JPS6367275U - - Google Patents

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JPS6367275U
JPS6367275U JP16182086U JP16182086U JPS6367275U JP S6367275 U JPS6367275 U JP S6367275U JP 16182086 U JP16182086 U JP 16182086U JP 16182086 U JP16182086 U JP 16182086U JP S6367275 U JPS6367275 U JP S6367275U
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JP
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excimer laser
carbon content
nickel material
laser device
low carbon
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Description

【図面の簡単な説明】
第１〜３図はこの考案の一実施例によるエキシ
マレーザ装置を示すもので、第１図はその放電部
を模式的な断面図、第２図は同装置のレーザガス
室内において生成されるフロロカーボン濃度を従
来のものと比較して示すグラフ、第３図は同装置
によるエキシマレーザ出力の経時特性を従来のも
のと比較して示すグラフであり、第４，５図は従
来のエキシマレーザ装置を示すもので、第４図は
その放電部を示す断面図、第５図は従来装置によ
るエキシマレーザ出力の経時特性を示すグラフで
ある。 図において、７……電極としての主電極。なお
、図中、同一の符号は同一、又は相当部分を示し
ている。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 希ガス、ハロゲンガス雰囲気中の電極が放
    電を行なうことによりレーザ発振するエキシマレ
    ーザ装置において、上記主電極が低炭素含有ニツ
    ケル材で構成されたことを特徴とするエキシマレ
    ーザ装置。 (2) 上記低炭素含有ニツケル材に含まれる炭素
    含有量が０．０５％以下である実用新案登録請求
    の範囲第１項に記載のエキシマレーザ装置。
JP1986161820U 1986-10-21 1986-10-21 エキシマレ−ザ装置 Expired - Lifetime JPH079402Y2 (ja)

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JP1986161820U JPH079402Y2 (ja) 1986-10-21 1986-10-21 エキシマレ−ザ装置

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JPS6367275U true JPS6367275U (ja) 1988-05-06
JPH079402Y2 JPH079402Y2 (ja) 1995-03-06

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60196989A (ja) * 1979-12-03 1985-10-05 バ−ナ−ド・ビ−・カツツ エキシマ・ガス・レ−ザ−
JPS6190485A (ja) * 1984-10-09 1986-05-08 Mitsubishi Electric Corp パルスレ−ザ発振器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60196989A (ja) * 1979-12-03 1985-10-05 バ−ナ−ド・ビ−・カツツ エキシマ・ガス・レ−ザ−
JPS6190485A (ja) * 1984-10-09 1986-05-08 Mitsubishi Electric Corp パルスレ−ザ発振器

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