JPS6361973A - 磁気センサ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は薄膜磁気抵抗効果素子の抵抗変化を利用して被
検出体の変位等を検出する磁気センサに関する。

（従来の技術） 各種回転物体や移動物体等の位置、変位の検出を薄膜磁
気抵抗効果素子の抵抗変化を利用して行う磁気センサが
実用化されている。

このような磁気センサの従来例及び使用例を以下に説明
する。

第８図（ａ）、（ｂ）に示す従来の磁気センサ５０は、
ガラス板製等の絶縁基板５１上に、フォトエツチング等
の手法により薄膜磁気抵抗効果素子によるセンサ部５２
及び導電層５３．５４をこれらの形状が口字状となるよ
うに形成し、絶縁基板５１のセンサ部５２に近い側面部
５’ｌａ側を、第１０図に示すようにＮ、Ｓ磁極を有す
る回転ドラムの如き被検出体５５に近接させて使用する
ようにしたものである。

しかしながら、この磁気センサ５０は第９図に示すよう
に例えば前記絶縁基板５１の長さの約２倍の長さを有す
る絶縁基板５１′上に所定の間隔を隔てて２組のセンサ
部５２及び導電層５３゜５４を所定の間隔を隔てて形成
すると共に、雨センサ部５２．５２間の第９図に示す斜
線部分を外周が丸味を帯びた砥石等からなるカッタ５６
を用いて切断することにより製造するものであるため、
第８図（ａ）、（ｂ）に示すように前記側面部５１ａの
下端側がこの側面部５１ａよりも外法に例えば長ざｌだ
け突出した突出部５１ｂが形成されてしまう。この突出
部５１ｂができる理由はカッタ５６による絶縁基板５１
′の切り終り部分が、丸味を帯びたカッタ５６の外周形
状に対応した形状となることに基づくものである。

この結果、第１０図に示すように磁気センサ５０の被検
出体５５に対する配置状態が若干水平位置よりも傾斜す
ると前記突出部５１ｂが被検出体５５の外周面に当接す
る等の弊害が生じ、磁気センサ５０の被検出体５５に対
する位置決めにおける余裕度がなくなるという問題があ
る。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、被検出
体に対する位置決めの余裕度を有する磁気センサ及びこ
の磁気センサを製造する方法を提供することを目的とす
るものである。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明の磁気センサは、絶縁基板上に薄膜磁気抵抗効果
素子によるセンサ部を有し、このセンサ部に生じる被検
出体からの磁束変化に基づく磁気抵抗の変化を利用して
被検出体の検出を行う磁気センサにおいて、前記絶縁基
板の被検出体に対面する側面部に、下端に至るにしたが
い被検出体から離隔する湾曲部を有して構成される。

また、本発明の磁気センサの製造方法は、絶縁基板上に
複数の薄膜磁気抵抗効果素子によるセンサ部を所定の間
隔を隔てて形成する工程と、前記各センサ部を形成した
面とは反対側の絶縁基板面で、かつ、前記各センサ部間
の間隔よりも狭範囲に亘る弧状の凹部を形成する工程と
、この凹部の中央部を境として絶縁基板を切断する工程
とを含んで構成される。

（作　用） 上記構成の磁気センサは、センサ部を形成した絶縁基板
における被検出体と対面する側面部に、下端に至るほど
被検出体から離隔する湾曲部が形成されているので、従
来の磁気センナの場合と異なりこの湾曲部側が被検出体
に接近するように磁気センサを傾けて配置してもなお被
検出体との間に空隙を保持することができ、これにより
、磁気センサの位置決めの余裕度をもたせることができ
る。

また、本発明の磁気センサの製造方法によれば、複数の
センサ部を所定の間隔を隔てて形成した絶縁基板におけ
る前記両センサ部とは反対側の面で、かつ、前記両セン
サ部に対応する領域に弧状の凹部を形成し、この凹部の
中央部を境として切断しこれにより得られる切断面を側
面部として、また、この切断面に連なる凹部を湾曲部と
して用いるものでおるから、前記機能を発揮し得る磁気
センサの製造方法を提供することができる （実施例） 以下に本発明の磁気センサの実施例を第１図（ａ）、（
ｂ）を参照して説明する。

