JPH01132946U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01132946U JPH01132946U JP2541588U JP2541588U JPH01132946U JP H01132946 U JPH01132946 U JP H01132946U JP 2541588 U JP2541588 U JP 2541588U JP 2541588 U JP2541588 U JP 2541588U JP H01132946 U JPH01132946 U JP H01132946U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- space
- diaphragm
- seal
- differential pressure
- seal diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例に係る差圧伝送器の
使用状態を示す概略構成図、第２図は、動作状態
を説明する要部の断面図、第３図は、第２図の要
部の拡大図、第４図は、従来例を示す要部の拡大
図である。 ４…本体、７…センターダイアフラム、８…セ
ンサとしてのシリコンダイアフラム、９…第１の
シールダイアフラム、１１…第２のシールダイア
フラム、１３…第１の連通孔、１４…第２の連通
孔、１７，１８…多孔体としての焼結金属、Ｓ１
…第１の空間、Ｓ２…第２の空間、Ｆ１…第１の
バツクアツプ面、Ｆ２…第２のバツクアツプ面。
使用状態を示す概略構成図、第２図は、動作状態
を説明する要部の断面図、第３図は、第２図の要
部の拡大図、第４図は、従来例を示す要部の拡大
図である。 ４…本体、７…センターダイアフラム、８…セ
ンサとしてのシリコンダイアフラム、９…第１の
シールダイアフラム、１１…第２のシールダイア
フラム、１３…第１の連通孔、１４…第２の連通
孔、１７，１８…多孔体としての焼結金属、Ｓ１
…第１の空間、Ｓ２…第２の空間、Ｆ１…第１の
バツクアツプ面、Ｆ２…第２のバツクアツプ面。
Claims (1)
- 本体内に設けたセンターダイアフラムの両側に
設けられて封入液が封入された第１および第２の
空間と、第１の外部流体の圧力を受ける第１のシ
ールダイアフラムと、第２の外部流体の圧力を受
ける第２のシールダイアフラムと、前記本体に形
成され前記第１おびび第２のシールダイアフラム
をそれぞれ受け止めて封入液の設定以上の移動を
阻止する第１および第２のバツクアツプ面と、前
記第１のシールダイアフラムと第１のバツクアツ
プ面とで形成される空間と前記第１の空間とを連
通する第１の連通孔と、前記第２のシールダイア
フラムと第２のバツクアツプ面とで形成される空
間と前記第２の空間とを連通する第２の連通孔と
、前記第１および第２の空間の圧力差を検出する
センサとを備えた差圧伝送器において、前記第１
および第２の連通孔それぞれの第１および第２の
バツクアツプ面側箇所に多孔体を設け、かつ、そ
の多孔体の第１および第２のバツクアツプ面側の
端面を、第１および第２のバツクアツプ面に連な
る面に形成したことを特徴とする差圧伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2541588U JPH01132946U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2541588U JPH01132946U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01132946U true JPH01132946U (ja) | 1989-09-11 |
Family
ID=31246132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2541588U Pending JPH01132946U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01132946U (ja) |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP2541588U patent/JPH01132946U/ja active Pending
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