JPS6363784A - 薄膜螢光体 - Google Patents
薄膜螢光体Info
- Publication number
- JPS6363784A JPS6363784A JP20801686A JP20801686A JPS6363784A JP S6363784 A JPS6363784 A JP S6363784A JP 20801686 A JP20801686 A JP 20801686A JP 20801686 A JP20801686 A JP 20801686A JP S6363784 A JPS6363784 A JP S6363784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- phosphor
- formula
- film phosphor
- earth metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)
- Radiography Using Non-Light Waves (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔１既 要〕
本発明は、特にデジタルＸ線画像システム用色３いて有
利に使用することができる、Ｘ線画像を電気信号に変換
するための薄膜螢光体に関する。木発明の薄膜螢光体は
、連続した薄膜の形で形成された螢光体からなりかっこ
の薄膜は好ましくは真空１着法によって形成されている
ので、画像の分解能を高め、製造工程の簡略化を実施す
ることができる。
利に使用することができる、Ｘ線画像を電気信号に変換
するための薄膜螢光体に関する。木発明の薄膜螢光体は
、連続した薄膜の形で形成された螢光体からなりかっこ
の薄膜は好ましくは真空１着法によって形成されている
ので、画像の分解能を高め、製造工程の簡略化を実施す
ることができる。
本発明は薄膜螢光体に関する。本発明は、さらに詳しく
述べると、特にデジタルＸ線画像システムにおいて有利
に使用することができる放射線画像変換用薄膜螢光体に
関する。本発明の薄膜螢光体は、医療及び工業の両分野
において有用である。
述べると、特にデジタルＸ線画像システムにおいて有利
に使用することができる放射線画像変換用薄膜螢光体に
関する。本発明の薄膜螢光体は、医療及び工業の両分野
において有用である。
［従来の技術］
デジタル放射線画像システムと、そのための放射線画像
変換方法は、数年はど前から活発に研究され、特許文献
等にもしばしば見い出すことが出来る（特開昭５５−１
２１４３号公報、特開昭６０−８４３８１号公報、特開
昭６０−８４３８２号公報、等を参照されたい）。
変換方法は、数年はど前から活発に研究され、特許文献
等にもしばしば見い出すことが出来る（特開昭５５−１
２１４３号公報、特開昭６０−８４３８１号公報、特開
昭６０−８４３８２号公報、等を参照されたい）。
この方法は、通常、被写体の透過等によって形成された
像状放射線（Ｘ線、電子線、紫外線等）を特定の輝尽発
光特性を有する物質に照射し、さらにこの発光体に選ら
ばれた波長領域の電磁波を照射して発光体中の蓄積放射
線エネルギーを励起し、よって、この放射線エネルギー
を発光として像状に放出させることからなっている。こ
の像状発光は、例えば、常用の光電変換装置を用いて電
気信号に変え、さらにこの電気信号を処理して画像に変
えることができる。この方法によれば、例えば、従来の
ラジオグラフィーに比較して著しく少ない被曝量をもっ
てより鮮明な画像を得ることができる。
像状放射線（Ｘ線、電子線、紫外線等）を特定の輝尽発
光特性を有する物質に照射し、さらにこの発光体に選ら
ばれた波長領域の電磁波を照射して発光体中の蓄積放射
線エネルギーを励起し、よって、この放射線エネルギー
を発光として像状に放出させることからなっている。こ
の像状発光は、例えば、常用の光電変換装置を用いて電
気信号に変え、さらにこの電気信号を処理して画像に変
えることができる。この方法によれば、例えば、従来の
ラジオグラフィーに比較して著しく少ない被曝量をもっ
てより鮮明な画像を得ることができる。
最近普及しはじめてきたこのＸ線等の画像の診断システ
ムではあるが、医療の分野においては、早期治療のため
に微細患部の早期発見が、また、工業の分野においては
、精密装置などの微小欠陥の検出が、それぞれ要求され
ており、それ故、Ｘ線画像の高分解能化が必要とされて
いる。また、従来のデジタルＸ線画像システムに用いる
、Ｘ線画像を電気信号に変換する螢光体の製造方法は、
極めて複雑であり、工程の簡略化が必要とされている。
ムではあるが、医療の分野においては、早期治療のため
に微細患部の早期発見が、また、工業の分野においては
、精密装置などの微小欠陥の検出が、それぞれ要求され
ており、それ故、Ｘ線画像の高分解能化が必要とされて
いる。また、従来のデジタルＸ線画像システムに用いる
、Ｘ線画像を電気信号に変換する螢光体の製造方法は、
極めて複雑であり、工程の簡略化が必要とされている。
従来のデジタルＸ線画像システムに用いる螢光体は、原
料の混合、粉砕、乾燥、焼成により製造された微細な螢
光体粒子を、有機樹脂バインダ中に分散させ、塗布する
ことにより製造されており、したがって、螢光体粒子を
分散状態で含有支持するバインダからなる螢光体層の構
造を有している。
料の混合、粉砕、乾燥、焼成により製造された微細な螢
光体粒子を、有機樹脂バインダ中に分散させ、塗布する
ことにより製造されており、したがって、螢光体粒子を
分散状態で含有支持するバインダからなる螢光体層の構
造を有している。
すなわち、従来のＸ線画像変換用螢光体は、極めて繁雑
な製造工程を経て製造されるばかりでなく、螢光体粒子
を有機樹脂バインダ中に分散させた構造であるため、画
像の分解能は通常１００μｍ、良くても数ｌＯμｍが限
界であった。医療の分野、そして特に工業の分野では、
数μｍのオーダーの画像分解能が望ましい。
な製造工程を経て製造されるばかりでなく、螢光体粒子
を有機樹脂バインダ中に分散させた構造であるため、画
像の分解能は通常１００μｍ、良くても数ｌＯμｍが限
界であった。医療の分野、そして特に工業の分野では、
数μｍのオーダーの画像分解能が望ましい。
本発明者らは、二価ユーロピウム賦活アルカリ土類金属
弗化ハロゲン化物の連続した膜からなる薄膜螢光体によ
って上述の問題点を解決し得るということを、見い出し
た。
弗化ハロゲン化物の連続した膜からなる薄膜螢光体によ
って上述の問題点を解決し得るということを、見い出し
た。
本発明において連続膜として形成される二価のユーロピ
ウム賦活アルカリ土類金属弗化ハロゲン化物は、次式： ％式％： （上式において、 Ｒは同一もしくは異なっていてもよくかっ、それぞれ、
Ｃａ、Ｓｒ又はＢａを表わし、ＸはＣＩ、Ｂｒ又はＩを
表わし、 ａは０．２≦ａ≦５の範囲に含まれ、そしてｂハ１０−
’≦ｂ≦０．３の範囲に含まれる）により表わされる。
ウム賦活アルカリ土類金属弗化ハロゲン化物は、次式： ％式％： （上式において、 Ｒは同一もしくは異なっていてもよくかっ、それぞれ、
Ｃａ、Ｓｒ又はＢａを表わし、ＸはＣＩ、Ｂｒ又はＩを
表わし、 ａは０．２≦ａ≦５の範囲に含まれ、そしてｂハ１０−
’≦ｂ≦０．３の範囲に含まれる）により表わされる。
上記のような一般式によって表わされる連続膜形成性化
合物は、好ましくは、ＢａＦ２・ａＢａＢｒｚ ：ｂＥ
ｕ”（０，５≦ａ≦３．６Ｘ１０−’≦ｂ≦９Ｘ１０−
”）などである。
合物は、好ましくは、ＢａＦ２・ａＢａＢｒｚ ：ｂＥ
ｕ”（０，５≦ａ≦３．６Ｘ１０−’≦ｂ≦９Ｘ１０−
”）などである。
本発明者らは、真空蒸着法により、二価ユーロピウム賦
活アルカリ土類金属弗化ハロゲン化物の連続膜を有利に
形成し得るということも見い出した。真空蒸着法を実施
するに当っては、次式：％式％： （式中のＲ，Ｘ、ａ及びｂは前記定義に同じである）に
より表わされる化合物あるいは、次式：％式％ （式中のＲ及びＸは前記定義に同じである）により表わ
される化合物の混合物を蒸発源の原料として使用するの
が好ましい、また、真空蒸着中に、前記連続膜が被着さ
れるべき基板を２００〜６００℃の温度まで加熱するの
が好ましい、さらに、必要に応じて、真空蒸着法に代え
てスパッタリング等の手法を使用することによって、螢
光体の連続薄膜を形成することもできる。
活アルカリ土類金属弗化ハロゲン化物の連続膜を有利に
形成し得るということも見い出した。真空蒸着法を実施
するに当っては、次式：％式％： （式中のＲ，Ｘ、ａ及びｂは前記定義に同じである）に
より表わされる化合物あるいは、次式：％式％ （式中のＲ及びＸは前記定義に同じである）により表わ
される化合物の混合物を蒸発源の原料として使用するの
が好ましい、また、真空蒸着中に、前記連続膜が被着さ
れるべき基板を２００〜６００℃の温度まで加熱するの
が好ましい、さらに、必要に応じて、真空蒸着法に代え
てスパッタリング等の手法を使用することによって、螢
光体の連続薄膜を形成することもできる。
本発明の薄膜螢光体は、真空蒸着法によって製造される
ため、従来の螢光体のように有機樹脂バインダを含むこ
とがなく、したがって、均一で連続な構造となっている
。従来の螢光体が微粉末状螢光体の離散した集合体であ
ったのに対して、完全な連続体を形成している。
ため、従来の螢光体のように有機樹脂バインダを含むこ
とがなく、したがって、均一で連続な構造となっている
。従来の螢光体が微粉末状螢光体の離散した集合体であ
ったのに対して、完全な連続体を形成している。
本発明をその一実施例について以下に説明する土−」２
１７５．３４ ｇのＢａＦｉ 、２９７．１５ｇのＢａ
Ｂｒｚ及び０．１ｇのＥｕＢｒ３ ・５８１０を３５０
ｇの温水に溶解し、混合した。得られた混合物を蒸発
乾個し、空気中で５００〜９００℃の温度で３０分間に
わたって焼成し、さらにその後、水素ガスフロー中で８
００〜１０００℃の温度で３０分間にわたって還元焼成
した。白色のＢａＦＢｒ ： Ｅｕ”粉末が得られた。
Ｂｒｚ及び０．１ｇのＥｕＢｒ３ ・５８１０を３５０
ｇの温水に溶解し、混合した。得られた混合物を蒸発
乾個し、空気中で５００〜９００℃の温度で３０分間に
わたって焼成し、さらにその後、水素ガスフロー中で８
００〜１０００℃の温度で３０分間にわたって還元焼成
した。白色のＢａＦＢｒ ： Ｅｕ”粉末が得られた。
上記とは別に、蒸着源の原料として使用するため、Ｂａ
Ｆｇ 、 ＢａＢｒｚ及びＥｕＢｒｚからなる混合物を
用意した。
Ｆｇ 、 ＢａＢｒｚ及びＥｕＢｒｚからなる混合物を
用意した。
これらの蒸発源原料を、それぞれ、適当な金型に装填し
て圧力をかけ、圧粉体ペレットを作った。
て圧力をかけ、圧粉体ペレットを作った。
次いで、真空容器内に、上記ペレットと、該ペレットの
上方に石英（ＳｉＯ□）ガラス又は保谷硝子■製のＮＡ
４０（商品名）の基板を置いた。まず真空容器内を１０
−６〜１０− ’Ｔｏｒｒの真空に引き、次に電子線を
次第に強く原料ペレットに照射して蒸発させ、上記の基
板に付着させた。この真空蒸着の間、タングステンヒー
タにより基板の加熱を実施した。
上方に石英（ＳｉＯ□）ガラス又は保谷硝子■製のＮＡ
４０（商品名）の基板を置いた。まず真空容器内を１０
−６〜１０− ’Ｔｏｒｒの真空に引き、次に電子線を
次第に強く原料ペレットに照射して蒸発させ、上記の基
板に付着させた。この真空蒸着の間、タングステンヒー
タにより基板の加熱を実施した。
蒸着レートは、はぼ１５〜２０ｎａ＋／ｗｉｎであった
。適用した種々の条件を次の第１表にまとめて示す。
。適用した種々の条件を次の第１表にまとめて示す。
以下余白
第」二聚
１ ３００〜４００ ５ｉｆｔ ＢａＦＢｒ：Ｅ
ｕ” ０．１ ６０２ ３００〜４００
ＮＡ４０ ＢａＦＢｒ：Ｅｕ” ０．１
２５３ ２００〜３００ Ｓｉｎｇ
ＢａＦＢｒ：Ｅｕ” ０．１ １００４
２００〜３００ ＮＡ４０ ＢａＦＢｒ：Ｅｕ”
０．１ ５５上記のようにして調製した
膜厚２〜３μｍの薄膜螢光体は良好な輝尽螢光体となっ
ていることが、次の実験によって判明した。すなわち、
得られた薄膜螢光体にＮ２レーザ光を照射して後、Ｈｅ
−Ｎｅレーザ光又は分光された単色光を照射したとこ
ろ、輝尽光が発光することが確かめられた。これは、焼
成によって作られた螢光体粉末と同じ発光波長を示す。
ｕ” ０．１ ６０２ ３００〜４００
ＮＡ４０ ＢａＦＢｒ：Ｅｕ” ０．１
２５３ ２００〜３００ Ｓｉｎｇ
ＢａＦＢｒ：Ｅｕ” ０．１ １００４
２００〜３００ ＮＡ４０ ＢａＦＢｒ：Ｅｕ”
０．１ ５５上記のようにして調製した
