JPS6362097B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6362097B2 JPS6362097B2 JP56044738A JP4473881A JPS6362097B2 JP S6362097 B2 JPS6362097 B2 JP S6362097B2 JP 56044738 A JP56044738 A JP 56044738A JP 4473881 A JP4473881 A JP 4473881A JP S6362097 B2 JPS6362097 B2 JP S6362097B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manipulator
- ball
- amount
- movement
- contacts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置を加工する時に平面内で移
動台を任意の方向に移動させるようにした平面移
動装置を操作するためのマニピユレータに関する
ものである。
動台を任意の方向に移動させるようにした平面移
動装置を操作するためのマニピユレータに関する
ものである。
一般に、半導体ワイヤボンダーのように工具を
XY方向に移動させつつ加工を行なう装置におい
ては、工具等を支承した移動台をＸ方向及びＹ方
向に移動させるようにした平面移動装置が用いら
れている。
XY方向に移動させつつ加工を行なう装置におい
ては、工具等を支承した移動台をＸ方向及びＹ方
向に移動させるようにした平面移動装置が用いら
れている。
従来、かかる平面移動装置の移動台をＸ方向及
びＹ方向に移動させるためのモータをマニピユレ
ータにより遠隔操作するようにした装置として、
例えば特開昭50−153581号公報に示すものが知ら
れている。しかしながら、この方法はマニピユレ
ータの操作移動量と移動台の動き量とを同一にす
ると、マニピユレータのスペースを大きくする必
要がある。またマニピユレータの移動量と移動台
の動き台との比率を大きくすると、マニピユレー
タをわずかでも動かすと移動台の動き量が大きく
なり、マニピユレータの操作がむずかしくなる。
即ち、マニピユレータをコンパクトに製作し、ま
た操作を容易にするためにマニピユレータの移動
量と移動台の動き量との比率を小さくすること
は、相反する条件を満足させることになるので、
マニピユレータの操作移動量がリミツトに達して
も移動台がリミツトまで移動しない結果となる。
びＹ方向に移動させるためのモータをマニピユレ
ータにより遠隔操作するようにした装置として、
例えば特開昭50−153581号公報に示すものが知ら
れている。しかしながら、この方法はマニピユレ
ータの操作移動量と移動台の動き量とを同一にす
ると、マニピユレータのスペースを大きくする必
要がある。またマニピユレータの移動量と移動台
の動き台との比率を大きくすると、マニピユレー
タをわずかでも動かすと移動台の動き量が大きく
なり、マニピユレータの操作がむずかしくなる。
即ち、マニピユレータをコンパクトに製作し、ま
た操作を容易にするためにマニピユレータの移動
量と移動台の動き量との比率を小さくすること
は、相反する条件を満足させることになるので、
マニピユレータの操作移動量がリミツトに達して
も移動台がリミツトまで移動しない結果となる。
そこで、かかる相反する条件を満足させるた
め、従来、マニピユレータの移動量を伝達する電
気信号を切るスイツチを併用する手段をとつてい
る。しかしながら、この方法はマニピユレータが
リミツトに達しても移動台が目的の位置に到達し
ていない場合、スイツチを使用してマニピユレー
タの移動量を伝達する電気信号を切り、次にマニ
ピユレータを戻し、続いてスイツチを入れてマニ
ピユレータの移動量を伝達する電気信号を復帰さ
せ、再びマニピユレータを移動させ、移動台が目
的位置に到達するまで、前記操作を繰返えさなけ
ればならない。このため、操作に多大の時間を要
すると共に、非常に面倒である。
め、従来、マニピユレータの移動量を伝達する電
気信号を切るスイツチを併用する手段をとつてい
る。しかしながら、この方法はマニピユレータが
リミツトに達しても移動台が目的の位置に到達し
ていない場合、スイツチを使用してマニピユレー
タの移動量を伝達する電気信号を切り、次にマニ
ピユレータを戻し、続いてスイツチを入れてマニ
ピユレータの移動量を伝達する電気信号を復帰さ
せ、再びマニピユレータを移動させ、移動台が目
的位置に到達するまで、前記操作を繰返えさなけ
ればならない。このため、操作に多大の時間を要
すると共に、非常に面倒である。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたも
ので、コンパクトで、かつ操作が容易な半導体装
置における平面移動装置用マニピユレータを提供
することを目的とする。
ので、コンパクトで、かつ操作が容易な半導体装
置における平面移動装置用マニピユレータを提供
することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
