JPH01145123U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01145123U JPH01145123U JP4056188U JP4056188U JPH01145123U JP H01145123 U JPH01145123 U JP H01145123U JP 4056188 U JP4056188 U JP 4056188U JP 4056188 U JP4056188 U JP 4056188U JP H01145123 U JPH01145123 U JP H01145123U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- hawk
- sic
- groove
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の溝付きＳｉＣホークの実施例
１を示す斜視図、第２図は入出炉動作時の溝付き
ＳｉＣホークの側面図、第３図は従来のＳｉＣホ
ークの側面図、第４図は第３図のＢ―Ｂ線の断面
図、第５図は実施例２の場合の溝付きＳｉＣホー
クの斜視図、第６図は第５図のＡ―Ａ線の断面図
、第７図ａは実施例２を実現するためのボートの
正面図、第７図ｂは実施例２のためのボートの斜
視図である。 １ａ……ＳｉＣホーク、１ｂ……ＳｉＣホーク
、２ａ……溝、２ｂ……溝、３……ウエハ、４…
…ボート。
１を示す斜視図、第２図は入出炉動作時の溝付き
ＳｉＣホークの側面図、第３図は従来のＳｉＣホ
ークの側面図、第４図は第３図のＢ―Ｂ線の断面
図、第５図は実施例２の場合の溝付きＳｉＣホー
クの斜視図、第６図は第５図のＡ―Ａ線の断面図
、第７図ａは実施例２を実現するためのボートの
正面図、第７図ｂは実施例２のためのボートの斜
視図である。 １ａ……ＳｉＣホーク、１ｂ……ＳｉＣホーク
、２ａ……溝、２ｂ……溝、３……ウエハ、４…
…ボート。
Claims (1)
- 管状炉形抵抗加熱ホツトウオール型の減圧気相
成長装置においてウエハをのせたボートの入出炉
用ＳｉＣホークに、ボートを保持する溝を有する
ことを特徴とする半導体素子の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4056188U JPH01145123U (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4056188U JPH01145123U (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145123U true JPH01145123U (ja) | 1989-10-05 |
Family
ID=31267030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4056188U Pending JPH01145123U (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01145123U (ja) |
-
1988
- 1988-03-28 JP JP4056188U patent/JPH01145123U/ja active Pending