膜厚２〜３μｍの薄膜螢光体は良好な輝尽螢光体となっ
ていることが、次の実験によって判明した。すなわち、
得られた薄膜螢光体にＮ２レーザ光を照射して後、Ｈｅ
−Ｎｅレーザ光又は分光された単色光を照射したとこ
ろ、輝尽光が発光することが確かめられた。これは、焼
成によって作られた螢光体粉末と同じ発光波長を示す。
第１図及び第２図は、それぞれ、これらの結果を輝尽発
光スペクトル聞及び輝尽励起スペクトル図として示した
ものである。なお、上記第１表の輝尽発光強度の欄は、
実用的に重要なＨｅ−Ｎｅレーザ光で励起した場合の輝
尽発光強度の相対値である。
光スペクトル聞及び輝尽励起スペクトル図として示した
ものである。なお、上記第１表の輝尽発光強度の欄は、
実用的に重要なＨｅ−Ｎｅレーザ光で励起した場合の輝
尽発光強度の相対値である。
これらの結果を総合するに、本例で調製した薄膜螢光体
は、Ｘ′！ａ像を可視像に変更する用途に使用するのに
十分な特性を有することが判明した。
は、Ｘ′！ａ像を可視像に変更する用途に使用するのに
十分な特性を有することが判明した。
さらに、この薄膜螢光体を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）
によって調べたところ、予想されたように、螢光体は粒
径０．５μｍ以下の結晶粒子からなる微細な結晶粒子の
連続体であることが判った。
によって調べたところ、予想されたように、螢光体は粒
径０．５μｍ以下の結晶粒子からなる微細な結晶粒子の
連続体であることが判った。
本例の薄膜螢光体の表面の結晶粒子構造を示す３２Ｍ写
真（Ｘ ２．０００）を第３図に示す。これにより、１
μｍ以下に絞ったレーザ光に対しても十分に満足し得る
Ｓ ／ Ｎ比で輝尽発光を生じることが証明された。つ
まり、ＸｖＡ画像変換用として使用する時、本発明の薄
膜螢光体は従来のものの１０倍以上の分解能を有するこ
とが判った。
真（Ｘ ２．０００）を第３図に示す。これにより、１
μｍ以下に絞ったレーザ光に対しても十分に満足し得る
Ｓ ／ Ｎ比で輝尽発光を生じることが証明された。つ
まり、ＸｖＡ画像変換用として使用する時、本発明の薄
膜螢光体は従来のものの１０倍以上の分解能を有するこ
とが判った。
蒸発源の原料として化合物ＢａＦ、 ・ａＢａＢｒ、
： Ｅｕ”を使用する場合について前記例１の手法を繰
り返し、但し、本例の場合、ＢａＦ、とＢａＢｒ、の比
ａを変更することによって、原料組成比ａ値と相対輝尽
発光強度との関係をもとめた。第４図に示すような相関
図がプロットされた。
： Ｅｕ”を使用する場合について前記例１の手法を繰
り返し、但し、本例の場合、ＢａＦ、とＢａＢｒ、の比
ａを変更することによって、原料組成比ａ値と相対輝尽
発光強度との関係をもとめた。第４図に示すような相関
図がプロットされた。
第４図は、本例の薄膜螢光体の場合、はぼａ＝１付近を
発光強度の極大としており、但し、０．２≦ａ≦５の範
囲でも十分に実用性があることを示している。つまり、
本発明の薄膜螢光体は螢光体の組成の変動に対してもマ
ージンが広いということが判る。
発光強度の極大としており、但し、０．２≦ａ≦５の範
囲でも十分に実用性があることを示している。つまり、
本発明の薄膜螢光体は螢光体の組成の変動に対してもマ
ージンが広いということが判る。
本発明によれば、莫着成膜法を用いることにより、Ｘ線
画像の高分解能化、螢光体層の薄膜及び均一化、製造工
程の簡略化、などが可能な薄膜螢光体を提供することが
できる。
画像の高分解能化、螢光体層の薄膜及び均一化、製造工
程の簡略化、などが可能な薄膜螢光体を提供することが
できる。
第１図は、本発明で用いられる螢光体の輝尽発光スペク
トル図、 第２図は、第１図の螢光体の輝尽励起スペクトル図、
トル図、 第２図は、第１図の螢光体の輝尽励起スペクトル図、
Claims (7)
- １．二価ユーロピウム賦活アルカリ土類金属弗化ハロゲ
ン化物の連続膜である、薄膜螢光体。 - ２．前記二価ユーロピウム賦活アルカリ土類金属弗化ハ
ロゲン化物が次式： ＲＦ＿２・ａＲＸ＿２：ｂＥｕ＾２＾＋ （上式において、 Ｒは同一もしくは異なっていてもよくかつ、それぞれ、
