JPS6367540B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6367540B2 JPS6367540B2 JP18015383A JP18015383A JPS6367540B2 JP S6367540 B2 JPS6367540 B2 JP S6367540B2 JP 18015383 A JP18015383 A JP 18015383A JP 18015383 A JP18015383 A JP 18015383A JP S6367540 B2 JPS6367540 B2 JP S6367540B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molybdenum
- temperature strength
- excellent high
- molybdenum material
- aluminum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 53
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 49
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 43
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 26
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000011591 potassium Substances 0.000 claims description 10
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 4
- -1 aluminum Chemical class 0.000 claims description 3
- 150000003112 potassium compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 232Th Chemical compound [232Th] ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 claims 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 8
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 2
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFISYBKOIKMYLZ-UHFFFAOYSA-N [V].[Cr] Chemical compound [V].[Cr] WFISYBKOIKMYLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003841 chloride salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005098 hot rolling Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012245 magnesium oxide Nutrition 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical class [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
〔発明の技術分野〕
この発明は高温強度に優れたモリブデン材に関
する。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 一般に炉用ヒータや蒸着用ボートなどの高温下
で使用される部品には再結晶温度が高く、再結晶
後の強度が高いモリブデン材料が使用されてい
る。 ところが、そのモリブデン材のうち例えば従来
のモリブデンヒータでは、モリブデンが高融点を
有している為に、高温（〜1800℃）の真空炉、還
元性雰囲気炉などに重用されるところとなつてい
るのであるが、実用上かかる高温において不可避
の酸素分圧によつて酸化し、ヒータの表面が劣化
し、更には断線して、寿命が低減されるという不
都合があつた。 又、アンカーサポート材及びマグネトロンセン
ターサポート材にも同様な問題が生じる場合があ
つた。 アンカーサポート材とは、電球のフイラメント
を変形しないようにフイラメントの中間部を支え
る支持部材であり、マグネトロンセンターサポー
ト材とは、マグネトロンのらせん状熱輻射体を貫
通するように設けられ、その熱輻射体を固定支持
する材料である。これらの材料は、前記のヒータ
材と同様にモリブデン材が使用されているが、材
料の表面酸化及び変形等に対して改善の余地があ
つた。 又、例えば蒸発源ボートとしてモリブデンボー
トが使用され、半導体素子等にアルミニウムが蒸
