JPS6362659A - 複合振動砥石による精密仕上加工方法 - Google Patents
複合振動砥石による精密仕上加工方法Info
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- JPS6362659A JPS6362659A JP20851086A JP20851086A JPS6362659A JP S6362659 A JPS6362659 A JP S6362659A JP 20851086 A JP20851086 A JP 20851086A JP 20851086 A JP20851086 A JP 20851086A JP S6362659 A JPS6362659 A JP S6362659A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 12
- 239000007779 soft material Substances 0.000 abstract description 9
- 238000013459 approach Methods 0.000 abstract description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 102100024066 Coiled-coil and C2 domain-containing protein 1A Human genes 0.000 description 1
- 229920001875 Ebonite Polymers 0.000 description 1
- 101000910423 Homo sapiens Coiled-coil and C2 domain-containing protein 1A Proteins 0.000 description 1
- 235000015429 Mirabilis expansa Nutrition 0.000 description 1
- 244000294411 Mirabilis expansa Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 235000013536 miso Nutrition 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は研削砥石を回転させないで低い加工速度に於て
超音波振動と低周波振動を与え一定荷重を作用させて特
にゴム材のような軟質工作物の表面を能率よく精密仕上
加工する方法に関する。
超音波振動と低周波振動を与え一定荷重を作用させて特
にゴム材のような軟質工作物の表面を能率よく精密仕上
加工する方法に関する。
(従来技術)
従来砥石を仕上方向と直角方向に低周波振動させて仕上
加工する仕上方法は公知である。又砥石にこの低周波振
動方向と同じ方向に超音波振動させて精密加工する方法
も公知である。
加工する仕上方法は公知である。又砥石にこの低周波振
動方向と同じ方向に超音波振動させて精密加工する方法
も公知である。
(発明が解決しようとする問題点)
ところで上記従来技術のうち、低周波振動のみによる方
法は、金属材料の鏡面加工を対象としたもので金属材料
とその組成を異にする有機材であるゴム材のような軟質
工作物に対してその技術をそのまま適用してもその効果
は全く得られない。すなわち、砥石を金属材料加工面に
加圧してこれを低周波振動させ、各は粒の運動軌跡を交
錯させることによって各砥粒の切削長さを寸断して切削
抵抗を軽減させて切削性を向上させることがゴムのよう
な軟質材に比べて剛性の高い金属材料に対しては可能で
はあるが、ゴムのような軟質材のように弾性に富む材料
に対しては、この技術における程度の切削長さの寸断で
は切削抵抗が減少せず、工作物が弾性変形して逃げてし
まい精密切削1゛ることかできないO この砥石を低周波振動の方向と同方向に超音波振動させ
る方法がある。この方法によって各砥粒の切削長さをよ
り細かく寸断することができ切削抵抗が激減してゴムの
ような軟質材の弾性変形を極微少化して精密切削を可能
とする。
法は、金属材料の鏡面加工を対象としたもので金属材料