Ｃａ，Ｓｒ又はＢａを表わし、 ＸはＣｌ，Ｂｒ又はＩを表わし、 ａは０．２≦ａ≦５の範囲に含まれ、そしてｂは１０＾
−＾４≦ｂ≦０．３の範囲に含まれる）により表わされ
る、特許請求の範囲第１項に記載の薄膜螢光体。 - ３．真空蒸着法によって連続膜を形成した、特許請求の
範囲第２項に記載の薄膜螢光体。 - ４．次式：ＲＦ＿２・ａＲＸ＿２：ｂＥｕ＾２＾＋（式
中のＲ，Ｘ，ａ及びｂは前記定義に同じである）により
表わされる化合物を蒸発源の原料として使用した、特許
請求の範囲第３項に記載の薄膜螢光体。 - ５．次式：ＲＦ＿２，ＲＸ＿２及びＥｕＸ＿２（式中の
Ｒ及びＸは前記定義に同じである）により表わされる化
合物の混合物を蒸発源の原料として使用した、特許請求
の範囲第３項に記載の薄膜螢光体。 - ６．真空蒸着中に、前記連続膜が被着されるべき基板を
２００〜６００℃の温度まで加熱した、特許請求の範囲
第３項に記載の薄膜螢光体。 - ７．デジタルＸ線画像システム用である、特許請求の範
囲第１項〜第６項のいずれか１項に記載の薄膜螢光体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20801686A JPS6363784A (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 | 薄膜螢光体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20801686A JPS6363784A (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 | 薄膜螢光体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6363784A true JPS6363784A (ja) | 1988-03-22 |
| JPH0346517B2 JPH0346517B2 (ja) | 1991-07-16 |
Family
ID=16549279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20801686A Granted JPS6363784A (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 | 薄膜螢光体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6363784A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010004576A1 (de) | 2009-05-22 | 2010-12-02 | Mitsubishi Electric Corp. | Fahrzeugsteuervorrichtung |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5270784A (en) * | 1976-12-16 | 1977-06-13 | Toshiba Corp | Fluorescent screen |
| JPS6173100A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-15 | コニカ株式会社 | 放射線画像情報読取装置 |
| JPS61196365A (ja) * | 1985-02-27 | 1986-08-30 | Fujitsu Ltd | クレジツトオ−サライゼ−シヨン方式 |
-
1986
- 1986-09-05 JP JP20801686A patent/JPS6363784A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5270784A (en) * | 1976-12-16 | 1977-06-13 | Toshiba Corp | Fluorescent screen |
| JPS6173100A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-15 | コニカ株式会社 | 放射線画像情報読取装置 |
