JPS6371632A - 超微細粒子検出計数装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、超クリーンルーム等においてガス中に浮遊
する粒径０．１　ミクロン以下の超微細粒子ならびに負
イオンの個数濃度と粒径分布を測定するためのエアロゾ
ル電気的移動度分析装置等に用いる負荷電超微細粒子な
いし負イオンの検出計数装置である。

［従来の技術］ 従来、超微細粒子の測定には主として、エアロゾル電気
的移動度分析装置が用いられて来たが、この装置は、粒
子に電荷を与えたのち直波電界中を流通せしめ、その電
気的移動度の粒径による差を検出するものであり、その
検出装置としては粒子電荷の運ぶ微少電流を測定する方
法によっている。しかしこの型式の検出装置では１粒径
が０．１　ミクロン以下と極度に小さく、且つその個数
濃度が低い場合、粒子電荷による電流値が極めて小さく
なって、誤差の増大をさけられず、遂には検出自体が不
可能となる。

また現在のところ負イオンのみの個数濃度を正イオンの
それと分離して測定できる装置は存在していない。この
難点を解決するため本発明者は別発明ｒｌＪｉ微粒子測
定装置」　（特許願　昭和８０年第１８３４８７号）に
おいて微少電流計による粒子検出の代りに、新規の粒子
検出計数装置を使用し、成果を収めた。この粒子検出計
数装置は予めコロナ開始電圧よりわずかに低い直流高電
圧を印加せる正コロナ電極と、これに絶縁対向せしめた
非コロナ対向電極とより成るコロナ電極系のコロナ放電
極先端の近傍領域に負電荷を有する微粒子ないし負イオ
ンが到来する時、その度毎にバースト・コロナを生ずる
現象を利用した検出計数装置を用いるものである。すな
わち予め被側定微細粒子に負の電荷素稜をコロナ放′ｔ
、ラヂオアイソトープ等を利用して与えておき（負イオ
ンについてはかかる予備荷電を要しない）、これをエア
ロゾル電気的移動度分析装置の電界による荷電粒子（な
いし負イオン）の分＃部を通過せしめて移動度による粒
径分離を行ったのち、上記コロナ電極系の正コロナ電極
先端近傍領域に導入し、その粒子（又は負イオン）１個
毎に生ずるバースト拳コロナを発生する電流パルス又は
光信号としてを検出計数する。

［発明が解決しようとする問題］ 上記ｒ超微粒子測定装置Ｊ　（特許願　間第６０−１８
３４８７号）に用いられた新規の粒子検出計数装置は０
．１ミクロン以下の超細微粒子と負イオンの存在を極め
て敏感に検出できる点では従来の如何なる粒子検出計数
装置よりもすぐれているが、その検出計数値の指示と超
細ｖＩＬ粒子ないし負イオンの実際の個数濃度ないし粒
径分布との間には正しい一致がなく、定性的比例関係が
あるのみで、そのため実用的価値に大きな限界があった
。

［問題点を解決するための手段］ ｈ記ｒａ微粒子測定装２１Ｊ（特許願　間第１１１０−
１８３４８７号）の粒子検出計数装置における上述の如
き欠点は次の３つの理由にもとすくものであることを木
発明者はその後の研究により見出した。

（１）この粒子検出計数装置の主要構成部たる上記コロ
ナ電極系の正コロナ′屯極と非コロナ対向電極間に正コ
ロナ開始電圧よりもわずかに低い直流高電圧を印加した
際に生ずるパルス状コロナを、印加電圧を微細調整する
ことにより精密に観察するとその出現電圧と生ずる電流
パルス大きさによって三つの異なった種類がある。すな
わちもつとも低い電圧で先ず最初にあられれるもので、
もつとも低い電流パルス波高値を有するｒマイクロパル
スｊと、これよりわずかに電圧を上げた時に生ずるもの
でｒマイクロパルス」の数倍の電流パルス波高値を有し
、かつ常にこれと密接して波高値がやや低く互いに連接
して生ずる多数の随伴パルス群を伴ない、その結果見掛
けのパルス巾もマイクロパルスよりはるかに大きい「小
パルス」と、それよりもやや高い電圧（但し正コロナ開
始電圧以下）で湿度の高い時にのみ現われるストリーマ
−状バースト−コロナに対応した所の、ｒ小パルスｊよ
りも１桁以上高い電流パルス波高値を有するｒ大パルス
】の三種類である。このうち測定目的に宥用なパルスコ
ロナ、すなわち負の荷電粒子ないし負イオンが正コロナ
電極先端の近傍領域に到来した時に、その１個ごとに発
生するパルスコロナはｆマイクロパルスｊのみであり、
（小パルスλとｒ大パルス１は、いずれも到来した負の
荷電粒子ないし負イオンとの間にｌ対ｌの関係が認られ
ないことが発見された。しかるに該「超微粒子測定装置
１に用いられた粒子検出計数装置のコロナ電極系では印
加する直流高電圧を微細調整することができず、ｒマイ
クロパルス］、ｒ小パルスＪ、　　Ｗ大パルス１をすべ
て一緒に検出計測しいた。この様に使用電圧の微細調整
に問題があったのみでなく、更にｒマイクロパルス」の
みを確実に発生せしめるため、他のパルスの出現を有効
に識別にする手段を欠いていた。