図は本発明になる半導体装置における平面移動
装置用マニピユレータの一実施例を示し、第１図
は概略構成を示す斜視図、第２図は正面図、第３
図は一部断面で示す左側面図、第４図は平面図、
第５図は第２図のＡ−Ａ線断面図である。球状の
ボール１が底板２に固定されたホルダー３に保持
されたローラ４により３点支持されている。前記
底板２にはポール５を介して上板６が固定され、
上板６に形成した窓６ａより前記ボール１の一部
が突出している。またボール１は、上板６の下面
に固定されたホルダー７に保持されたローラ８に
よつても３点支持されており、このローラ８と前
記ローラ４により支持されて回転自在に動くよう
な形となつている。このように回転自在に支持さ
れたボール１には２個の筒状の接触子９，１０が
圧接しており、これらの接触子９，１０はボール
１の中心より90゜の角度をなす位置に配設されて
いる。前記接触子９，１０は回転量を電気信号に
変換するエンコーダ等よりなる変換器１１，１２
の回転軸１１ａ，１２ａにそれぞれ固定されてい
る。前記変換器１１，１２はそれぞれアーム１３
に取付けられており、アーム１３は底板２に固定
されたアングル１４に取付けられた支軸１５に回
転自在に取付けられている。また接触子９，１０
がボール１に圧接するようにアーム１３とアング
ル１４にスプリング１６が取付けられている。
装置用マニピユレータの一実施例を示し、第１図
は概略構成を示す斜視図、第２図は正面図、第３
図は一部断面で示す左側面図、第４図は平面図、
第５図は第２図のＡ−Ａ線断面図である。球状の
ボール１が底板２に固定されたホルダー３に保持
されたローラ４により３点支持されている。前記
底板２にはポール５を介して上板６が固定され、
上板６に形成した窓６ａより前記ボール１の一部
が突出している。またボール１は、上板６の下面
に固定されたホルダー７に保持されたローラ８に
よつても３点支持されており、このローラ８と前
記ローラ４により支持されて回転自在に動くよう
な形となつている。このように回転自在に支持さ
れたボール１には２個の筒状の接触子９，１０が
圧接しており、これらの接触子９，１０はボール
１の中心より90゜の角度をなす位置に配設されて
いる。前記接触子９，１０は回転量を電気信号に
変換するエンコーダ等よりなる変換器１１，１２
の回転軸１１ａ，１２ａにそれぞれ固定されてい
る。前記変換器１１，１２はそれぞれアーム１３
に取付けられており、アーム１３は底板２に固定
されたアングル１４に取付けられた支軸１５に回
転自在に取付けられている。また接触子９，１０
がボール１に圧接するようにアーム１３とアング
ル１４にスプリング１６が取付けられている。
次にかかる構成よりなるマニピユレータの動作
について説明する。上板６より突出したボール１
の部分を第１図に矢印Ｂで示す接触子９側に作業
者が指先または手の平で回転させると、ボール１
に圧接している一方の接触子９が回転し、一方の
変換器１１より接触子９の回転量に応じた電気信
号が発生する。しかし、他方の接触子１０は前記
接触子９と90゜の角度をなして配置されているの
で、矢印Ｂ方向にボール１を回転させても回転し
なく、他方の変換器１２より電気信号は発生しな
い。またボール１を矢印Ｂと直角の矢印Ｃ方向に
回転させると、前記と逆に接触子１０が回転して
変換器１２より接触子１０の回転量に応じた電気
信号が発生し、接触子９は回転しなく、変換器１
１より電気信号が発生しない。またボール１を任
意の方向に回転させると、それぞれの接触子９，
１０がボール１に接触して回転し、それぞれの変
換器１１，１２よりそれぞれの接触子９，１０の
回転量に応じた電気信号が発生する。このように
して発生した電気信号は図示しない平面移動装置
の移動台を駆動するＸ方向駆動用モータ及びＹ方
向駆動用モータにそれぞれ入力され、移動台をＸ
方向及びＹ方向の任意の方向に移動させる。
について説明する。上板６より突出したボール１
の部分を第１図に矢印Ｂで示す接触子９側に作業
者が指先または手の平で回転させると、ボール１
に圧接している一方の接触子９が回転し、一方の
変換器１１より接触子９の回転量に応じた電気信
号が発生する。しかし、他方の接触子１０は前記
接触子９と90゜の角度をなして配置されているの
で、矢印Ｂ方向にボール１を回転させても回転し
なく、他方の変換器１２より電気信号は発生しな
い。またボール１を矢印Ｂと直角の矢印Ｃ方向に
回転させると、前記と逆に接触子１０が回転して
変換器１２より接触子１０の回転量に応じた電気
信号が発生し、接触子９は回転しなく、変換器１
１より電気信号が発生しない。またボール１を任
意の方向に回転させると、それぞれの接触子９，
１０がボール１に接触して回転し、それぞれの変
換器１１，１２よりそれぞれの接触子９，１０の
回転量に応じた電気信号が発生する。このように
して発生した電気信号は図示しない平面移動装置
の移動台を駆動するＸ方向駆動用モータ及びＹ方
向駆動用モータにそれぞれ入力され、移動台をＸ
方向及びＹ方向の任意の方向に移動させる。
このように、ボール１の回転方向と移動台の動
きを対応させてなるので、マニピユレータをコン