とその組成を異にする有機材であるゴム材のような軟質
工作物に対してその技術をそのまま適用してもその効果
は全く得られない。すなわち、砥石を金属材料加工面に
加圧してこれを低周波振動させ、各は粒の運動軌跡を交
錯させることによって各砥粒の切削長さを寸断して切削
抵抗を軽減させて切削性を向上させることがゴムのよう
な軟質材に比べて剛性の高い金属材料に対しては可能で
はあるが、ゴムのような軟質材のように弾性に富む材料
に対しては、この技術における程度の切削長さの寸断で
は切削抵抗が減少せず、工作物が弾性変形して逃げてし
まい精密切削1゛ることかできないO この砥石を低周波振動の方向と同方向に超音波振動させ
る方法がある。この方法によって各砥粒の切削長さをよ
り細かく寸断することができ切削抵抗が激減してゴムの
ような軟質材の弾性変形を極微少化して精密切削を可能
とする。
しかし、この方法には加工できる工作物の形状に制限が
生ずる。すなわち、この方法は、一様な平面あるいは円
筒外周1人面の仕上加工には適用できるが、キー溝など
の溝加工や底のある穴の大面の仕上加工には使用できな
いという問題点がある。
生ずる。すなわち、この方法は、一様な平面あるいは円
筒外周1人面の仕上加工には適用できるが、キー溝など
の溝加工や底のある穴の大面の仕上加工には使用できな
いという問題点がある。
すなわち、超音波振動よりも振幅の大きい低周波振動数
の振幅が砥石の作用面と直交する工作物の側面をたたい
たり、所定寸法以上に加工して寸法精度を狂わせる現象
が生ずる。例えば、キー溝加工ではキー溝側面をたたき
、大面加工では底面をたたく現象を生ずる。そして、加
工精度を低下させたり、砥石を破損させたりして発明の
効果を皆無とする。
の振幅が砥石の作用面と直交する工作物の側面をたたい
たり、所定寸法以上に加工して寸法精度を狂わせる現象
が生ずる。例えば、キー溝加工ではキー溝側面をたたき
、大面加工では底面をたたく現象を生ずる。そして、加
工精度を低下させたり、砥石を破損させたりして発明の
効果を皆無とする。
(問題点を解決するための手段)
本発明は上記問題点に着目してなされたもので砥石に与
える振幅の大きい低周波振動の方向は切削仕上方向と同
方向として、切りくずを極微細化するための超音波振動
の方向を仕上方向と直角方向で、仕上加工面と平行方向
として砥石を重畳振動させ、この砥石に定荷重を与えて
加工形状精度に影響を与えることなく精密仕上加工する
ことを特徴とするものである。
える振幅の大きい低周波振動の方向は切削仕上方向と同
方向として、切りくずを極微細化するための超音波振動
の方向を仕上方向と直角方向で、仕上加工面と平行方向
として砥石を重畳振動させ、この砥石に定荷重を与えて
加工形状精度に影響を与えることなく精密仕上加工する
ことを特徴とするものである。
(実施例)
以下、図示した実施例に基づいて具体的に説明する。第
1図において、超音波振動砥石1を縦超音波振動子3の
振幅を拡大する振幅拡大用ホーン2の先端に取付けた曲
げ超音波振動砥石シャンク90両端に接着し、工作物7
に対して、矢印8の仕上方向に対して直角方向で、仕上
表面とは平行をなす方向に超音波振動数f、振幅a4で
超音波振動させる。超音波振動子3は電わい振動子、磁
わい振動子いずれでもその作用効果は同一である。この
超音波振動砥石を矢印8の仕上方向と同方向に低周波振
動数F、振幅A5で低周波振動させる。このように仕上
方向と同方向に低周波振動し、仕上方向と直角方向に超
音波振動する砥石に荷重P6を与え仕上速度v<2πA
Fで平面仕上加工する。低周波振動駆動装置としては、
三相誘導電動機を利用した滑り子クランク機構、リンク
機構および空気圧、油圧を利用した装置あるいは電磁振
動、電気油圧振動駆動による装置などを用いることがで
きる。
1図において、超音波振動砥石1を縦超音波振動子3の
振幅を拡大する振幅拡大用ホーン2の先端に取付けた曲
げ超音波振動砥石シャンク90両端に接着し、工作物7
に対して、矢印8の仕上方向に対して直角方向で、仕上
表面とは平行をなす方向に超音波振動数f、振幅a4で
超音波振動させる。超音波振動子3は電わい振動子、磁
わい振動子いずれでもその作用効果は同一である。この
