JPS6362972A - 真空容器のゲ−トバルブ - Google Patents
真空容器のゲ−トバルブInfo
- Publication number
- JPS6362972A JPS6362972A JP20455286A JP20455286A JPS6362972A JP S6362972 A JPS6362972 A JP S6362972A JP 20455286 A JP20455286 A JP 20455286A JP 20455286 A JP20455286 A JP 20455286A JP S6362972 A JPS6362972 A JP S6362972A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seal valve
- valve
- opening
- inclined surface
- seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空容器を用いて作業をする場合に真空容器
と外部との遮断と連通を制御するゲートバルブに関し、
特に清浄度を要求される作業に於いて、バルブの動作に
より塵あいを発生することを防止する技術に関するもの
である。
と外部との遮断と連通を制御するゲートバルブに関し、
特に清浄度を要求される作業に於いて、バルブの動作に
より塵あいを発生することを防止する技術に関するもの
である。
（従来の技術）
従来の真空容器に用いるゲートバルブのｔＲ遣を第５図
に示す。３１は真空容器を構成する壁体であり、シール
弁は該壁体の内部空間に収容されるようになっている。
に示す。３１は真空容器を構成する壁体であり、シール
弁は該壁体の内部空間に収容されるようになっている。
該Ｍ体の内部空間には傾斜面３２が設けられ、該傾斜面
３２の一部に開口部３３が設けられている。シール弁３
４は駆動軸３５の軸方向の運動により上下運動し、上昇
するとシール弁が傾斜面３２に当接して開口部３３を覆
う。
３２の一部に開口部３３が設けられている。シール弁３
４は駆動軸３５の軸方向の運動により上下運動し、上昇
するとシール弁が傾斜面３２に当接して開口部３３を覆
う。
３６はストッパーで、その下端は一定角度の傾斜面とな
っており、またシール弁の先端も同様の傾斜面を有して
いるので、更に駆動軸が上昇するとシール弁３４の先端
とストッパー３６の下端の当接および摺動によりシール
弁３４を開口部３３側に押し付ける力が働き、シール用
のゴム板３７が傾斜面３２に圧接され開口部は封止され
る。
っており、またシール弁の先端も同様の傾斜面を有して
いるので、更に駆動軸が上昇するとシール弁３４の先端
とストッパー３６の下端の当接および摺動によりシール
弁３４を開口部３３側に押し付ける力が働き、シール用
のゴム板３７が傾斜面３２に圧接され開口部は封止され
る。
（発明が解決しようとする問題点）
上記従来の技術では、シール弁は比較的しっかりと開口
部を封止することができるが、シール弁３４がストッパ
ー３６と摺擦して傾斜面を圧接する構造であるため、摺
擦により微細な塵あいを発生して真空容器内の清浄度を
劣化させるので、高度の清浄度を要求される作業の場合
には不具合であるという問題があった。
部を封止することができるが、シール弁３４がストッパ
ー３６と摺擦して傾斜面を圧接する構造であるため、摺
擦により微細な塵あいを発生して真空容器内の清浄度を
劣化させるので、高度の清浄度を要求される作業の場合
には不具合であるという問題があった。
（発明の目的）
本発明は、このような従来技術の問題点を解消し、微細
な塵あいの発生を防止することのできる真空容器のゲー
トバルブを得ることを目的とするものである。
な塵あいの発生を防止することのできる真空容器のゲー
トバルブを得ることを目的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
上記目的を達成するための手段は、真空容器を形成する
壁体と、壁体の内部に設けられた傾斜面と、傾斜面の一
部に設けられた開口部と、傾斜面に当接して開口部を封
止するシール弁と、シール弁を軸方向に移動させる駆動
軸と、シール弁と係合してシール弁を開口部方向へ傾動
させる傾動部材を有することを特徴とする真空容器のゲ
ートバルブである。
壁体と、壁体の内部に設けられた傾斜面と、傾斜面の一
部に設けられた開口部と、傾斜面に当接して開口部を封
止するシール弁と、シール弁を軸方向に移動させる駆動
軸と、シール弁と係合してシール弁を開口部方向へ傾動
させる傾動部材を有することを特徴とする真空容器のゲ
ートバルブである。
（作 用）
上記構成において、シール弁は駆動軸の軸方向の移動に
よって開口部を閉鎖するが、その移動の終端においてシ
ール弁は開口部に向かって傾動して傾斜面に押し付けら
れ、開口部を完全に封止する。シール弁は傾動によって
開口部を封止し、池の部材と摺動することがないので、
塵あいを発生することがない。
よって開口部を閉鎖するが、その移動の終端においてシ
ール弁は開口部に向かって傾動して傾斜面に押し付けら
れ、開口部を完全に封止する。シール弁は傾動によって
開口部を封止し、池の部材と摺動することがないので、
塵あいを発生することがない。
（実 施 例）
第１図乃至第３図に本発明の一実施例を示す。
第１図は該実施例の正面図、第２図と第３図は第１図の
Ａ−Ａ断面図で、第２図はバルブの開放状態、第３図は
その封止状態を示す図である。
Ａ−Ａ断面図で、第２図はバルブの開放状態、第３図は
その封止状態を示す図である。
１は真空容器を構成する壁体であり、シール弁４は該壁
体１の内部空間に収容されている。
体１の内部空間に収容されている。
該内部空間には傾斜面２が設けられ、該傾斜面２の一部
に通じる開口部３が設けられている。
に通じる開口部３が設けられている。
シール弁４は駆動軸５に支持ピン９で支持され、駆動軸
５の軸方向の運動により上下運動すると共に若干の首振
り運動を許容されている。
５の軸方向の運動により上下運動すると共に若干の首振
り運動を許容されている。
また、シール弁４の下端にはストッパー６に当接する当
接板７が取り付けられている。
接板７が取り付けられている。
ストッパー６には、その側面下端の開口部側に突起８が
設けられている。
設けられている。
このような構成であり、令弟２図の開放状態から駆動軸
の運動により、シール弁４が上昇するとシール弁４は開
口部３を覆うが、上昇運動の最終段階で当接板７がスト
ッパー６に設けられた突起８に当接すると、第３図に示
すようにシール弁４は傾斜面２に向かって傾動し、開口
部５に押し付けられ、開口部５は完全に封止される。
の運動により、シール弁４が上昇するとシール弁４は開
口部３を覆うが、上昇運動の最終段階で当接板７がスト
ッパー６に設けられた突起８に当接すると、第３図に示
すようにシール弁４は傾斜面２に向かって傾動し、開口