| JPS61196365A (ja) * | 1985-02-27 | 1986-08-30 | Fujitsu Ltd | クレジツトオ−サライゼ−シヨン方式 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010004576A1 (de) | 2009-05-22 | 2010-12-02 | Mitsubishi Electric Corp. | Fahrzeugsteuervorrichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0346517B2 (ja) | 1991-07-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1203394B1 (en) | METHOD FOR PREPARING A CsX PHOTOSTIMULABLE PHOSPHOR AND PHOSPHORS THEREFROM | |
| US6730243B2 (en) | Cesium halide storage phosphor with narrow emission spectrum upon UV-excitation | |
| US6899962B2 (en) | Europium activated cesium bromide phosphor and radiation image storage sheet | |
| EP1217633B1 (en) | A cesium bromide storage phosphor with narrow emission spectrum upon UV-excitation | |
| JPH07233369A (ja) | １４面体型希土類賦活アルカリ土類金属弗化ハロゲン化物系輝尽性蛍光体、その製造法、および放射線像変換パネル | |
| Wang et al. | Te 4+-doped Cs 2 SnCl 6 scintillator for flexible and efficient X-ray imaging screens | |
| JPS6363784A (ja) | 薄膜螢光体 | |
| JP2002020742A (ja) | アルカリハライド系蛍光体および放射線像変換パネル | |
| JP3813794B2 (ja) | アルカリハライド系蛍光体および放射線像変換パネル | |
| JPH05249298A (ja) | 放射線画像変換パネル | |
| JP3967916B2 (ja) | Ｕｖ励起で狭い発光スペクトルを有するハロゲン化セシウム貯蔵燐光体の製造方法 | |
| JPH11106748A (ja) | １４面体型希土類付活アルカリ土類金属弗化ハロゲン化物系蛍光体の製造方法 | |
| JP2727273B2 (ja) | 蛍光体および放射線像変換パネル | |
| JP2003028996A (ja) | 放射線像変換パネルの製造方法 | |
| JP2002296398A (ja) | 放射線像変換パネルの製造方法 | |
| JPH06158041A (ja) | 蛍光体の製造方法及び蛍光体を使用したｘ線画像変換パネル | |
| JP2757882B2 (ja) | 輝尽性蛍光体 | |
| JP2004245640A (ja) | 放射線像変換パネル | |
| BE818375Q (fr) | Convertisseur d'images de rayons-x | |
| JPH04283289A (ja) | 輝尽性蛍光体の製造方法 | |
| JPH05230452A (ja) | ハロゲン化物蛍光体の製造方法およびそれにより製造された蛍光体およびそれを用いたｘ線画像変換シート | |
| WO2007058022A1 (ja) | 放射線用シンチレータプレート | |
| JPH04126791A (ja) | 輝尽性蛍光体およびｘ線画像変換シート | |
| JP2006010617A (ja) | 放射線変換パネルの製造方法とその製造装置 | |
| JPH07157755A (ja) | 蛍光体の製造方法 |