超音波振動砥石を矢印8の仕上方向と同方向に低周波振
動数F、振幅A5で低周波振動させる。このように仕上
方向と同方向に低周波振動し、仕上方向と直角方向に超
音波振動する砥石に荷重P6を与え仕上速度v<2πA
Fで平面仕上加工する。低周波振動駆動装置としては、
三相誘導電動機を利用した滑り子クランク機構、リンク
機構および空気圧、油圧を利用した装置あるいは電磁振
動、電気油圧振動駆動による装置などを用いることがで
きる。
第2図は穴の本発明による精密仕上方法である。超音波
振動砥石1を縦超音波振動子3の振幅を拡大する振幅拡
大用ホーン2の先端に接着し穴7の軸方向に超音波振動
数f、振幅aで超音波振動させる。この縦超音波振動系
砥石を振動中心軸を回転中心軸Oと一致させて振動数F
。
振動砥石1を縦超音波振動子3の振幅を拡大する振幅拡
大用ホーン2の先端に接着し穴7の軸方向に超音波振動
数f、振幅aで超音波振動させる。この縦超音波振動系
砥石を振動中心軸を回転中心軸Oと一致させて振動数F
。
振幅Aで矢印5の仕上方向と同方向に低周波振動させ、
荷重P6を与え仕上速度V<2πAFで穴仕上加工する
。
荷重P6を与え仕上速度V<2πAFで穴仕上加工する
。
第3図、第4図、第5図、第6図、第7図。
第8図によって本発明が能率的な精密仕上加工を可能と
する理由について説明する。
する理由について説明する。
第3図において、仕上方向および低周波振動方向5をy
軸、荷重方向6をZ軸、超音波振動方向をy軸とする。
軸、荷重方向6をZ軸、超音波振動方向をy軸とする。
砥石の変位と時間との関係はy = A sin wt
で表わされ、図示のような正弦波曲線11で表わされる
。今この砥石1に対して工作物7を仕上方向8に一定速
度Vで送る。
で表わされ、図示のような正弦波曲線11で表わされる
。今この砥石1に対して工作物7を仕上方向8に一定速
度Vで送る。
点Oかも振動させたとする。曲線上の点Cで砥石の端面
が加工すべき工作物7の側面正1と接触し始め点dから
は砥石の振動の方向が仕上方向と同じ方向となり、点e
は仕上速度と振動速度とが等しくなる点でこのcdeO
間で砥石振動1サイクルで加工する長さ1T−Vloを
仕上加工する。そしてここから砥石と工作物の側面CE
とは離れ始め点e以後は振動速度が仕上速度よりも速く
なって最大速度2πAFに達する。
が加工すべき工作物7の側面正1と接触し始め点dから
は砥石の振動の方向が仕上方向と同じ方向となり、点e
は仕上速度と振動速度とが等しくなる点でこのcdeO
間で砥石振動1サイクルで加工する長さ1T−Vloを
仕上加工する。そしてここから砥石と工作物の側面CE
とは離れ始め点e以後は振動速度が仕上速度よりも速く
なって最大速度2πAFに達する。
点iを通過し、点fの直前まで離れており、点fVcお
いて砥石側面と工作物側面Cl(とが接触し始め曲線上
のfgbで1.r=7を仕上加工してCEに相当するF
Hまでを削除する。この砥石に荷重Pを与えれば抵抗
p#/c等しい量だけの切込みCEで仕上方向に砥石の
振動−周期ごとにlTづつ小刻みに仕上加工していくこ
とができる。このとき、ゴムのような軟質材はわずかな
荷重でも弾性変形して加工すべき加工面が逃げてしまう
ので、この第3図の方法では金属は加工できてもゴムの
ような軟質材は砥石を切込ませて仕上加工することがで
きない。与える荷iPをより軽荷重としても砥石をゴム
のような軟質材に切込ませることができる方法を必要と
する。
いて砥石側面と工作物側面Cl(とが接触し始め曲線上
のfgbで1.r=7を仕上加工してCEに相当するF
Hまでを削除する。この砥石に荷重Pを与えれば抵抗
p#/c等しい量だけの切込みCEで仕上方向に砥石の
振動−周期ごとにlTづつ小刻みに仕上加工していくこ
とができる。このとき、ゴムのような軟質材はわずかな
荷重でも弾性変形して加工すべき加工面が逃げてしまう
ので、この第3図の方法では金属は加工できてもゴムの
ような軟質材は砥石を切込ませて仕上加工することがで
きない。与える荷iPをより軽荷重としても砥石をゴム
のような軟質材に切込ませることができる方法を必要と
する。
そこで、第3図で説明した砥石をさらに超音波振動数f
、振幅aをもって仕上方向8に対して直角方向で仕上面