着される場合、モリブデンボートは溶融したアル
ミニウムと接触して物理的変化を起こし、変形や
割れを生じやすいという欠点があつた。 〔発明の目的〕 本発明の第１の目的は、高温における耐酸化
性、に優れ従つて長寿命であるモリブデン材を提
供することにあり、第２の目的は、溶融物と反応
しにくいモリブデン材を提供することにある。 〔発明の概要〕 本発明は、上記目的を達成する為に少なくとも
表面部が長大結晶を有するモリブデン材を提供す
る。 本願発明者らは、モリブデンヒータ及び蒸着ボ
ートの表面劣化を研究した結果、表面の酸化及び
溶融アルミニウムによる脆化は主に結晶粒界に沿
つて起ることをつきとめた。 本発明は、少なくともモリブデンヒータ表面部
に長大結晶を形成することにより、酸化径路又は
溶融アルミニウムの侵入径路を長くし、表面劣化
にかかる時間を長くするという知見に基づいて完
成されたものである。 本発明でいう表面部とは、表面部から0.1mmの
深さをいい、この深さが深いほど本発明は有効で
ある。具体的には１mm以上が好ましく、５mm以上
あると更に好ましい。 又、本発明のモリブデン材は、表面酸化及び溶
融アルミニウムによる劣化の防止に対して有効で
あるが、更に耐クリープ変形の防止にも極めて有
効である。したがつて、これら効果の複合作用に
より本発明のモリブデン材は長寿命である。この
点からするとモリブデン材は、全体に渡つて長大
結晶が形成されているのが望ましい。 次に長大結晶について述べる。 結晶は長大であればあるほど、モリブデン材の
劣化及び脆化を小さくできるが、Ｌ／Ｗとして
は、実用上10以上が好ましく、20以上であれば更
に好ましい。ここでＬとは結晶の最大径であり、
Ｗとはその結晶の最小幅である。 前記長大結晶を形成できるモリブデン合金とし
ては、例えばアルミニウム、ケイ素およびカリウ
ムの化合物から選ばれた１種又は２種以上をアル
ミニウム、ケイ素、カリウムの量に換算して合計
量で0.005〜0.75重量％が望ましい。上記アルミ
ニウム、ケイ素、カリウムの化合物としては例え
ば酸化物、塩化物、シリコータングステン酸塩等
があげられる。 又、前記カリウム、ケイ素、アルミニウムのほ
かに、ランタン、セリウム、デスプロシウム、イ
ツトリウム、トリウム、チタン、ジルコニウム、
ニオブ、タンタル、バナジウムクロム、マグネシ
ウムの酸化物、炭化物、あるいは窒化物の一種又
は二種以が合計量で0.3〜３重量％含有されるこ
とにより、更に高温強度が向上し、有効なモリブ
デン材を提供できる。 本発明のモリブデン材の好ましい製造方法は、
モリブデン合金を焼結し、熱間加工し、更に再結
晶加熱処理する方法である。 熱間加工は、85％以上の加工率で実施されるの
が好ましく、更には90％以上が好ましい。又、再
結晶加熱処理は、再結晶温度より100℃高い温度
から2200℃迄の温度範囲が好ましく、更には再結
晶温度より200℃高い温度から2100℃迄の範囲が
好ましい。以上の処理により再結晶粒を長く大き
く成長させることができる。 〔発明の実施例〕 実施例 １ モリブデン粉末にアルミニウム、ケイ素、カリ
ウムの３種をモリブデン粉末と均一に混合できる
よう溶液の形で添加し、これを乾燥した際のモリ
ブデン粉末中の添加元素の含有量は酸化アルミニ
ウム、酸化ケイ素、塩化カリウムの形でそれぞれ
0.015重量％で３種同時に含有している。モリブ
デン粉末を2ton／cm2の圧力でプレス成形しその後
水素炉で1830℃×5Hrの条件で焼結した。 この焼結体を1100℃〜1400℃の温度範囲で転打
加工し、その後300℃〜1100℃の温度範囲で線引
をし、６mmφの線体を得た。この線体の加工率は
95％であつた。次にこの線体の再結晶温度より
350℃高い2000℃の温度でこの線体に２時間の加
熱処理を施し電気炉用ヒータを作成した。このヒ
ータは全体にＬ／Ｗが30の長大結晶により形成さ
れていた。又、このヒータのアルミニウム、ケイ
素、カリウムの形に換算した際の含有量はそれぞ
れ0.005重量％0.003重量％、0.007重量％であつ
た。 比較例として、Ｌ／Ｗが1.3のモリブデンヒー
タを作成した。 かくして得られた本発明の電気炉用ヒータ及び
比較例のヒータを各々還元性雰囲気炉（雰囲気
N2＋H2）の炉壁に取付けて、1300℃で使用し
た。この結果、本発明の電気炉用ヒータは６年経
過後においてもヒータ断線がなく、且つ表面が消
耗劣化することがなかつた。一方比較例のヒータ
は１年経過後に断線し使用不能となつた。 以上の結果からも明らかな様に、本発明の電気
炉用ヒータは従来のモリブデンヒータと比べ高温
における耐酸化性に優れ、且つ長寿命なものであ
る。 実施例 ２ 実施例１と同様に焼結体を得た。この焼結体を
1100℃〜1400℃の温度範囲で熱間鍛造し、その後
300℃〜1100℃の温度範囲で熱間圧延をし、ボー
ト材を得た。このボート材の加工率は95％であつ
た。次に、このボート材の再結晶温度より350℃
高い2000℃の温度でこのボート材に２時間の加熱
処理を施し、蒸着用ボートを作成した。このボー
トは全体にＬ／Ｗが30の長大結晶により形成され
ており、又、アルミニウム、ケイ素、カリウムの
形に換算した際の含有量はそれぞれ0.005重量％、
0.003重量％、0.007重量％であつた。 比較例としてＬ／Ｗが1.3のモリブデン蒸着ボ
ートを作成した。 かくして、得られた本発明の蒸着用ボート及び
比較例のボートを用いて、アルミニウムを蒸着
し、寿命を調べた。この結果、本発明の蒸着用ボ
ートは100回使用後においてもボートの変形及び
割れがなく、且つ溶融アルミニウムによる物理変
化もなかつた。一方、比較例のボートは７回使用
後に溶融アルミニウムによる物理変化がおこり、
表面に割れが発生し、以後使用不能となつた。 以上の結果からも明らかな様に本発明の蒸着用
ボートは従来のモリブデンボートに比べ溶融アル
ミニウムに対して変化しにくく、且つ長寿命なも
のである。 実施例 ３〜14 モリブデン粉末にアルミニウム、ケイ素、カリ
ウムの３種をモリブデン粉末と均一に混合できる
ように溶液の形で添加し、これを乾燥した際のモ
リブデン粉末中の添加元素の含有量は酸化アルミ
ニウム、酸化ケイ素、塩化カリウムの形でそれぞ
れ0.005重量％、0.005重量％、0.01重量％添加し、
還元して平均粒径２〜5μｍのモリブデン粉末を
製造した。 このモリブデン粉末を第１表に示した組成のの
各種粉末と前記モリブデン粉末を振動ミルで20時
間混合した。
する。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 一般に炉用ヒータや蒸着用ボートなどの高温下
で使用される部品には再結晶温度が高く、再結晶
後の強度が高いモリブデン材料が使用されてい
る。 ところが、そのモリブデン材のうち例えば従来
のモリブデンヒータでは、モリブデンが高融点を
有している為に、高温（〜1800℃）の真空炉、還
元性雰囲気炉などに重用されるところとなつてい
るのであるが、実用上かかる高温において不可避
の酸素分圧によつて酸化し、ヒータの表面が劣化
し、更には断線して、寿命が低減されるという不
都合があつた。 又、アンカーサポート材及びマグネトロンセン
ターサポート材にも同様な問題が生じる場合があ
つた。 アンカーサポート材とは、電球のフイラメント
を変形しないようにフイラメントの中間部を支え
る支持部材であり、マグネトロンセンターサポー
ト材とは、マグネトロンのらせん状熱輻射体を貫
通するように設けられ、その熱輻射体を固定支持
する材料である。これらの材料は、前記のヒータ
材と同様にモリブデン材が使用されているが、材
料の表面酸化及び変形等に対して改善の余地があ
つた。 又、例えば蒸発源ボートとしてモリブデンボー
トが使用され、半導体素子等にアルミニウムが蒸
着される場合、モリブデンボートは溶融したアル
ミニウムと接触して物理的変化を起こし、変形や
割れを生じやすいという欠点があつた。 〔発明の目的〕 本発明の第１の目的は、高温における耐酸化
性、に優れ従つて長寿命であるモリブデン材を提
供することにあり、第２の目的は、溶融物と反応
しにくいモリブデン材を提供することにある。 〔発明の概要〕 本発明は、上記目的を達成する為に少なくとも
表面部が長大結晶を有するモリブデン材を提供す
る。 本願発明者らは、モリブデンヒータ及び蒸着ボ
ートの表面劣化を研究した結果、表面の酸化及び
溶融アルミニウムによる脆化は主に結晶粒界に沿
つて起ることをつきとめた。 本発明は、少なくともモリブデンヒータ表面部
に長大結晶を形成することにより、酸化径路又は
溶融アルミニウムの侵入径路を長くし、表面劣化
にかかる時間を長くするという知見に基づいて完
成されたものである。 本発明でいう表面部とは、表面部から0.1mmの
深さをいい、この深さが深いほど本発明は有効で
ある。具体的には１mm以上が好ましく、５mm以上
あると更に好ましい。 又、本発明のモリブデン材は、表面酸化及び溶
融アルミニウムによる劣化の防止に対して有効で
あるが、更に耐クリープ変形の防止にも極めて有
効である。したがつて、これら効果の複合作用に
より本発明のモリブデン材は長寿命である。この
点からするとモリブデン材は、全体に渡つて長大
結晶が形成されているのが望ましい。 次に長大結晶について述べる。 結晶は長大であればあるほど、モリブデン材の
劣化及び脆化を小さくできるが、Ｌ／Ｗとして
は、実用上10以上が好ましく、20以上であれば更
に好ましい。ここでＬとは結晶の最大径であり、
Ｗとはその結晶の最小幅である。 前記長大結晶を形成できるモリブデン合金とし
ては、例えばアルミニウム、ケイ素およびカリウ
ムの化合物から選ばれた１種又は２種以上をアル
ミニウム、ケイ素、カリウムの量に換算して合計
量で0.005〜0.75重量％が望ましい。上記アルミ
ニウム、ケイ素、カリウムの化合物としては例え
ば酸化物、塩化物、シリコータングステン酸塩等
があげられる。 又、前記カリウム、ケイ素、アルミニウムのほ
かに、ランタン、セリウム、デスプロシウム、イ
ツトリウム、トリウム、チタン、ジルコニウム、
ニオブ、タンタル、バナジウムクロム、マグネシ
ウムの酸化物、炭化物、あるいは窒化物の一種又
は二種以が合計量で0.3〜３重量％含有されるこ