部５に押し付けられ、開口部５は完全に封止される。
１０はゴムなどの素材からなる弾性部材であり、シール
をより完全にするものである。
をより完全にするものである。
この例ではシール弁４を傾動させる傾動部材はストッパ
ー６に設けられた突起８とシール弁に設けられた当接板
７から成っているが、傾動部材はこのような方式に限ら
れず、例えば第４図に示すように突起１８を当接板１７
側に設けたり、必ずしも突起によらず、傾斜面を有する
部材を用いるなど任意の方法を採用できる。
ー６に設けられた突起８とシール弁に設けられた当接板
７から成っているが、傾動部材はこのような方式に限ら
れず、例えば第４図に示すように突起１８を当接板１７
側に設けたり、必ずしも突起によらず、傾斜面を有する
部材を用いるなど任意の方法を採用できる。
第４図の符号１１乃至２０は第１図〜第３図の１乃至１
０にそれぞれ対応する。このような構成によって、シー
ル弁の開閉に際し、各部材は当接するだけで相互に摺動
することがないので、摺擦による塵あいの発生を防止す
ることができる。
０にそれぞれ対応する。このような構成によって、シー
ル弁の開閉に際し、各部材は当接するだけで相互に摺動
することがないので、摺擦による塵あいの発生を防止す
ることができる。
（発明の効果）
以上実施例について説明したことから明らかな通り、本
発明のゲートバルブは部材間の摺擦がなく、簡単な構成
でありながら微細な塵あい等の発生を効果的に防止する
ことができるため、高度に清浄度を要求される真空容器
による作業に適するゲートバルブを安価に提供できると
いう優れた効果を有する。
発明のゲートバルブは部材間の摺擦がなく、簡単な構成
でありながら微細な塵あい等の発生を効果的に防止する
ことができるため、高度に清浄度を要求される真空容器
による作業に適するゲートバルブを安価に提供できると
いう優れた効果を有する。
第１図は本発明の実施例のゲートバルブの正面図、第２
図と第３図は第１図のＡ−Ａ断面図で第２図はバルブの
開放状態、第３図はバルブの封止状態を示す、第４図は
本発明の他の実施例の断面図、第５図は従来の真空容器
用ゲートバルブを示す断面図である。 １・・・・・・壁体、 ２・・・・・・傾斜面、３・・
・・・・開口部、４・・・・・・シール弁、 ５・・・
・・・駆動軸、 ６・・・・・・ストッパー、 ７・・
・・・・当接板、 ８・・・・・・突起、 ９・・・・
・・支持ビン、 １０・・・・・・弾性部材。 第４ 医 第 ６ 図
図と第３図は第１図のＡ−Ａ断面図で第２図はバルブの
開放状態、第３図はバルブの封止状態を示す、第４図は
本発明の他の実施例の断面図、第５図は従来の真空容器
用ゲートバルブを示す断面図である。 １・・・・・・壁体、 ２・・・・・・傾斜面、３・・
・・・・開口部、４・・・・・・シール弁、 ５・・・
・・・駆動軸、 ６・・・・・・ストッパー、 ７・・
・・・・当接板、 ８・・・・・・突起、 ９・・・・
・・支持ビン、 １０・・・・・・弾性部材。 第４ 医 第 ６ 図
Claims (1)
- 真空容器を形成する壁体と、壁体の内部に設けられた傾
斜面と、傾斜面の一部に設けられた開口部と、傾斜面に
当接して開口部を封止するシール弁と、シール弁を軸方
向に移動させる駆動軸と、シール弁と係合してシール弁
を開口部方向へ傾動させる傾動部材を有することを特徴
とする真空容器のゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61204552A JPH0670475B2 (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 | 真空容器のゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61204552A JPH0670475B2 (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 | 真空容器のゲートバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6362972A true JPS6362972A (ja) | 1988-03-19 |
| JPH0670475B2 JPH0670475B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=16492381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61204552A Expired - Lifetime JPH0670475B2 (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 | 真空容器のゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0670475B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114062401A (zh) * | 2021-12-20 | 2022-02-18 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种密封结构及扫描电镜 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5242050U (ja) * | 1975-09-19 | 1977-03-25 | ||
| JPS5740168A (en) * | 1980-07-30 | 1982-03-05 | Anelva Corp | Gate valve |
-
1986
- 1986-08-30 JP JP61204552A patent/JPH0670475B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5242050U (ja) * | 1975-09-19 | 1977-03-25 | ||
| JPS5740168A (en) * | 1980-07-30 | 1982-03-05 | Anelva Corp | Gate valve |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114062401A (zh) * | 2021-12-20 | 2022-02-18 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种密封结构及扫描电镜 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0670475B2 (ja) | 1994-09-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |