JPS6375037U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6375037U JPS6375037U JP16975386U JP16975386U JPS6375037U JP S6375037 U JPS6375037 U JP S6375037U JP 16975386 U JP16975386 U JP 16975386U JP 16975386 U JP16975386 U JP 16975386U JP S6375037 U JPS6375037 U JP S6375037U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- wafer
- transfer
- reaction chamber
- cvd apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001505 atmospheric-pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例に係る連続常圧ＣＶ
Ｄ装置の概略構成図、第２図はトレーの一例を示
す斜視図、第３図はウエハ移行装置の他の例を示
す概略構成図、第４図はウエハ移行装置の更に他
の例を示す斜視図、第５図イ〜トは第４図のウエ
ハ移行装置の動作を順次説明する動作説明図、第
６図は従来の連続常圧ＣＶＤ装置の概略構成図で
ある。 １……ロード側の搬送部、５……トレー、６…
…開口、８……反応室、９，９′，９ａ，９ｂ…
…ウエハ移行装置、１３……ウエハ支持体、１８
……アンロード側の搬送部、１５，２８，２９…
…ピストンロツド（ウエハ支持体）、Ａ……ウエ
ハ。
Ｄ装置の概略構成図、第２図はトレーの一例を示
す斜視図、第３図はウエハ移行装置の他の例を示
す概略構成図、第４図はウエハ移行装置の更に他
の例を示す斜視図、第５図イ〜トは第４図のウエ
ハ移行装置の動作を順次説明する動作説明図、第
６図は従来の連続常圧ＣＶＤ装置の概略構成図で
ある。 １……ロード側の搬送部、５……トレー、６…
…開口、８……反応室、９，９′，９ａ，９ｂ…
…ウエハ移行装置、１３……ウエハ支持体、１８
……アンロード側の搬送部、１５，２８，２９…
…ピストンロツド（ウエハ支持体）、Ａ……ウエ
ハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ロード側の搬送部からウエハをトレーに移行さ
せて反応室に送り込み、反応室から出てくるウエ
ハをトレーからアンロード側の搬送部に移行させ
るように構成した常圧ＣＶＤ装置において、 上記トレーにウエハより小さな開口を形成する
と共に、このトレーの開口を通じて下方からウエ
ハ支持体を出没させて上記ウエハの移行を行わせ
るウエハ移行装置を、ロード側及びアンロード側
の少なくとも一方に設けたことを特徴とする常圧
ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16975386U JPS6375037U (ja) | 1986-11-05 | 1986-11-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16975386U JPS6375037U (ja) | 1986-11-05 | 1986-11-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6375037U true JPS6375037U (ja) | 1988-05-19 |
Family
ID=31103847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16975386U Pending JPS6375037U (ja) | 1986-11-05 | 1986-11-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6375037U (ja) |
-
1986
- 1986-11-05 JP JP16975386U patent/JPS6375037U/ja active Pending