JPH0670475B2 - 真空容器のゲートバルブ - Google Patents
真空容器のゲートバルブInfo
- Publication number
- JPH0670475B2 JPH0670475B2 JP61204552A JP20455286A JPH0670475B2 JP H0670475 B2 JPH0670475 B2 JP H0670475B2 JP 61204552 A JP61204552 A JP 61204552A JP 20455286 A JP20455286 A JP 20455286A JP H0670475 B2 JPH0670475 B2 JP H0670475B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seal valve
- opening
- seal
- valve
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 10
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】 本発明は、真空容器を用いて作業をする場合に真空容器
と外部との遮断と連通を制御するゲートバルブに関し、
特に清浄度を要求される作業に於いて、バルブの動作に
より塵あいを発生することを防止する技術に関するもの
である。 （従来の技術） 従来の真空容器に用いるゲートバルブの構造を第５図に
示す。31は真空容器を構成する壁体であり、シール弁は
該壁体の内部空間に収容されるようになっている。該壁
体の内部空間には傾斜面32が設けられ、該傾斜面32の一
部に開口部33が設けられている。シール弁34は駆動軸35
の軸方向の運動により上下運動し、上昇するとシール弁
が傾斜面32に当接して開口部33を覆う。 36はストッパーで、その下端は一定角度の傾斜面となっ
ており、またシール弁の先端も同様の傾斜面を有してい
るので、更に駆動軸が上昇するとシール弁34の先端とス
トッパー36の下端の当接および摺動によりシール弁34を
開口部33側に押し付ける力が働き、シール用のゴム板37
が傾斜面32に圧接され開口部は封止される。 （発明が解決しようとする問題点） 上記従来の技術では、シール弁は比較的しっかりと開口
部を封止することができるが、シール弁34がストッパー
36と摺擦して傾斜面を圧接する構造であるため、摺擦に
より微細な塵あいを発生して真空容器内の清浄度を劣化
させたり、開口部33を通じて出し入れするIC基板等の上
に塵あいが落下したりするので、高度の清浄度を要求さ
れる作業の場合には不具合であるという問題があった。 （発明の目的） 本発明は、このような従来技術の問題点を解消し、微細
な塵あいの発生を防止することのできる真空容器のゲー
トバルブを得ることを目的とするものである。 （問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するための手段は、真空容器側壁体の外
側に厚味断面で見て斜め下方向きに設けられた傾斜面の
一部分に開口された真空容器内外貫通孔の開口部と、該
傾斜面に当接して開口部を封止するためのシール弁と、
該シール弁の下方にあってシール弁を開口部の封止・開
放のために下から上下に駆動する駆動軸と、前記シール
弁が前記傾斜面に対して上向き方向および下向き方向に
傾き回動が自在なようにシール弁と前記駆動軸を連結す
る傾き回動連結手段と、前記シール弁のシール面より下
の部分でシール弁に設けられた当接板と、前記側壁体に
設けられ、シール弁が封止のため上昇して来たときに前
記開口部より下の位置で、且つ前記傾き回動連結手段の
回動軸の位置よりも側壁体に近い位置で当接板に当接す
るストッパーと、を具備することを特徴とする真空容器
のゲートバルブである。 （作用） 上記構成において、シール弁は駆動軸の軸方向の移動に
よって開口部を閉鎖するが、その移動の終端においてシ
ール弁は開口部に向かって傾動して傾斜面に押し付けら
れ、開口部を完全に封止する。シール弁は傾動によって
開口部を封止し、他の部材と摺動することがないので、
塵あいを発生することがない。 また、開口部を通じて出し入れするIC基板等の被処理物
の上に塵埃が落下するということもない。 （実施例） 第１図乃至第３図に本発明の一実施例を示す。 第１図は該実施例の正面図、第２図と第３図は第１図の
Ａ−Ａ断面図で、第２図はバルブの開放状態、第３図は
その封止状態を示す図である。 １は真空容器を構成する壁体であり、シール弁４は該壁
体１の内部空間に収容されている。 該内部空間には斜め下向きの傾斜面２が設けられ、該傾
斜面２の一部に通じる開口部３が設けられている。 シール弁４は駆動軸５に支持ピン９で支持され、傾き回
動が自在なように連結されており、駆動軸５の軸方向の
運動により上下運動すると共に若干の傾き回動（首振り