とにより、更に高温強度が向上し、有効なモリブ
デン材を提供できる。 本発明のモリブデン材の好ましい製造方法は、
モリブデン合金を焼結し、熱間加工し、更に再結
晶加熱処理する方法である。 熱間加工は、85％以上の加工率で実施されるの
が好ましく、更には90％以上が好ましい。又、再
結晶加熱処理は、再結晶温度より100℃高い温度
から2200℃迄の温度範囲が好ましく、更には再結
晶温度より200℃高い温度から2100℃迄の範囲が
好ましい。以上の処理により再結晶粒を長く大き
く成長させることができる。 〔発明の実施例〕 実施例 １ モリブデン粉末にアルミニウム、ケイ素、カリ
ウムの３種をモリブデン粉末と均一に混合できる
よう溶液の形で添加し、これを乾燥した際のモリ
ブデン粉末中の添加元素の含有量は酸化アルミニ
ウム、酸化ケイ素、塩化カリウムの形でそれぞれ
0.015重量％で３種同時に含有している。モリブ
デン粉末を2ton／cm2の圧力でプレス成形しその後
水素炉で1830℃×5Hrの条件で焼結した。 この焼結体を1100℃〜1400℃の温度範囲で転打
加工し、その後300℃〜1100℃の温度範囲で線引
をし、６mmφの線体を得た。この線体の加工率は
95％であつた。次にこの線体の再結晶温度より
350℃高い2000℃の温度でこの線体に２時間の加
熱処理を施し電気炉用ヒータを作成した。このヒ
ータは全体にＬ／Ｗが30の長大結晶により形成さ
れていた。又、このヒータのアルミニウム、ケイ
素、カリウムの形に換算した際の含有量はそれぞ
れ0.005重量％0.003重量％、0.007重量％であつ
た。 比較例として、Ｌ／Ｗが1.3のモリブデンヒー
タを作成した。 かくして得られた本発明の電気炉用ヒータ及び
比較例のヒータを各々還元性雰囲気炉（雰囲気
N2＋H2）の炉壁に取付けて、1300℃で使用し
た。この結果、本発明の電気炉用ヒータは６年経
過後においてもヒータ断線がなく、且つ表面が消
耗劣化することがなかつた。一方比較例のヒータ
は１年経過後に断線し使用不能となつた。 以上の結果からも明らかな様に、本発明の電気
炉用ヒータは従来のモリブデンヒータと比べ高温
における耐酸化性に優れ、且つ長寿命なものであ
る。 実施例 ２ 実施例１と同様に焼結体を得た。この焼結体を
1100℃〜1400℃の温度範囲で熱間鍛造し、その後
300℃〜1100℃の温度範囲で熱間圧延をし、ボー
ト材を得た。このボート材の加工率は95％であつ
た。次に、このボート材の再結晶温度より350℃
高い2000℃の温度でこのボート材に２時間の加熱
処理を施し、蒸着用ボートを作成した。このボー
トは全体にＬ／Ｗが30の長大結晶により形成され
ており、又、アルミニウム、ケイ素、カリウムの
形に換算した際の含有量はそれぞれ0.005重量％、
0.003重量％、0.007重量％であつた。 比較例としてＬ／Ｗが1.3のモリブデン蒸着ボ
ートを作成した。 かくして、得られた本発明の蒸着用ボート及び
比較例のボートを用いて、アルミニウムを蒸着
し、寿命を調べた。この結果、本発明の蒸着用ボ
ートは100回使用後においてもボートの変形及び
割れがなく、且つ溶融アルミニウムによる物理変
化もなかつた。一方、比較例のボートは７回使用
後に溶融アルミニウムによる物理変化がおこり、
表面に割れが発生し、以後使用不能となつた。 以上の結果からも明らかな様に本発明の蒸着用
ボートは従来のモリブデンボートに比べ溶融アル
ミニウムに対して変化しにくく、且つ長寿命なも
のである。 実施例 ３〜14 モリブデン粉末にアルミニウム、ケイ素、カリ
ウムの３種をモリブデン粉末と均一に混合できる
ように溶液の形で添加し、これを乾燥した際のモ
リブデン粉末中の添加元素の含有量は酸化アルミ
ニウム、酸化ケイ素、塩化カリウムの形でそれぞ
れ0.005重量％、0.005重量％、0.01重量％添加し、
還元して平均粒径２〜5μｍのモリブデン粉末を
製造した。 このモリブデン粉末を第１表に示した組成のの
各種粉末と前記モリブデン粉末を振動ミルで20時
間混合した。
【表】
【表】
得られた混合粉末を実施例１と同様の方法で焼
結体を得た。この焼結体を実施例２と同様の熱間
鍛造および熱間圧延をし、ボート材を得た。この
ボート材の加工率は95％であつた。次に、このボ
ート材の再結晶温度より高い2000℃の温度でこの
ボート材に２時間の加熱処理を施し、蒸着用ボー
トを作成した。このボートのアルミニウム、ケイ
素、カリウムに換算した際の含有量およびＬ／Ｗ
は第２表の通りであつた。 比較例としてＬ／Ｗが1.3のモリブデン蒸着ボ
ートを作成した。 かくして、得られた本発明の蒸着用ボート及び
比較例のボートを用いて、アルミニウムを蒸着
し、寿命を調べた。この結果を同じく第２表に示
した。
結体を得た。この焼結体を実施例２と同様の熱間
鍛造および熱間圧延をし、ボート材を得た。この
ボート材の加工率は95％であつた。次に、このボ
ート材の再結晶温度より高い2000℃の温度でこの
ボート材に２時間の加熱処理を施し、蒸着用ボー
トを作成した。このボートのアルミニウム、ケイ
素、カリウムに換算した際の含有量およびＬ／Ｗ