（２）該ｆＩｔｆｌ微粒子測定装置」の検出計数装置に
用いられた負に荷′屯せる超微細粒子ないし負イオンを
検出するための検出系にあっては、その正コロナ電極と
非コロナ対向電極間の空間に上記負に荷電せる被測定超
微細粒子ないし負イオンを供給しても、その一部しか正
コロナ電極近傍空間で電界集中のもっとも著しいパルス
コロナ発生領域（たとえば針電極の場合その先端部の近
傍領域、以下検出領域という）に到達せず、他は電界の
集中が弱くパルスコロナを生成しない無効領域（たとえ
ば針電極の場合その先端部以外の部分）に到来したり、
あるいは粒径の比較的小さい粒子（直径０．１〜ｏ、ｏ
ｔ　ミクロン）の場合には気流に同搬されて正コロナ電
極に到着することなく該検出系外に排出される等、検出
計数もれによっても少なからず誤差を生ずる。それにも
かかわらず該ｒ、１微粒子測定装置】の検出計数装置で
は被測定超微細粒子ないし負イオンの全部を正コロナ電
極の検出領域に確実に到来せしめるための格別の手段を
欠いていた。

（３）該正コロナ電極の検出領域に負の素電荷を有する
被測定超微細粒子ないし負イオンの１個（初粒子という
）が到来すると、これから高電界の作用で電子が放出さ
れ、これが高電界の検出領域内において中性ガス分子に
衝突して衝突電離による電子なだれを生じ、極めて多数
の電子と正イオを生じ、これが「マイクロパルスｊに対
応する電流パルスとして検出される。この際電子群は直
ちに正コロナ電極に吸収されるが、正イオン群は電子に
比べ電気移動度が著しく小さいので比較的ゆっくりと対
向電極に向かって走行する。そして上記の初粒子に後続
して正コロナ電極の検出領域に向って電気力により走行
中であった、検出系内の後続被測定負荷電超微細粒子群
および負イオン群のすべてに」二記正イオン群が衝突、
超微細粒子は正に荷電されて非コロナ対向電極へ電気力
で駆動され、負イオンは中和されていずれも検出されな
いことになる。そして−上記の正イオン群がすべて対向
電極に吸収された後新たに検出系内に導入された負荷電
超微細粒子ないし負イオンの中の新しい先頭初粒子のみ
が次のｒマイクロパルス」を発生せしめる。換言すると
、本方式で正確な全数検出を行なうためには被検出負荷
電超微細粒子ないし負イオンの個数濃度には印加電圧、
ガス流速、粒子径できまる一定の上限があり、それぞれ
の被測定粒子又は負イオンが検出系に導入される１個毎
の時間間隔ＴＯは、上記の正イオンの電極間走行時間Ｔ
ｉ　と導入後の被測定粒子ないし負イオンの検出領域迄
の走行時間ＴＰの和（Ｔｉ＋Ｔｐ）に等しい「不感詩間
Ｊよりも大きくなければならない、換言するとＮｔｓａ
ｘ　＝１／（Ｔｉ　＋Ｔｐ）（パルス７秒）が単位時間
当りの飽和検出計数値であって、たとえ実際の粒子ない
し負イオン濃度が高くてもＮｔｓａｘ以りのカウントは
指示されない、したがって正確な粒子ないし負イオンの
濃度に対応した計数値を得るには常に測定中の単位時間
当りの計数値（計数率）ＮをＮｍａｘよりも小さく保持
する様に、被測定粒子又は負イオンを含むサンプルガス
をｌなガスで稀釈したり、あるいはサンプルガス流量自
体を低減したりするためのｒサンプルガス３１整手段１
を必要とする。しかるに」二記Ｔ超微粒子測定装置ｊの
検出計数装置ではかかる手段を欠いていた。

本発明による新規の超微細粒子測定装置用検出計数装置
は上記の欠点を、（１）については印加直流高電圧を微
細調整する手段を設けると共にパルスコロナに伴なう電
流パルスの波形を監視しその波高値と随伴パルスの有無
を識別して常にｒマイクロパルス１のみを発生せしめる
様な識別手段を設けること、（２）については被測定負
荷電粒子ないし負イオンの検出系内空間への導入位置を
過ちな位置に選定しく例えば針対平板電極の場合は針端
から平板に下した錘線の足付近の小孔から導入、あるい
は計電極の近傍位置に直接絶縁バイブを用いて導入、あ
るい、は針電極を中空バイブとし、その内部を通ってバ
イブ先端位置に導入）、かつ必要に応じてシースエアを
用いて、粒子や負イオンの拡散をさけそのすべてが検出
領域に到達する様にすること、（３）についてはサンプ
ルガスの適当な稀釈装置を組合せて使用することにより
解決する。

この場合特に（１）の印加電圧の微細調整は電極間に電
圧を印加する直流電源を、印加電圧値の大部分を受けも
ち高圧側電極と大地間に可変直流高電圧を印加するため
の可変直流高電圧電源と、接地側の電極と大地間に極〈
低い電圧乍ら、極めて微細な電圧：Ａ整のできる精密可
変直流低圧電源の二つの電源をもって構成し、大まかな
調整は前者の電源で、またマイクロパルスのみを確実に
発生せしめるのに必要な微細な電圧調整は後者の電源で
行うことが、もっとも効果的であることが判明した。

すなわち本発明による所の新規の超微細粒子検出計数装
置は、負荷？ｌｔ微細粒子ないし負イオンを浮遊せるサ
ンプルガスの導入口及び排出口を有するケーシングと、
該ケーシング内に互いに絶縁の上対向配設せるコロナ放
″ＲＬ極および非コロナ対向電極より成るコロナ電極系
と、その両電極間に該コロナ放電極を正とする如き極圧
をもってコロナ開始電圧よりわずかに低い直流高電圧を
印加するための直流高圧°電源と、該コロナ放電極より
発生するコロナ電流パルスを検出計数するための電流パ
ルス検出計数器より成る所の超微細粒子検出計数装置に
おいて、該直流高圧電源を高圧側電極と大地の■）に可
変直流高電圧を印加するための可変直流高圧電源と、低
圧側電極と大地の間に精密可変直流低電圧を印加するた
めの精密可変直流低圧を源の二つの電源をもって構成す
ることを特徴とする。これに加えて本発明は必要に応じ
該電流パルス検出器に、該コロナ電流パルスの波形を監
視するためのブラウン管オッシロスコープと、パルス波
高値の大きさがマイクロパルスに対応するもののみであ
り小パルスや大パルスに対応するものを含まないことを
識別するためのパルス波高値識別部と、そのパルス波形
がマイクロパルス特有の離散的パルスであって小パルス
固有の随伴パルスを伴った見かけパルス巾の大きなもの
を含まないことを識別するためのパルス巾識別部の三つ
の要素のうちすくなくとも一つを有するパルス判別部を
具備せしめ、その識別結果によって該可変直流低圧電源
の出力電圧を常にマイクロパルスのみが発生する様に調
整することを特徴とする。またこれに加えて本発明によ
る所の新規の超微細粒子検出計数装置は、コロナ放電極
先端のもっとも電界集中の著しい部分の近傍の検出領域
にすべての被検出負荷電微細粒子ないし負イオンが到達
することを可能ならしめる如き有効導入位置に該ガス導
入口を設け、更に必要に応じてそこから試料ガスを拡散
することなく該検出領域に誘導するためのシースエアを
用いることを特徴とする。

更に本発明による所の新規の超微細粒子検出計数装置は
、そのパルス検出計数率の指示値Ｎが粒子の粒径、試料
ガスの吸引驕、および印加電圧に応じて定まる上記の飼
料計数率Ｎ＋＊ａｘをこえない様にサンプルガスを清節
ガスで稀釈するためのガスＪ＆釈装置を具備することを
特徴とする。

