JPS636726U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS636726U JPS636726U JP10045186U JP10045186U JPS636726U JP S636726 U JPS636726 U JP S636726U JP 10045186 U JP10045186 U JP 10045186U JP 10045186 U JP10045186 U JP 10045186U JP S636726 U JPS636726 U JP S636726U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- rotating body
- semiconductor manufacturing
- manufacturing apparatus
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 2
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図はこの考案の半導体製造装置の一実施例
の構成を示す断面図、第２図は第１図の―線
の断面図、第３図は第１図の―線の断面図、
第４図はこの考案の半導体製造装置により洗浄薬
液を噴出する状態のときの断面図、第５図は従来
の半導体製造装置の構成を示す断面図である。 １……ウエハチヤツク、２……モータ、４……
ノズル、５……ウエハ、６……係合腕、７……係
合子、８……回転ノズル、９……係合穴、１０…
…薬液噴出口、１１……回転体、１２……パイプ
軸、１４……薬液パイプ、１５……回転体取付腕
。なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す
。
の構成を示す断面図、第２図は第１図の―線
の断面図、第３図は第１図の―線の断面図、
第４図はこの考案の半導体製造装置により洗浄薬
液を噴出する状態のときの断面図、第５図は従来
の半導体製造装置の構成を示す断面図である。 １……ウエハチヤツク、２……モータ、４……
ノズル、５……ウエハ、６……係合腕、７……係
合子、８……回転ノズル、９……係合穴、１０…
…薬液噴出口、１１……回転体、１２……パイプ
軸、１４……薬液パイプ、１５……回転体取付腕
。なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 回転するウエハチヤツクと、このウエハチ
ヤツク上に載置されたウエハにレジストを滴下し
遠心力によりレジスト薄膜を形成する半導体製造
装置において、上記ウエハの上部にウエハチヤツ
クと同期して回転する回転体を設けると共に、こ
の回転体にウエハの外周縁部に洗浄用薬液を噴出
する噴出口を設けたことを特徴とする半導体製造
装置。 (2) 回転体は、ウエハのオリフラ部が回転体の
特定位置と一致するための位置合わせ装置を有す
るものである実用新案登録請求の範囲第１項記載
の半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10045186U JPS636726U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10045186U JPS636726U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS636726U true JPS636726U (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=30970287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10045186U Pending JPS636726U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS636726U (ja) |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP10045186U patent/JPS636726U/ja active Pending