と平行方向に超音波振動させる。このときの砥石内の1
つの砥粒点pの運動軌跡を実線の曲線12と点線の曲線
13で示す。
、振幅aをもって仕上方向8に対して直角方向で仕上面
と平行方向に超音波振動させる。このときの砥石内の1
つの砥粒点pの運動軌跡を実線の曲線12と点線の曲線
13で示す。
点pは第3図の点0から第3図で説明したようにして振
動を開始する。一方、この点pは仕上方向と直角方向に
超音波域の早い周期で振動する。点pが超音波振動して
いなければこの点pの運動軌跡は直線となる。点C1点
d1点eは第3図の曲線11上の点C1点d9点eに相
当する。実線12の点eから1T−p の砥石の低周
波振動1ザイクルで仕上方向に切削すべき長さの部分を
切削し始める。点eから点dに向うに従って低周波振動
の振動速度はゼロに近づく。そして、仕上速度Vと超音
波振動速度との関係になるので、点pの振動開始点付近
の運動軌跡の山と山との間隔に比べてその間隔が狭く密
となってくる。点dを通過して点eVC向う過程ではそ
の位相が逆転する運動軌跡となる。これを点線13で示
す。点eで低周波振動による振動1サイクルでの切削長
さを切削し終る。点線13は実線12を反転した形とな
る。この両曲線は激しく交叉してその軌跡は長さの短い
微小曲線に寸断される。低周波振動させないと、この超
音波振動軌跡の反転現象はなく寸断されることのない連
続した正弦波振動曲線を示す。この仕上方向の低周波振
動の伺加によって超音波振動軌跡を極微細に寸断するこ
とができる。すなわち、切削長さを極微細に寸断し、切
りくずを極微細にし、切削抵抗を軽減させることができ
る。説明を1つの砥粒によって行ったが実際の砥石作用
面には多数の砥粒が分布しているので、1Txl(砥石
の巾)の切削面積全面を微細な直線群によって細分割化
でき切削抵抗の軽減を実現させることができるようにな
る。これが本発明による仕上機構の特徴である。
動を開始する。一方、この点pは仕上方向と直角方向に
超音波域の早い周期で振動する。点pが超音波振動して
いなければこの点pの運動軌跡は直線となる。点C1点
d1点eは第3図の曲線11上の点C1点d9点eに相
当する。実線12の点eから1T−p の砥石の低周
波振動1ザイクルで仕上方向に切削すべき長さの部分を
切削し始める。点eから点dに向うに従って低周波振動
の振動速度はゼロに近づく。そして、仕上速度Vと超音
波振動速度との関係になるので、点pの振動開始点付近
の運動軌跡の山と山との間隔に比べてその間隔が狭く密
となってくる。点dを通過して点eVC向う過程ではそ
の位相が逆転する運動軌跡となる。これを点線13で示
す。点eで低周波振動による振動1サイクルでの切削長
さを切削し終る。点線13は実線12を反転した形とな
る。この両曲線は激しく交叉してその軌跡は長さの短い
微小曲線に寸断される。低周波振動させないと、この超
音波振動軌跡の反転現象はなく寸断されることのない連
続した正弦波振動曲線を示す。この仕上方向の低周波振
動の伺加によって超音波振動軌跡を極微細に寸断するこ
とができる。すなわち、切削長さを極微細に寸断し、切
りくずを極微細にし、切削抵抗を軽減させることができ
る。説明を1つの砥粒によって行ったが実際の砥石作用
面には多数の砥粒が分布しているので、1Txl(砥石
の巾)の切削面積全面を微細な直線群によって細分割化
でき切削抵抗の軽減を実現させることができるようにな
る。これが本発明による仕上機構の特徴である。
砥石車は高速回転させて砥粒1刃あたりの切込みを小さ
くして抵抗を軽減させて精密研削を可能にしているが、
高速回転をさせることができない定荷重方式における砥
石によるゴムのような軟質材に対する能率的な精密研削
法は本発明の振動方向に超音波振動と低周波振動を重畳
複合させて切りくず長さを極微細に寸断して研削抵抗を
軽減させる方法以外にはない。
くして抵抗を軽減させて精密研削を可能にしているが、
高速回転をさせることができない定荷重方式における砥
石によるゴムのような軟質材に対する能率的な精密研削
法は本発明の振動方向に超音波振動と低周波振動を重畳
複合させて切りくず長さを極微細に寸断して研削抵抗を
軽減させる方法以外にはない。