運動）を許容されている。 また、シール弁４の下端にはストッパー６に当接する当
接板７が取り付けられている。 ストッパー６には、その側面下端の開口部側に突起８が
設けられている。 このような構成であり、今第２図の開放状態から駆動軸
の運動により、シール弁４が上昇するとシール弁４は開
口部３を覆うが、上昇運動の最終段階で当接板７がスト
ッパー６に設けられた突起８に当接すると、第３図に示
すようにシール弁４は傾斜面２に向かって傾動（傾き回
動）し、開口部５に押し付けられ、開口部５は完全に封
止される。 10はゴムなどの素材からなる弾性部材であり、シールを
より完全にするものである。 この例ではシール弁４の傾動はストッパー６に設けられ
た突起８がシール弁に設けられた当接板７に当接するこ
とにより行われているが、これに限られず、例えば第４
図に示すように突起18を当接板17側に設けたり、必ずし
も突起によらず、傾斜面を有する部材を用いるなど任意
の構造を採用できる。 第４図の符号11乃至20は第１図〜第３図の１乃至10にそ
れぞれ対応する。このような構成によって、シール弁の
開閉に際し、各部材は当接するけで相互に摺動すること
がないので、摺擦による塵あいの発生を防止することが
できる。 また、仮に、突起８と当接板７との当接や突起18とスト
ッパー16との当接や、シール弁と駆動軸との連結部の回
動等によって塵埃を生ずることがあったとしても、これ
らはいずれも開口部より下方でのことであるので、塵埃
が真空室へ侵入したり、IC基板等の被処理物上に落下し
たりするということはない。 （発明の効果） 以上実施例について説明したことから明らかな通り、本
発明のゲートバルブは部材間の摺擦がなく、また、当接
部分や回動部分が開口部より下方にあるため、簡単な構
成でありながら微細な塵あい等の発生、侵入を効果的に
防止することができるため、高度に清浄度を要求される
真空容器による作業に適するゲートバルブを安価に提供
できるという優れた効果を有する。
と外部との遮断と連通を制御するゲートバルブに関し、
特に清浄度を要求される作業に於いて、バルブの動作に
より塵あいを発生することを防止する技術に関するもの
である。 （従来の技術） 従来の真空容器に用いるゲートバルブの構造を第５図に
示す。31は真空容器を構成する壁体であり、シール弁は
該壁体の内部空間に収容されるようになっている。該壁
体の内部空間には傾斜面32が設けられ、該傾斜面32の一
部に開口部33が設けられている。シール弁34は駆動軸35
の軸方向の運動により上下運動し、上昇するとシール弁
が傾斜面32に当接して開口部33を覆う。 36はストッパーで、その下端は一定角度の傾斜面となっ
ており、またシール弁の先端も同様の傾斜面を有してい
るので、更に駆動軸が上昇するとシール弁34の先端とス
トッパー36の下端の当接および摺動によりシール弁34を
開口部33側に押し付ける力が働き、シール用のゴム板37
が傾斜面32に圧接され開口部は封止される。 （発明が解決しようとする問題点） 上記従来の技術では、シール弁は比較的しっかりと開口
部を封止することができるが、シール弁34がストッパー
36と摺擦して傾斜面を圧接する構造であるため、摺擦に
より微細な塵あいを発生して真空容器内の清浄度を劣化
させたり、開口部33を通じて出し入れするIC基板等の上
に塵あいが落下したりするので、高度の清浄度を要求さ
れる作業の場合には不具合であるという問題があった。 （発明の目的） 本発明は、このような従来技術の問題点を解消し、微細
な塵あいの発生を防止することのできる真空容器のゲー
トバルブを得ることを目的とするものである。 （問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するための手段は、真空容器側壁体の外
側に厚味断面で見て斜め下方向きに設けられた傾斜面の
一部分に開口された真空容器内外貫通孔の開口部と、該
傾斜面に当接して開口部を封止するためのシール弁と、
該シール弁の下方にあってシール弁を開口部の封止・開
放のために下から上下に駆動する駆動軸と、前記シール
弁が前記傾斜面に対して上向き方向および下向き方向に
傾き回動が自在なようにシール弁と前記駆動軸を連結す
る傾き回動連結手段と、前記シール弁のシール面より下
の部分でシール弁に設けられた当接板と、前記側壁体に
設けられ、シール弁が封止のため上昇して来たときに前
記開口部より下の位置で、且つ前記傾き回動連結手段の
回動軸の位置よりも側壁体に近い位置で当接板に当接す
るストッパーと、を具備することを特徴とする真空容器
のゲートバルブである。 （作用） 上記構成において、シール弁は駆動軸の軸方向の移動に
よって開口部を閉鎖するが、その移動の終端においてシ
ール弁は開口部に向かって傾動して傾斜面に押し付けら
れ、開口部を完全に封止する。シール弁は傾動によって