パクトに製作できると共に、その操作は単にボー
ル１を回転させるのみでよいので、操作が簡単
で、かつ容易である。
きを対応させてなるので、マニピユレータをコン
パクトに製作できると共に、その操作は単にボー
ル１を回転させるのみでよいので、操作が簡単
で、かつ容易である。
なお、上記実施例においては、接触子９，１０
を円筒状に形成したが、球面状に形成してもよ
い。
を円筒状に形成したが、球面状に形成してもよ
い。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれ
ば、所期の目的であるコンパクトで、かつ操作が
容易な平面移動装置用マニピユレータが得られ
る。
ば、所期の目的であるコンパクトで、かつ操作が
容易な平面移動装置用マニピユレータが得られ
る。
図は本発明になる半導体装置における平面移動
装置用マニピユレータの一実施例を示し、第１図
は概略構成を示す斜視図、第２図は平面図、第３
図は一部断面で示す左側面図、第４図は平面図、
第５図は第２図のＡ−Ａ線断面図である。 １……ボール、９，１０……接触子、１１，１
２……変換器。
装置用マニピユレータの一実施例を示し、第１図
は概略構成を示す斜視図、第２図は平面図、第３
図は一部断面で示す左側面図、第４図は平面図、
第５図は第２図のＡ−Ａ線断面図である。 １……ボール、９，１０……接触子、１１，１
２……変換器。
Claims (1)
- １ Ｘ方向駆動用モータとＹ方向駆動用モータを
用いてＸ軸とＹ軸により定められる平面内で移動
台を任意の方向に移動させるようにした平面移動
装置の前記各駆動用モータを操作するマニピユレ
ータにおいて、回転自在に保持されたボールと、
このボールに接触しボールに対して90゜の角度を
なして配置された２個の接触子と、これらの接触
子がそれぞれ取付けられ接触子の回転量を電気信
号に変換する２個の変換器とからなる半導体装置
における平面移動装置用マニピユレータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56044738A JPS57160136A (en) | 1981-03-28 | 1981-03-28 | Manipulator in planar movement system for semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56044738A JPS57160136A (en) | 1981-03-28 | 1981-03-28 | Manipulator in planar movement system for semiconductor device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57160136A JPS57160136A (en) | 1982-10-02 |
| JPS6362097B2 true JPS6362097B2 (ja) | 1988-12-01 |
Family
ID=12699780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56044738A Granted JPS57160136A (en) | 1981-03-28 | 1981-03-28 | Manipulator in planar movement system for semiconductor device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57160136A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0889692A (ja) * | 1994-09-27 | 1996-04-09 | Tokyo Sensen Kikai Seisakusho:Kk | 物干しハンガー |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5724565B2 (ja) * | 1974-05-29 | 1982-05-25 | ||
| US3987685A (en) * | 1974-12-16 | 1976-10-26 | Xerox Corporation | Cursor position device |
-
1981
- 1981-03-28 JP JP56044738A patent/JPS57160136A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0889692A (ja) * | 1994-09-27 | 1996-04-09 | Tokyo Sensen Kikai Seisakusho:Kk | 物干しハンガー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57160136A (en) | 1982-10-02 |
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