は第２表の通りであつた。 比較例としてＬ／Ｗが1.3のモリブデン蒸着ボ
ートを作成した。 かくして、得られた本発明の蒸着用ボート及び
比較例のボートを用いて、アルミニウムを蒸着
し、寿命を調べた。この結果を同じく第２表に示
した。
【表】
【表】
以上の結果から明らかな様に本発明の蒸着用ボ
ートは従来のモリブデンに比べ溶融アルミニウム
に対して変化しにくく、且つ長寿命なものであ
る。 〔発明の効果〕 以上、本発明を用いたモリブデン材は、耐酸化
性に優れ、かつ長寿命なモリブデン材を提供し、
又、溶融アルミニウムに対して劣化しにくいモリ
ブデン材を提供できる。
ートは従来のモリブデンに比べ溶融アルミニウム
に対して変化しにくく、且つ長寿命なものであ
る。 〔発明の効果〕 以上、本発明を用いたモリブデン材は、耐酸化
性に優れ、かつ長寿命なモリブデン材を提供し、
又、溶融アルミニウムに対して劣化しにくいモリ
ブデン材を提供できる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ アルミニウム、ケイ素、カリウムの化合物か
ら選ばれた１種又は２種以上を、アルミニウム、
ケイ素、カリウムの量に換算して合計量で、
0.005〜0.75重量％、残部実質的にモリブデンよ
りなり、少なくとも表面部が長大結晶を有する高
温強度に優れたモリブデン材。 ２ 化合物は酸化物、塩化物、シリコータングス
テン酸塩のいずれか１種又は２種以上である特許
請求の範囲第１項に記載の高温強度に優れたモリ
ブデン材。 ３ 炉用ヒータに用いる特許請求の範囲第１項に
記載の高温強度に優れたモリブデン材。 ４ 蒸発用ボートに用いる特許請求の範囲第１項
に記載の高温強度に優れたモリブデン材。 ５ マグネトロンセンターサポート材に用いる特
許請求の範囲第１項に記載の高温強度に優れたモ
リブデン材。 ６ アンカーサポート材に用いる特許請求の範囲
第１項に記載高温強度に優れたモリブデン材。 ７ 長大結晶の最大径（Ｌ）と、最小径（Ｗ）と
の比（Ｌ／Ｗ）が10以上である特許請求の範囲第
１項に記載の高温強度に優れたモリブデン材。 ８ アルミニウム、ケイ素、カリウムの化合物か
ら選ばれた１種又は２種以上を、アルミニウム、
ケイ素、カリウムの量に換算して合計量で0.005
〜0.75重量％、ランタン、セリウム、デスプロシ
ウム、イツトリウム、トリウム、チタン、ジルコ
ニウム、ニオブ、タンタル、バナジウム、クロ
ム、マグネシウムの酸化物、炭化物あるいは窒化
物を一種又は二種以上、合計量で0.3〜３重量％、
残部実質的にモリブデンによりなり、少なくとも
表面部が長大結晶を有する高温強度に優れたモリ
ブデン材。 ９ 化合物は酸化物、塩化物、シリコータングス
テン酸塩のいずれか１種又は２種以上である特許
請求の範囲第８項に記載の高温強度に優れたモリ
ブデン材。 １０ 炉用ヒーターに用いる特許請求の範囲第８
項に記載の高温強度に優れたモリブデン材。 １１ 蒸着用ボートに用いる特許請求の範囲第８
項に記載の高温強度に優れたモリブデン材。 １２ マグネトロンセンターサポート材に用いる
特許請求の範囲第８項に記載の高温強度に優れた
モリブデン材。 １３ アンカーサポート材に用いる特許請求の範
囲第８項に記載の高温強度に優れたモリブデン
材。 １４ 長大結晶の最大径（Ｌ）と最小径（Ｗ）と
の比（Ｌ／）が10以上である特許請求の範囲第８
項に記載の高温強度に優れたモリブデン材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18015383A JPS6075546A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 高温強度に優れたモリブデン材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18015383A JPS6075546A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 高温強度に優れたモリブデン材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6075546A JPS6075546A (ja) | 1985-04-27 |
| JPS6367540B2 true JPS6367540B2 (ja) | 1988-12-26 |
Family
ID=16078320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18015383A Granted JPS6075546A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 高温強度に優れたモリブデン材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6075546A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6276525A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Toshiba Corp | モリブデン板とその製造方法 |