開口部を封止し、他の部材と摺動することがないので、
塵あいを発生することがない。 また、開口部を通じて出し入れするIC基板等の被処理物
の上に塵埃が落下するということもない。 （実施例） 第１図乃至第３図に本発明の一実施例を示す。 第１図は該実施例の正面図、第２図と第３図は第１図の
Ａ−Ａ断面図で、第２図はバルブの開放状態、第３図は
その封止状態を示す図である。 １は真空容器を構成する壁体であり、シール弁４は該壁
体１の内部空間に収容されている。 該内部空間には斜め下向きの傾斜面２が設けられ、該傾
斜面２の一部に通じる開口部３が設けられている。 シール弁４は駆動軸５に支持ピン９で支持され、傾き回
動が自在なように連結されており、駆動軸５の軸方向の
運動により上下運動すると共に若干の傾き回動（首振り
運動）を許容されている。 また、シール弁４の下端にはストッパー６に当接する当
接板７が取り付けられている。 ストッパー６には、その側面下端の開口部側に突起８が
設けられている。 このような構成であり、今第２図の開放状態から駆動軸
の運動により、シール弁４が上昇するとシール弁４は開
口部３を覆うが、上昇運動の最終段階で当接板７がスト
ッパー６に設けられた突起８に当接すると、第３図に示
すようにシール弁４は傾斜面２に向かって傾動（傾き回
動）し、開口部５に押し付けられ、開口部５は完全に封
止される。 10はゴムなどの素材からなる弾性部材であり、シールを
より完全にするものである。 この例ではシール弁４の傾動はストッパー６に設けられ
た突起８がシール弁に設けられた当接板７に当接するこ
とにより行われているが、これに限られず、例えば第４
図に示すように突起18を当接板17側に設けたり、必ずし
も突起によらず、傾斜面を有する部材を用いるなど任意
の構造を採用できる。 第４図の符号11乃至20は第１図〜第３図の１乃至10にそ
れぞれ対応する。このような構成によって、シール弁の
開閉に際し、各部材は当接するけで相互に摺動すること
がないので、摺擦による塵あいの発生を防止することが
できる。 また、仮に、突起８と当接板７との当接や突起18とスト
ッパー16との当接や、シール弁と駆動軸との連結部の回
動等によって塵埃を生ずることがあったとしても、これ
らはいずれも開口部より下方でのことであるので、塵埃
が真空室へ侵入したり、IC基板等の被処理物上に落下し
たりするということはない。 （発明の効果） 以上実施例について説明したことから明らかな通り、本
発明のゲートバルブは部材間の摺擦がなく、また、当接
部分や回動部分が開口部より下方にあるため、簡単な構
成でありながら微細な塵あい等の発生、侵入を効果的に
防止することができるため、高度に清浄度を要求される
真空容器による作業に適するゲートバルブを安価に提供
できるという優れた効果を有する。
第１図は本発明の実施例のゲートバルブの正面図、第２
図と第３図は第１図のＡ−Ａ断面図で第２図はバルブの
開放状態、第３図はバルブの封止状態を示す。第４図は
本発明の他の実施例の断面図、第５図は従来の真空容器
用ゲートバルブを示す断面図である。 １……壁体、２……傾斜面、３……開口部、４……シー
ル弁、５……駆動軸、６……ストッパー、７……当接
板、８……突起、９……支持ピン、10……弾性部材。
図と第３図は第１図のＡ−Ａ断面図で第２図はバルブの
開放状態、第３図はバルブの封止状態を示す。第４図は
本発明の他の実施例の断面図、第５図は従来の真空容器
用ゲートバルブを示す断面図である。 １……壁体、２……傾斜面、３……開口部、４……シー
ル弁、５……駆動軸、６……ストッパー、７……当接
板、８……突起、９……支持ピン、10……弾性部材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 信行 東京都府中市四谷５−８−１ 日電アネル バ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−40168（ＪＰ，Ａ) 実開 昭52−42050（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器側壁体の外側に厚味断面で見て斜
め下方向きに設けられた傾斜面の一部分に開口された真
空容器内外貫通孔の開口部と、該傾斜面に当接して開口
部を封止するためのシール弁と、該シール弁の下方にあ
ってシール弁を開口部の封止・開放のために下から上下
に駆動する駆動軸と、前記シール弁が前記傾斜面に対し
て上向き方向および下向き方向に傾き回動が自在なよう
にシール弁と前記駆動軸を連結する傾き回動連結手段
と、前記シール弁のシール面より下の部分でシール弁に
設けられた当接板と、前記側壁体に設けられ、シール弁
が封止のため上昇して来たときに前記開口部より下の位
置で、且つ前記傾き回動連結手段の回動軸の位置よりも
側壁体に近い位置で当接板に当接するストッパーと、を
