JPH0186054U - - Google Patents
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- JPH0186054U JPH0186054U JP18065487U JP18065487U JPH0186054U JP H0186054 U JPH0186054 U JP H0186054U JP 18065487 U JP18065487 U JP 18065487U JP 18065487 U JP18065487 U JP 18065487U JP H0186054 U JPH0186054 U JP H0186054U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- cathode
- electron microscope
- vacuum
- evaporation device
- Prior art date
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- Pending
Links
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Description
第１図は、本考案の一実施例の電子顕微鏡用真
空蒸着装置を示すブロツク図である。 １……真空チヤンバー、２……蒸着用ターゲツ
ト（陰極に対応する。）、３……試料台（陽極に
対応する。）、４……試料、５，１１……プラズ
マ発生用高周波電極、６……酸素供給ノズル、７
……蒸着制御部、８……プラズマ発生用高周波電
極制御部、９……酸素流量調整器、１０……真空
排気系。
空蒸着装置を示すブロツク図である。 １……真空チヤンバー、２……蒸着用ターゲツ
ト（陰極に対応する。）、３……試料台（陽極に
対応する。）、４……試料、５，１１……プラズ
マ発生用高周波電極、６……酸素供給ノズル、７
……蒸着制御部、８……プラズマ発生用高周波電
極制御部、９……酸素流量調整器、１０……真空
排気系。
Claims (1)
- 真空チヤンバー内で陽極と陰極との間に電圧を
かけてイオンを前記陰極に衝突させ、飛散した金
属を前記陽極側の試料の表面に蒸着させる電子顕
微鏡用真空蒸着装置において、前記試料の表面に
付着した有機物を炭化処理して除去するプラズマ
アツシング装置が備えてあり、プラズマを発生さ
せる一対のプラズマ発生用高周波電極が前記真空
チヤンバー内で対向配置してあり、前記真空チヤ
ンバー内に酸素を供給する酸素供給ノズルが設け
てあることを特徴とする電子顕微鏡用真空蒸着装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18065487U JPH0186054U (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18065487U JPH0186054U (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0186054U true JPH0186054U (ja) | 1989-06-07 |
Family
ID=31472164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18065487U Pending JPH0186054U (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0186054U (ja) |
-
1987
- 1987-11-26 JP JP18065487U patent/JPH0186054U/ja active Pending
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