第5図、第6図、第7図は、本発明の精密仕上機構をさ
らに詳しく説明し、仕上面あらさを平滑にする機構を説
明する図である。第5図は、本発明によって平均加工量
tをもってlTづつ小刻みに仕上加工している加工状態
を示し、第3図における点e、あるいは点りの加工状態
を示す図である。第3図の点Cから加工し始めるに従い
、次第に増大していく加工抵抗の影響を受けて砥石はご
くわずかではあるが仕上面8から離れて加工抵抗と荷重
Pとのバランスが保たれる。そしてlTを砥石の低周波
振動1サイクルで切削した点eあるいは点りで平均加工
量tを加工し、第6図のようにして砥石側面は工作物か
ら離れ始める。この間に仕」二面8から突出した部分を
切削して第7図のように砥石作用面全面が仕上面8と接
触するようになる。そして単位面積あたりの法線方向加
圧力が減少し各砥粒は工作物への食込みによる切削作用
はなくなり、工作物表面の微細突起部を8のように平滑
に仕上げる。この仕上げ機構の場合も本発明の低周波振
動の重畳によって超音波振動による運動軌跡の反転機構
によって切削長さを寸断し、切削抵抗を軽減させてゴム
のような軟質材の微小突起部を弾性変形させて逃がすこ
となく均一に精密仕上するのが本発明の特徴である。
らに詳しく説明し、仕上面あらさを平滑にする機構を説
明する図である。第5図は、本発明によって平均加工量
tをもってlTづつ小刻みに仕上加工している加工状態
を示し、第3図における点e、あるいは点りの加工状態
を示す図である。第3図の点Cから加工し始めるに従い
、次第に増大していく加工抵抗の影響を受けて砥石はご
くわずかではあるが仕上面8から離れて加工抵抗と荷重
Pとのバランスが保たれる。そしてlTを砥石の低周波
振動1サイクルで切削した点eあるいは点りで平均加工
量tを加工し、第6図のようにして砥石側面は工作物か
ら離れ始める。この間に仕」二面8から突出した部分を
切削して第7図のように砥石作用面全面が仕上面8と接
触するようになる。そして単位面積あたりの法線方向加
圧力が減少し各砥粒は工作物への食込みによる切削作用
はなくなり、工作物表面の微細突起部を8のように平滑
に仕上げる。この仕上げ機構の場合も本発明の低周波振
動の重畳によって超音波振動による運動軌跡の反転機構
によって切削長さを寸断し、切削抵抗を軽減させてゴム
のような軟質材の微小突起部を弾性変形させて逃がすこ
となく均一に精密仕上するのが本発明の特徴である。
次に本発明の実施例について説明する。ゴムの平板にみ
ぞを精密仕上加工する場合を第8図。
ぞを精密仕上加工する場合を第8図。
第9図によって説明する。
10m角、厚さ5關のWA≠60の砥石1を201EG
(z600Wたて振動室わい振動子3の振幅拡大用ホー
ン2の先端にボルトで固定して取付けた曲げ振動砥石シ
ャンク140両端に接着する。ホーン2の振動節を取付
板18で固定する。この取付板15を加圧装置16に固
定する。加圧装置は低周波振動駆動装置17によって矢
印5の方向に低周波振動する振動軸18に取付けろ。低
周波振動駆動装置は三相誘導電動機19とベルト加によ
って一定方向に高速回転する振動駆動軸の回転運動を偏
心カムとすべり子クランク機構によって変換し、振動軸
18を矢印5の方向に最大振動数100Hz 、片振幅
0.2mm程度で振動させる。この装置17を平削り盤
あるいは形削り盤刃物台21に矢印8の仕上方向と矢印
5の低周波振動方向とが一致するようにして取付ける。
(z600Wたて振動室わい振動子3の振幅拡大用ホー
ン2の先端にボルトで固定して取付けた曲げ振動砥石シ
ャンク140両端に接着する。ホーン2の振動節を取付
板18で固定する。この取付板15を加圧装置16に固
定する。加圧装置は低周波振動駆動装置17によって矢
印5の方向に低周波振動する振動軸18に取付けろ。低
周波振動駆動装置は三相誘導電動機19とベルト加によ
って一定方向に高速回転する振動駆動軸の回転運動を偏
心カムとすべり子クランク機構によって変換し、振動軸
18を矢印5の方向に最大振動数100Hz 、片振幅
0.2mm程度で振動させる。この装置17を平削り盤
あるいは形削り盤刃物台21に矢印8の仕上方向と矢印
5の低周波振動方向とが一致するようにして取付ける。
超音波発振機nによって超音波振動子3を励振すれば、
砥石は仕上方向と直角方向に超音波振動数f −20K
Hz 。
砥石は仕上方向と直角方向に超音波振動数f −20K
Hz 。
片振幅a = 4〜15μm程度で超音波振動する。
第9図のようにこの砥石1に加圧力Pを矢印6の方向に
工作物7に与え、振動数F = 100Hz。
工作物7に与え、振動数F = 100Hz。
片振幅&=0.2mm程度で低周波振動させ、仕上速度
vく2πAFの仕上速度V = 0.5〜2V漬をもっ
て仕上加工することによって本発明による精密平面仕上
加工が実施されゴム材へのみその精密仕上加工が可能と
なる。
vく2πAFの仕上速度V = 0.5〜2V漬をもっ
て仕上加工することによって本発明による精密平面仕上
加工が実施されゴム材へのみその精密仕上加工が可能と
なる。
本発明の実施において、仕上方向に対する超音波振動方
向および低周波振動方向との関係がそれぞれの振動方向
が多少づれた場合でも、それぞれの主成分が特許請求の
範囲で述べるように仕上方向に対して超音波振動方向に
ついては直角方向であり、低周波振動方向については同
方向となっている場合はすべて本発明に包含される。
向および低周波振動方向との関係がそれぞれの振動方向
が多少づれた場合でも、それぞれの主成分が特許請求の
範囲で述べるように仕上方向に対して超音波振動方向に
ついては直角方向であり、低周波振動方向については同
方向となっている場合はすべて本発明に包含される。
(効果)
本発明の実施によって得られる効果について説明する。
第10図に示すように、−辺が100mm の厚材状の
硬質ゴム材に幅10 mmの長100mrr+の金属角
棒がはめこまれ、接着、固定されている。そして基板で
あるゴム材5表面が金属角棒別の表面から0.03mm
以内で突出している。これを仕上げて金属角棒の表面よ
り0.03mm以内に低く精密仕上加工するときに、本
発明を低周波振動数F = 100 Hz 、振幅A
= 0.2 mm 、超音波振動数f −20KHz
、 振幅a = 16.71m 、 10 mm角厚
さ5mmの=#= 600電着ダイヤモンド砥石、仕上
速度2”A。
硬質ゴム材に幅10 mmの長100mrr+の金属角
棒がはめこまれ、接着、固定されている。そして基板で
あるゴム材5表面が金属角棒別の表面から0.03mm
以内で突出している。これを仕上げて金属角棒の表面よ
り0.03mm以内に低く精密仕上加工するときに、本
発明を低周波振動数F = 100 Hz 、振幅A
= 0.2 mm 、超音波振動数f −20KHz
、 振幅a = 16.71m 、 10 mm角厚
さ5mmの=#= 600電着ダイヤモンド砥石、仕上
速度2”A。
2 g/miの極部荷重で実施することによって、4往
復させるだけで各みそを一様に表面粗さ3 fim R
max 、平面度3fim7100mmの加工面精度と
し、端面のだれや変形盛り上りをなくして一様な仕上面
に能率よく精密仕上することに成功した。
復させるだけで各みそを一様に表面粗さ3 fim R
max 、平面度3fim7100mmの加工面精度と
し、端面のだれや変形盛り上りをなくして一様な仕上面
に能率よく精密仕上することに成功した。
本発明を実施することによって仕上速度を遅くして精密
仕上できるので加工面表面および砥石作用面の発熱を皆
無にすることができる。また、加圧力を極小にしてゴム
の精密仕上ができる。加圧するとゴムに吸収させている
油かにじみ出て潤滑作用をして砥粒の切削作用を阻害し
て滑らせて仕上作業が困雛であったような場合などに本
発明は画期的効果を発揮する。
仕上できるので加工面表面および砥石作用面の発熱を皆
無にすることができる。また、加圧力を極小にしてゴム
の精密仕上ができる。加圧するとゴムに吸収させている
油かにじみ出て潤滑作用をして砥粒の切削作用を阻害し
て滑らせて仕上作業が困雛であったような場合などに本
発明は画期的効果を発揮する。
第1図は本発明による平面の仕上加工方法とその特徴を
簡明に示す説明図。
簡明に示す説明図。
第2図は、本発明による穴の仕上加工方法とその特徴を
簡明に示す説明図。
簡明に示す説明図。
第3図は、砥石を仕上方向に低周波振動させたときの砥