具備することを特徴とする真空容器のゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61204552A JPH0670475B2 (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 | 真空容器のゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61204552A JPH0670475B2 (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 | 真空容器のゲートバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6362972A JPS6362972A (ja) | 1988-03-19 |
| JPH0670475B2 true JPH0670475B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=16492381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61204552A Expired - Lifetime JPH0670475B2 (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 | 真空容器のゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0670475B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114062401B (zh) * | 2021-12-20 | 2025-06-17 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种密封结构及扫描电镜 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5728393Y2 (ja) * | 1975-09-19 | 1982-06-21 | ||
| JPS5740168A (en) * | 1980-07-30 | 1982-03-05 | Anelva Corp | Gate valve |
-
1986
- 1986-08-30 JP JP61204552A patent/JPH0670475B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6362972A (ja) | 1988-03-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2958267B2 (ja) | 無摺動真空ゲートバルブ | |
| JPS60179573A (ja) | 止め弁 | |
| JPH0518411A (ja) | 球面滑り軸受 | |
| KR930003874B1 (ko) | 디스크의 회전구동장치 | |
| JPH0670475B2 (ja) | 真空容器のゲートバルブ | |
| US5551666A (en) | Butterfly flap valve | |
| JPH09184354A (ja) | ダンパー付蝶番構造 | |
| JPH09133170A (ja) | 回転ダンパ | |
| GB2182118A (en) | A butterfly valve | |
| JP2501023Y2 (ja) | マウス装置 | |
| JP2005336712A (ja) | 密閉扉およびその支持装置 | |
| JPH10280781A (ja) | Ｏａ機器用チルトヒンジ | |
| JP3286198B2 (ja) | 液体容器の栓構造 | |
| JPH0424515B2 (ja) | ||
| JP3491521B2 (ja) | 同期電動機の逆回転防止装置 | |
| JPH11141706A (ja) | ロータリーディスク弁 | |
| JPH04371746A (ja) | ダンパ装置 | |
| JP2507255B2 (ja) | ダンパ―ゲ―トの開閉装置 | |
| KR100302812B1 (ko) | 디턴트 스톱퍼 | |
| JP2001041330A (ja) | ゲートバルブ | |
| JPH0329863Y2 (ja) | ||
| JPH0240249A (ja) | 遠心分離機のスライドドア機構 | |
| JP2558585Y2 (ja) | パッキン | |
| JPS6243926Y2 (ja) | ||
| JP2000128205A (ja) | 容器の蓋開閉装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |