JPS637158U - - Google Patents
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- JPS637158U JPS637158U JP9681986U JP9681986U JPS637158U JP S637158 U JPS637158 U JP S637158U JP 9681986 U JP9681986 U JP 9681986U JP 9681986 U JP9681986 U JP 9681986U JP S637158 U JPS637158 U JP S637158U
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- JP
- Japan
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- evaporation source
- substrate
- electrons
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- collecting electrode
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
図面は本考案による装置の構成を示す概略ブロ
ツク図である。 １……真空室、２……蒸発源、３……基板、４
……プラズマ発生型電子銃、５……電子捕集電極
、６……ガス導入管、７……区画室。
ツク図である。 １……真空室、２……蒸発源、３……基板、４
……プラズマ発生型電子銃、５……電子捕集電極
、６……ガス導入管、７……区画室。
Claims (1)
- ガス導入系を有する真空室内に蒸着物質の蒸発
源および基板を対向させて設け、前記蒸発源の周
囲に区画室を形成するように正電位を与えること
ができる電子捕集電極を配置し、この電子捕集電
極に正電位を与えることにより、蒸発源から蒸発
しイオン化され陽イオンと電子とに分離した蒸気
から電子を取り除き、前記基板近傍の前記区画室
内のイオン化率を高めるようにしたことを特徴と
するイオンプレーテイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986096819U JPS6350289Y2 (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986096819U JPS6350289Y2 (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637158U true JPS637158U (ja) | 1988-01-18 |
| JPS6350289Y2 JPS6350289Y2 (ja) | 1988-12-23 |
Family
ID=30963018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986096819U Expired JPS6350289Y2 (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350289Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4990685A (ja) * | 1972-12-29 | 1974-08-29 |
-
1986
- 1986-06-26 JP JP1986096819U patent/JPS6350289Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4990685A (ja) * | 1972-12-29 | 1974-08-29 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6350289Y2 (ja) | 1988-12-23 |
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