JPS6364010A - レ−ザ−光反射体支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、レーザー測長システムで位置を計測する方法
をくみこんだレーザー光反射体支持装置に関する。

（従来の技術） 高精度な位置決めを行なう微小移動テーブル等の移動量
をレーザ干渉計の高分解能を利用して測定する場合、そ
の基準となるレーザー光反射体（ミラー）とその支持、
取付けには細心の注意を払う必要がある。

従来のレーザー光反射体支持装置を第７図に示す。被位
置決め用のテーブル２１の移動軸（Ｘ軸）に対して、発
光素子、受光素子を備えた光源２２からのレーザー光２
５が平行に反射するようにレーザー光反射体２３を支持
する必要がある。このため、レーザー光反射体２３の単
品での精度、つまり反射面２３ａの平面度はもとより、
レーザー光反射体２３の取り付け１５度が高精度に要求
されている。

従来の取り付は調整方法は、レーザー光反射体２３を支
持体２４及び押さえ板２８で支持固定し。

支持体２４に設けられた長穴２６とねじ２７で支持体２
４が移動できるようになっている。つまり。

ねじ２７を緩めることにより支持体２４をわずかに移動
させて直交度等を微調整していた。

ところで、このようなレーザー光反射体２３の位置調整
にはサブミクロンの超微調整も必要であり、支持体２４
を移動させるものでは微調整が困難であった。

（発明が解決しようとする問題点） 上述したように従来のレーザー光反射体支持装置にあっ
ては、レーザー光反射体を支持する支持体全体を移動さ
せて微調整を行なっていたため精密な位置合せが困難で
あった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的と
するところは、レーザー光反射体の高精度な取付けを簡
単に行なえるレーザー光反射体支持装置を提供すること
にある。

〔発明の構成〕 （問題点を解決するための手段） 本発明のレーザー光反射体支持装置においては、レーザ
ー光反射体をほぼ点で支持する支持手段を設けこの支持
手段を調整ねじで移動可能とし調整ねじの軸方向に力を
作用させる弾性体を組込んでいる。

（作用） このように構成されたものにあっては、調整ねじに弾性
力が作用してバックラッシュが生じないため精密な位置
調整が可能となる。また、はぼ点でレーザー光反射体を
支持しているため曲げ力が働かないと共に反射体の平行
度を高精度に管理する必要がなくなる。

（実施例） 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。第１図
、第２図及び第３図に示すように移動案内１により一方
向に移動する移動テーブル３上に試料４が載置され、更
に鏡体５のついているレーザー光反射体６を、例えばゴ
ムパッド等の弾性体１３を介して固定板１４．１５にて
各々側面及び上面を固定している。さらに固定板１６に
鋼球１１を収納した構造で板バネ１２で鋼球１１を押え
つけている。そして調整ネジ１０で鋼球１１を押す事に
より、板バネ１２を弾性変形させて微少移動が可能とな
っている。但し、鋼球１１の反対面（対向側）には固定
板８を介して先端が半球状に形成された押えネジ９を配
置して鋼球１１の位置決めと対応させてレーザー光反射
体６（鏡体５）を押さえている。それらの機構をそれぞ
れレーザー光反射体６の両端に配置して各々の位置で移
動テーブル３の移動方向に対しての傾き微調整が可能と
なっている。特に、鋼球１１．板バネ１２及び調整ネジ
１０の組合せによりネジのバックラッシュが無くなりサ
ブミクロンの微調整が可能となる。

第４図は他の実施例を示す部分断面側面図であり、第１
図から第３図と同一部分若しくは相当する部分には同一
符号を付してその説明は省略する。

この実施例においては、レーザー光反射体６を先端が半
球状に形成された微調整用ネジ１７とこれと対向位置に
ばね１９を介して配置されるプランジャー１８で支持し
ている。プランジャー１８の先端も半球状に形成されて
おり、ばね１９により常にレーザー光反射体６を微調整
用ネジ１７に押しつける働きをしている。このため前述
の実施例と同様に微調整用ネジ１７のバックラッシュが
防止できサブミクロンの精密な位置合せが可能である。

第５図は変形例を示すもので、本発明をＸ軸。

Ｙ軸方向に移動可能な２次元のテーブルに応用した例を
示す。第１図から第３図さ同一の支持装置及びレーザー
光反射体６をＸ軸、Ｙ軸方向に直−交配室している。第
１図から第３図と構成が同じものなので説明は省略する
が、このようにレーザー光反射体６を直交配置するには
、特に本発明のサブミクロンの微調整効果が期待できる
。なお、レーザー光反射体６は、このように単品で直交
配置させてもよいが、あらかじめ、２次元テーブル用に
製作されたＬ形反射体でもよい。Ｌ形のレーザー光反射
体にも当然不発明を適用することができる。

第６図は本発明のさらに他の変形例である。第１図から
第３図と同一部分若しくは相当する部分には同一符号を
付して説明は省略する。この変形例は第７図に示す従来
例に本発明を応用したものであり、長大２６に係合する
ねじ２７により移動可能な支持体２４に本発明の調整ネ
ジ１０、鋼球１１、板バネ１２を組込んでいる。このよ
うに構成することにより、ねじ２７を緩めて支持体２４
を移動させてレーザー光反射体６の粗位置合せを行なっ
た後に、調整ネジ１０で微調整を行なうようにすれば調
整が楽になると共に、構成部品の形状精度が多少悪くと
も調整範囲が広く、かつ精密となる。

また本発明ではレーザー光反射体を点で支持するように
したため、圧縮力のみが働き、曲げ力は働かないためレ
ーザー光反射体の平面度を損なうことがないと共にこれ
らの裏作精度の影響をうけにくい利点を有する。

なお、上述の実施例においては、レーザー光反射体６を
鋼球１１又は先端が半球状のねじ等により支持したがピ
ボットのようなもので支持したり、調整ネジと鋼球を一
体に形成してもよい。さらに弾性体の力を調整ネジの軸
に沿った方向に（一方向には限定されない）作用させて
バックラッシュを防ぐようならば上述のばね以外のもの
を用いてもよい。

このように本発明はその要旨を逸脱しない範囲において
種々変形して用いることができるう〔発明の効果〕 以上詳述してきたように本発明によればレーザー光反射
体の精密な位置合せ、取り付けが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図から第３図は、本発明のレーザー光反射体支持装
置の一実施例を示す部分断面側面図、平面図及び正面図
、第４図は１本発明の他の実施例を示す部分断面側面図
、第５０と第６図は、本発明に係る変形例を示す平面図
、第７図は、従来のレーザー光反射体支持装置を示す平
面図及び正面図である。 ３・・・移動テーブル（被位置決め体）、６・・・レー
ザー光反射体、８・・・固定板（固定台）、９・・・押
えネジ（対向支持手段）、１０・・・調整ネジ、１１・
・・鋼球（支持手段）、１２・・・板バネ（弾性体）、
１６・・・固定板（固定台）。 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　　　竹　花　喜久男 第１図 第２図　　　　　　第８図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザー光反射体と、このレーザー光反射体が取
   り付けられる被位置決め体と、この被位置決め体に前記
   レーザー光反射体を支持固定するための固定台と、この
   固定台に螺合する調整ネジと、この調整ネジに係合し前
   記レーザー光反射体にほぼ点で接触する支持手段と、こ
   の支持手段に対して前記レーザー光反射体を介して対向
   側に配置される対向支持手段と、前記調整ネジの軸方向
   に力を作用させる弾性体とを具備することを特徴とする
   レーザー光反射体支持装置。
2. （２）前記支持手段と前記調整ネジが一体的に形成され
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレ
   ーザー光反射体支持装置。