石の運動軌跡と砥石の振動1サイクルでの仕上加工長さ
lTを示す説明図。
石の運動軌跡と砥石の振動1サイクルでの仕上加工長さ
lTを示す説明図。
第4図は、砥石を仕上方向と直角方向に超音波振動させ
、仕上方向に低周波振動させたときの砥石のなかの1つ
の砥粒pの超音波振動の運動軌跡が反転交錯して切削長
さが寸断され切削抵抗が軽減することを示す説明図。
、仕上方向に低周波振動させたときの砥石のなかの1つ
の砥粒pの超音波振動の運動軌跡が反転交錯して切削長
さが寸断され切削抵抗が軽減することを示す説明図。
第5図は、砥石の低周波振動1ザイクルでlTの長さを
切削したときの砥石と工作物との位置関係を示す説明図
。
切削したときの砥石と工作物との位置関係を示す説明図
。
第6図は、砥石の低周波振動1サイクルでV=2πAF
”となってそれ以後、砥石の側面が工作物から離れ始め
、加工面を平滑にしていく過程を示す説明図。
”となってそれ以後、砥石の側面が工作物から離れ始め
、加工面を平滑にしていく過程を示す説明図。
第7図は、第6図につづき、砥石の低周波振動1サイク
ルの時間の経過とともに、砥石作用面全面が工作物の加
工面全面と接触して加工面を平滑に精密仕上することを
示す説明図。
ルの時間の経過とともに、砥石作用面全面が工作物の加
工面全面と接触して加工面を平滑に精密仕上することを
示す説明図。
第8図は、本発明を実施する平削り盤を仕上方向と直角
方向から見た側面図。
方向から見た側面図。
第9図は本発明に用いるみぞ加工用超音波振動砥石の側
面図。
面図。
第10図は、本発明の実施効果を説明するための本発明
実施前の工作物の上面図と正面図。
実施前の工作物の上面図と正面図。
第11図は、本発明の実施後の工作物の正面図である。
1・・・・・・超音波振動ダイヤモンド砥石2・・・・
・・振幅拡大用ホーン 3・・・・・・超音波振動子 4・・・・・・超音波振動 5・・・・・・低周波振動 6・・・・・・加圧力 n・・・・・・超音波発振機 器・・・・・・ゴム素材 第1図 図面の71・占(内容に変更なし) 第3図 第4図 図面の浄書(内容に変更なし) 第9図 第10図 一目一 第11図 手続補正書 昭和61年12月8 日 特許庁長官 黒 1)明 雄 殿 1、事件の表示 昭和61年特許願第208510号 2、発明の名称 複合振動砥石による精密仕上加工方法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 栃木県宇都宮市南大通り1−4−20チサンマ
ンション701号室 氏名 隈 部 淳一部 4、代理人 住所 東京都港区新橋2丁目2番5号5、補正指令の
日付 昭和61年11月25日 6、補正の対象 委任状及び図面 7、補正の内容
・・振幅拡大用ホーン 3・・・・・・超音波振動子 4・・・・・・超音波振動 5・・・・・・低周波振動 6・・・・・・加圧力 n・・・・・・超音波発振機 器・・・・・・ゴム素材 第1図 図面の71・占(内容に変更なし) 第3図 第4図 図面の浄書(内容に変更なし) 第9図 第10図 一目一 第11図 手続補正書 昭和61年12月8 日 特許庁長官 黒 1)明 雄 殿 1、事件の表示 昭和61年特許願第208510号 2、発明の名称 複合振動砥石による精密仕上加工方法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 栃木県宇都宮市南大通り1−4−20チサンマ
ンション701号室 氏名 隈 部 淳一部 4、代理人 住所 東京都港区新橋2丁目2番5号5、補正指令の
日付 昭和61年11月25日 6、補正の対象 委任状及び図面 7、補正の内容
Claims (1)
- 仕上用砥石を仕上面と直角方向で仕上表面と平行方向に
超音波動させ、該仕上用砥石を仕上方向と同方向に低周
波振動数F、振巾Aで低周波振動させ、仕上速度V<2
πAFとして該仕上用砥石を加工面に加圧して仕上加工