同図に示す磁気センサ１は、ガラス仮装等の絶縁基板２
と、この絶縁基板２の一方の面２ａ上にフォトエツチン
グ等の手法により全体としてコ状とするように形成され
た薄膜磁気抵抗効果素子によるセンサ部３及びこのセン
サ部３に通電するための導電層４ａ、４ｂと、絶縁基板
２の一方の側面部２Ｃにおいてこの側面部２Ｃの肉厚方
向中間部から絶縁基板２の他方の面２ｂに至るにしたが
いこの側面部２Ｃから離隔する湾曲部２ｄとを有して構
成されている。

次に上記構成の磁気センサ１の製造方法を第３図乃至第
７図を参照して説明する。

まず第３図に示すように、前記絶縁基板２の長ざＬの２
倍より若干大きい長さＬ′を有する絶縁基板２′を用意
し、この絶縁基板２′の一方の而２ａ上にフォトエツチ
ング等の手法により薄膜磁気抵抗効果素子によるセンサ
部３及び導電層４ａ。

４ｂを２相互いにセンサ部３同士が所定の間隔を有し、
かつ、それぞれの形状がコ状となるように形成する。

次に、第４図に示すように絶縁基板２′の他方の面２ｂ
の中央部で、かつ、前記両センサ部３゜３に対応する領
域よりも内側に弧状の凹部５を形成する。

次に、第５図に示すようにこの凹部５の最深部から同図
に示す斜線部６に沿って外周が丸味を帯びたカッタ７に
よりこの絶縁基板２′を切断する。

これにより、第６図に示すようにそれぞれ長ざＬを有す
る２個の磁気センサ１，１を一方の面２ａをいずれも下
側に向けた状態で製造することができる。

そして、第７図に示すように両磁気センザ１゜１を上下
反転する。これにより、カッタ７による切断面を前記側
面部２ｃとし、また、この切断面に連なる凹部５の部分
を前記湾曲部２ｄとする第１図（ａ）、（ｂ）に示すよ
うな磁気センサ１を２個製造することができる。

次に、上述のようにして１ｑられる磁気センサの使用例
を第２図を参照して説明する。

尚、被検出体５５は第１０図に示すものと同様な構成を
有するものを用いるものとする。

第２図に示すように、この磁気センサ１の被検出体５５
に対する配置状態が水平ラインＸＯよりもおる角度θだ
け傾斜したラインＸ１となっても、絶縁基板２の側面部
２Ｃの下側に前記湾曲部２ｄを設けているため、従来の
磁気センサ５０の場合と異なり以前として被検出体５５
との間に空隙が保持され、この結果、磁気センサ１の被
検出体５５に対する位置決めの際の余裕度をもたせるこ
とができる。

本発明は上述した実施例に限定されるものではなく、そ
の要旨の範囲内で種々の変形が可能であることはいうま
でもない。

［発明の効果］ 以上詳述した本発明によれば、被検出体に対する位置決
めの余裕度を有する磁気センサ及びこのような機能を発
揮し得る磁気センサの製造方法を提供することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の磁気センサの実施例を示す平面
図、第１図（ｂ）は同上の側面図、第２図は前記磁気セ
ンサの使用例を示す側面図、第３図乃至第７図はそれぞ
れ本発明方法の実施例を示す工程説明図、第８図（ａ）
は従来の磁気センサの平面図、第８図（ｂ）は同上の側
面図、第９図は従来の磁気センサの製造工程を示す説明
図、第１０図は従来の磁気センサの使用例を示す側面図
である。 １・・・磁気センサ、２・・・絶縁基板、２Ｃ・・・側
面部、２ｄ・・・湾曲部、３・・・センサ部。 第９図 第１０図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）絶縁基板上に薄膜磁気抵抗効果素子によるセンサ
   部を有し、このセンサ部に生じる被検出体からの磁束変
   化に基づく磁気抵抗の変化を利用して被検出体の検出を
   行う磁気センサにおいて、前記絶縁基板の被検出体に対
   面する側面部に、下端に至るにしたがい被検出体から離
   隔する湾曲部を設けたことを特徴とする磁気センサ。
2. （２）絶縁基板上に複数の薄膜磁気抵抗効果素子による
   センサ部を所定の間隔を隔てて形成する工程と、前記各
   センサ部を形成した面とは反対側の絶縁基板面で、かつ
   、前記各センサ部間の間隔よりも狭範囲に亘る弧状の凹
   部を形成する工程と、この凹部の中央部を境として絶縁
   基板を切断する工程とを含むことを特徴とする磁気セン
   サの製造方法。