| JPS63114935A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-19 | Tokyo Tungsten Co Ltd | モリブデンるつぼ及びその製造方法 |
| JP4885248B2 (ja) * | 2009-03-03 | 2012-02-29 | 株式会社ファーストキャビン | 組立個室 |
| JP6898792B2 (ja) * | 2017-06-26 | 2021-07-07 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックス部材及びその製造方法 |
| KR102437076B1 (ko) * | 2021-08-30 | 2022-08-29 | 주식회사 미코세라믹스 | 온도 편차 특성이 개선된 기판 가열 장치 |
| CN116875838B (zh) * | 2023-09-08 | 2023-11-21 | 西安格美金属材料有限公司 | 一种掺钾的钼合金板材制备方法 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP18015383A patent/JPS6075546A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6075546A (ja) | 1985-04-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4713360A (en) | Novel ceramic materials and methods for making same | |
| JPS62215B2 (ja) | ||
| JP5457018B2 (ja) | 白金イリジウム合金及びその製造方法 | |
| US4406699A (en) | High-temperature electrically conductive ceramic composite and method for making same | |
| US2918367A (en) | Titanium base alloy | |
| JPS6367540B2 (ja) | ||
| US5177040A (en) | Fused zirconia refractory materials having high-temperature heat resistance and corrosion resistance and a method for producing the same | |
| US4460542A (en) | Iron-bearing nickel-chromium-aluminum-yttrium alloy | |
| US5118647A (en) | Ceramic materials | |
| CA1304608C (en) | High nickel chromium alloy | |
| US4165982A (en) | Molybdenum base alloy having excellent high-temperature strength and a method of producing same | |
| CN111763862A (zh) | 一种钨钼合金及其制备方法 | |
| JPH05320791A (ja) | Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物合金 | |
| US3340076A (en) | Fused refractory castings | |
| US2666698A (en) | Alloys of titanium containing aluminum and iron | |
| US3061427A (en) | Alloy of titanium | |
| JPS59205432A (ja) | 活性金属や貴金属を含む合金の溶解法 | |
| US2880088A (en) | Titanium base alloys | |
| US2950191A (en) | Titanium base alloys | |
| US2899303A (en) | Alpha titanium alloys containing | |
| US5306677A (en) | Ceramic materials | |
| JPH0440413B2 (ja) | ||
| JPH076038B2 (ja) | 耐酸化性Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ系合金 | |
| US2758922A (en) | Alloys of titanium containing iron and vandium | |
| JPS63227728A (ja) | 溶解ルツボおよび溶解法 |