この場合上記のパルス識別部にブラウン管オッシロスコ
ープを用いる時は、肉眼による発生パルス種別の識別が
可能となる。またパルス波高値識別機能はパルス波高値
選別回路によって実現してもよく、随伴パルス有無の識
別機能はパルス巾選別用ゲート回路で実現してもよい。

また上記のサンプルガスの有効導入位置としてはコロナ
放電極を針電極、対向電極を平板電極とする峙は、針電
極先端より該対向電極表面に下した錘線の足を中心とす
る位とが適当であり、あるいは直接コロナ放電極の先端
付近を導入位置として、ここに小径の絶縁性バイブをも
ってサンプルガスを導入してもよい、またコロナ放電極
が針電極、対向゛１［極がこれを同心的にとりまく円筒
状電極である時は、針電極の先端より該円筒状電極に下
した錘線の足が構成する円線を含む円線状スリットを導
入位置とし、ここからサンプルガスを導入してもよい、
またコロナ放電極を先端を鋭くとがらせたバイブで形成
し、その基部からサンプルガスを導入してもよい。

［実俳例〕 第１図は本発明による超微細粒子検出計数装置の一実施
例を示す、金属製の接地された円筒型ケーシング１の中
心軸に沿って針状コロナ放電極２が碍管３に支持されて
絶縁配置されており、これに対向して絶縁環４に支持さ
れた所の中央に通気孔５を、またその周辺に多数の小孔
群６を有する円板状対向電極７がケーシングｌの右端面
８と間隙９をへだてて絶縁配設されており、端面８には
予め予備荷電装置１０により負の集電荷量ｅを与えられ
た超微細粒子、ないし負イオンをケーシング１内に導入
するための、外側に漏斗状気流ガイド１１を有する該通
気孔５と同形同大のサンプルガス導入口がこれと同位置
に配置されている。１３は吸引ポンプで弁１４、流量計
１５、排気口１Ｂを介してサンプルガス導入口１２より
ケーシング１の内部１７に導入されたサンプルガスを一
定流量をもって吸引する。１８はシースエア供給用ポン
プで弁１９、流量計２０を経、高性能フィルター２１で
含有微粒子を完全に除去したのち、シースエア導入口２
２から間隙Ｓ内に清咋シースエアを供給する。

このうち一部は小孔群６を通って円筒型ケーシングｌの
内部に入り、ここを左方に層流状に流れ、他は通気孔５
とサンプルガス導入口１２の間の円環状の供給口２３か
ら中心に向かって吹き出したのち、サンプルガスを囲み
つつ左方に屈折し、通気孔５を通ってケーシング１の内
部をほぼその中心軸に沿って層流状に左方に向う、己た
がって１２から導入された負荷電超微細粒子ないし負イ
オンを含むサンプルガスはこのシースエアに囲まれたま
ま拡散することなく中心軸上を細い流れとなってその全
量が針上コロナ電極２の先端２４の近傍の検出領域２５
に突入し、計数もれを生ずることがない、またこの場合
サンプルガスは予備荷電装Ｐ１ｔｏに前置された稀釈装
置２Ｇで充分に稀釈されているので、すでに述べたＮ　
＜　Ｎ　ｗａｘの条件が満足され、不感時間による計数
誤差を生ずることがない０点線で示された部分２７は、
一対の同軸円筒電極と直流電源よりなる公知のエアロゾ
ル電気的移動度分析装置で、被測定超微細粒子や負イオ
ンの個数濃度のみを知りたい時は不要であるが、その粒
径分布を知りたい時は２７が必要となる。２８は出力端
子の負側が接地され、正側が導線２９によってコロナ放
電極２に接続された所の可変直流高圧電源で、コロナ放
電極２に、対向電極７に対してコロナ開始電圧よりやや
低い正の高電圧を印加し、その値を大まかに調整しうる
。３０はその出力端子の一方が接地され、他方が検出抵
抗３１、碍管３２を介して対向電極７に接続された精密
可変直流低圧電源で７と大地との間に正又は負の低電圧
を与え、これを精密に調整することが出来、これにより
ｒマイクロパルスｊのみが出現する様にすることを可能
ならしめる。３３．３４はそれぞれ検出抵抗３１、電源
３０に並列に接続された小容量コンデンサーと大容量コ
ンデンサーで前者は検出されたマイクロパルス１個に相
当する単位電流パルスの巾を決め、後者は検出パルス信
号に電源３゜をバイパスせしめる作用をもつ。

いま負の素電荷を有する超微細粒子又は負イオンが上記
検出領域２５内に突入すると、前述の原理でパルス状の
コロナを生じ、これに応じて電流パルスが対向電極７、
検出抵抗３１およびコンデンサー３４を通って大地に流
れ、検出抵抗３１の両端にパルス電圧があられれる。こ
れが結合コンデンサー３５．３８及び導線３７．３８を
介してブラウン管オッシロスコープ３９、パルス波高値
識別部４０、パルス巾識別部４１の入力端子にそれぞれ
同時に供給される。この場合４ｏは「マイクロパルス」
では識別信号Ａを出しｌ小パルスＪ　とｒ大・パルスｊ
に対してはし出力端子４２にそれぞれ識別信号Ｂ、Ｃを
生ずる。また４１は「小パルス】の発生時にのみその出
力端子４３に識別信号りをこの様にすることによって１
条件によりｒマイクロパルス】と１小パルスＪのパルス
波高値が比較弱近くなって４０のみでの判別が困難とな
った詩でも４１の作用でも両者を確実に識別することが
出来る。

ｒ大コハルス１はその波高値が大きいので４０のみで確
実に識別できる。この場合発生パルスコロナが１小パル
ス」ないしｒ大量パルス」に対応する不適当なものであ
る時は直ちにブラウン管オッシロスコープにより肉眼で
識別できるが、またパルス波高値判別部は両方のパルス
に応答して、信号Ｂ、Ｃを出し、パルス巾識別部は「小
パルス１に応答して信号りを出し、それぞれが導線４４
．４５を介して電圧制御部４６に入力され、その出力信
号が導線４７を介して該精密可変直流低圧電源３６の電
圧制御入力端子４８に供給され、その出力電圧を自動的
に下げる。モして４１の出力信号がＥ、４０の出力信号
がＡのみとなった時に出力電圧をその一定値に保つ。

この様にしてｒマイクロパルスＪのみを出現せしめる電
圧が維持され、その時のパルス信号が導線４８．５０を
介してパルス計数器５１に供給され、単位時間当りのパ
ルス発生数を部分、その結果を導＆９５２を介してコン
ピュータ５３に入力する。コンピュータ５３にはこの他
導線５４を介してエアロゾル電気的移動度２７の印加電
圧が入力され、これから被測定Ｂ微細粒子ないし負イオ
ンの個数濃度と粒径分布を算出して、その結果を導線５
８を介してデータレコーダ５９に入力、記録せしめる。

この場合電流パルス検出計数器６０は、検出抵抗３１と
、要素３９−４０−４１をもって構成されるパルス判別
部８１と、パルス計数器５１．コンピュータ５３、デー
タレコーダ５８をもって構成されていることは云うまで
もない。

［発明の効果］ 本発明は上記のような構成とすることにより１粒径がナ
ノメーター領域の超微細粒子と負イオンを個数濃度の大
小に拘らず、極めて正確に検出計数することを可能なら
しめ、これによりその個数濃度と粒径分布の正確な測定
を可漁とする。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例を示す０図において２・・・・・
・コロナ放電極 ５・・・・・・通気孔放電極 ６・・・・・・小孔群 ７・・・・・・対向電極 ９・・・・・・間隙 １０・・・・・・予備荷電装置 １１・・・・・・漏斗状気流ガイド １２・・・・・・試料ガス等入口 １３・・・・・・吸引ポンプ １６・・・・・・排出口 １８・・・・・・ポンプ ２１・・・・・・高性能フィルター ２２・・・・・・シースエア導入口 ２３・・・・・・円環状シースエア供給口２４・・・・
・・コロナ放電極先端 ２５・・・・・・検出領域 ２６・・・・・・稀釈装と ２７・・・・・・エアロゾル電気的移動度分布装２２８
・・・・・・可変直流高電圧電源 ３０・・・・・・精密可変直流低圧電源３１・・・・・
・検出抵抗 ３９・・・・・・ブラウン管オッシロスコープ４０・・
・・・・パルス波高値識別部 ４１・・・・・・パルス巾識別部 ４６・・・・・・電圧制御部 ４８・・・・・・電圧制御入力端子 ４９・・・・・・パルス計数器 ５３・・・・・・コンピュータ ５４・・・・・・データレコーダ ６０・・・・・・電流パルス検出計数器６１・・・・・
・パルス制御部 以上 １・　　シーシ）り−ｘｓ、　　８に出’Ｉｉ＆　　　
　　　ｒｔ、　ノ？ｌＬｇｔｆｔＬ’ｌ；２、　り０す
ｊＬｆＬ央し　　　　　ｘｉ、ｊ今す一客イ１　　　　
　　ｊ−３ブシビエーターｔｘ−ｒζす橿がχ　　　　
　　　　　Ｊ／、　　線ｔ＊＆／Ｊ、　　ｏＵＩＦ＞７
’　　　　　　　　　　Ｊ２．　４１　　’Ｚｚ２．５
−ス１ア）λＯ＊＜ｉ→ε・係すイｓｒｇｐ２Ｊ、　　
５ｔｉｋ’ｓ−スｆｆ　　　　　　　　＃、１ＦＣｓグ
ｆｌｒｘウカ−ら多イ貢ｋＢＤ ２９、面脚纏　亭ｒ４１ネ オ　　　１　　　　回

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、負に予備荷電せる微細粒子ないし負イオンを浮遊せ
   るサンプルガスを導入するためのサンプルガス導入口及
   びこれを排出するためのサンプルガス排出口を有するケ
   ーシングと、該ケーシング内のサンプルガス通路に介入
   して互いに絶縁の上対向配設されたコロナ放電極と非コ
   ロナ対向電極より成るコロナ電極系と、該両電極間に該
   コロナ放電極を正とする如き極性をもって正コロナ開始
   電圧よりわずかに低い直流高電圧を印加するための直流
   高圧電源と、該コロナ放電極より発生するパルスコロナ
   により生ずる電流パルスを検出計数するための電流パル
   ス検出計数器とからなる所の超微粒子検出計数装置にお
   いて、該直流高圧電源がコロナ放電極と非コロナ対向電
   極のうち高圧側電極と大地の間に可変直流高電圧を印加
   するための可変直流高圧電源と、低圧側電極と大地の間
   に精密可変直流低電圧を印加するための精密可変直流低
   圧電源の二つの電源より成ることを特徴とする所の超微
   細粒子検出計数装置。 ２、特許請求の範囲１に記載の装置において該電流パル
   ス検出計数器が、該電流パルス波形を表示するためのブ
   ラウン管オッシロスコープと、該電流パルス波形のパル
   ス波高値の大小を識別するためのパルス波高値識別部と
   、該電流パルス波形のパルス巾の大小を識別するための
   パルス巾識別部の三つの要素の中少なくとも一つを具備
   したパルス判別部を有するを特徴とする所の超微細粒子
   検出計数装置。 ３、特許請求の範囲２に記載の装置において、該波高値
   識別部がある設定値以上と以下とのパルス波高値を有す
   るパルスの到来を区別して検知の上検知信号を出力する
   パルス波高値判別回路を有し、該パルス巾識別部がある
   設定値以上と以下のパルス巾を有するパルスの到来を区
   別して検知の上検知信号を出力するパルス巾判別回路を
   有することを特徴とする所の超微細粒子検出計数装置。 ４、特許請求の範囲１より３までに記載の装置において
   、該サンプルガス導入口が該コロナ放電極先端部より該
   非コロナ対向電極の表面に向って下した錘線の足を含む
   狭い部位に設けられていることを特徴とする所の超微細
   粒子検出計数装置。 ５、特許請求の範囲１より３までに記載の装置において
   、該サンプルガス導入口がサンプルガス導入用絶縁管を
   介して該コロナ放電極の先端部附近に設けられているこ
   とを特徴とする所の超微細粒子検出計数装置。 ６、特許請求の範囲１より５までに記載の装置において
   、そのサンプルガス導入口の周囲にサンプルガスをとり
   かこんでその拡散を防止するための清浄シースガスを導
   入するためのシースガス導入口を設けたことを特徴とす
   る所の超微細粒子検出計数装置。 ７、特許請求の範囲１より６までに記載の装置において
   該コロナ放電極がその対向電極に向った先端を鋭く仕上
   げた所の導体パイプより成り、該サンプルガス導入口が
   該導体パイプの先端と反対側の基底部開口部であって、
   該サンプルガスが該導体パイプ中を通って該パイプ先端
   のコロナ放電極先端領域に供給されることを特徴とする
   所の超微細粒子検出計数装置。 ８、特許請求の範囲１より７までに記載の装置において
   、該サンプルガス導入口の上流側にサンプルガスを清浄
   ガスにより稀釈するためのガス稀釈装置を設けたことを
   特徴とする所の超微細粒子検出計数装置。