヨンセンサの
出力を微分して速度信号とする微分回路と、この
速度信号の絶対値を得て前記ハイパスフイルタの
制御電圧とする絶対値回路と、前記２値化信号と
前記アドレス信号とから被測定物の欠陥の存在と
位置を判定するデータ処理回路とを備えた表面欠
陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13461182A JPS5924202A (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | 表面欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13461182A JPS5924202A (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | 表面欠陥検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5924202A JPS5924202A (ja) | 1984-02-07 |
| JPS6338083B2 true JPS6338083B2 (ja) | 1988-07-28 |
Family
ID=15132437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13461182A Granted JPS5924202A (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | 表面欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5924202A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62137504A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-20 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 部分クラッド材の幅測定装置 |
| JPH0641164Y2 (ja) * | 1987-01-19 | 1994-10-26 | 名古屋電機工業株式会社 | 実装済プリント基板自動検査装置 |
| JPS63177040A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Nagoya Denki Kogyo Kk | 実装済プリント基板自動検査装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4974815A (ja) * | 1972-11-20 | 1974-07-19 | ||
| JPS54124784A (en) * | 1978-03-20 | 1979-09-27 | Ricoh Co Ltd | Laser flaw inspector |
-
1982
- 1982-07-30 JP JP13461182A patent/JPS5924202A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5924202A (ja) | 1984-02-07 |
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