する複合振動砥石による精密仕上加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20851086A JPH0624692B2 (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 砥石の複合振動による精密溝研削加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20851086A JPH0624692B2 (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 砥石の複合振動による精密溝研削加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6362659A true JPS6362659A (ja) | 1988-03-18 |
| JPH0624692B2 JPH0624692B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=16557356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20851086A Expired - Lifetime JPH0624692B2 (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 砥石の複合振動による精密溝研削加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624692B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5562530A (en) * | 1994-08-02 | 1996-10-08 | Sematech, Inc. | Pulsed-force chemical mechanical polishing |
| JP2001315213A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-13 | Teijin Seiki Co Ltd | 光学的立体造形方法および装置 |
| JP5049402B1 (ja) * | 2011-12-20 | 2012-10-17 | 有限会社アリューズ | 鏡面加工方法、鏡面加工機、鏡面加工具 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102211297B (zh) * | 2011-05-31 | 2013-12-25 | 北京航空航天大学 | 一种基于超声高频气动低频复合型振动磨削的方法和装置 |
| CN102211296B (zh) * | 2011-05-31 | 2013-12-25 | 北京航空航天大学 | 一种基于高低频复合型超声振动磨削装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5827063B2 (ja) | 2011-08-03 | 2015-12-02 | ローム株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
-
1986
- 1986-09-04 JP JP20851086A patent/JPH0624692B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5562530A (en) * | 1994-08-02 | 1996-10-08 | Sematech, Inc. | Pulsed-force chemical mechanical polishing |
| JP2001315213A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-13 | Teijin Seiki Co Ltd | 光学的立体造形方法および装置 |
| JP5049402B1 (ja) * | 2011-12-20 | 2012-10-17 | 有限会社アリューズ | 鏡面加工方法、鏡面加工機、鏡面加工具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0624692B2 (ja) | 1994-04-06 |
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