JPH0267776A - ガスレーザ発振器の運転方法 - Google Patents
ガスレーザ発振器の運転方法Info
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- JPH0267776A JPH0267776A JP63218402A JP21840288A JPH0267776A JP H0267776 A JPH0267776 A JP H0267776A JP 63218402 A JP63218402 A JP 63218402A JP 21840288 A JP21840288 A JP 21840288A JP H0267776 A JPH0267776 A JP H0267776A
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- Japan
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- laser
- gas
- pressure
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- laser gas
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、孔明加工、溶接、焼入れおよび切断加工など
に使用される大出力のガスレーザ発振器の運転方法に関
する。
に使用される大出力のガスレーザ発振器の運転方法に関
する。
（従来の技術）
ガスレーザ発振器は、レーザガスを送風機で放電部へ送
り込み、放電部で励起されたレーザガスは、共振器によ
ってレーザ光を発する。このレーザ光を利用して孔明加
工、溶接、焼入れおよび切断加工などが行なわれる。そ
してレーザ運転中は、ガス供給口からレーザガスが風洞
内へ供給され、風洞内のレーザガス圧力は一定に保たれ
ている。
り込み、放電部で励起されたレーザガスは、共振器によ
ってレーザ光を発する。このレーザ光を利用して孔明加
工、溶接、焼入れおよび切断加工などが行なわれる。そ
してレーザ運転中は、ガス供給口からレーザガスが風洞
内へ供給され、風洞内のレーザガス圧力は一定に保たれ
ている。
すでに使用されているこの種のガスレーザ発振器は、１
／３０気圧程度の低圧のレーザガス中でグロー放電を行
ない、レーザ発振によってレーザ光を得ている。このレ
ーザガスは、アーク放電移行防止のため１／２０〜１／
１５気圧位まで高くしたいが、グロー放電を開始するに
は１７３０気圧程度に低くする必要がある。
／３０気圧程度の低圧のレーザガス中でグロー放電を行
ない、レーザ発振によってレーザ光を得ている。このレ
ーザガスは、アーク放電移行防止のため１／２０〜１／
１５気圧位まで高くしたいが、グロー放電を開始するに
は１７３０気圧程度に低くする必要がある。
（発明が解決しようとする課題）
しかし、レーザ発振器の出力を高めると、電極に対して
放電電圧、電流が高くなり、グロー放電が維持できずに
アーク放電へ移行してしまう。このようにアーク放電に
移行すると、レーザ発振ができなくなると同時に高温に
さらされて危険であり、場合によっては発振器を非常停
止させると云う問題があった。
放電電圧、電流が高くなり、グロー放電が維持できずに
アーク放電へ移行してしまう。このようにアーク放電に
移行すると、レーザ発振ができなくなると同時に高温に
さらされて危険であり、場合によっては発振器を非常停
止させると云う問題があった。
本発明の目的は、経済的で簡単な方法で確実にグロー放
電を維持できるガスレーザ発振器の運転方法を堤供する
ことにある。
電を維持できるガスレーザ発振器の運転方法を堤供する
ことにある。
（課題を解決するための手段）
本発明によるガスレーザ発振器の運転方法は、風洞内に
レーザガスを封入して圧力を一定に保ちながら放電によ
りレーザガスを励起してレーザ光を得るガスレーザ発振
器において、前記レーザガスの一定圧力で所定のレーザ
出力のもとに運転中から高出力運転に移行する際に、レ
ーザガス圧を所定の圧力より高く調節することを特徴と
するものである。
レーザガスを封入して圧力を一定に保ちながら放電によ
りレーザガスを励起してレーザ光を得るガスレーザ発振
器において、前記レーザガスの一定圧力で所定のレーザ
出力のもとに運転中から高出力運転に移行する際に、レ
ーザガス圧を所定の圧力より高く調節することを特徴と
するものである。
（作 用）
本発明においては、レーザ出力とレーザガス圧とは、或
範囲内で比例関係にあることを利用し、所定のレーザガ
ス圧のもとに所定のレーザ出力で運転している状態から
高出力運転に移行する際は、レーザガス圧を所定の圧力
よりも高く調節する。
範囲内で比例関係にあることを利用し、所定のレーザガ
ス圧のもとに所定のレーザ出力で運転している状態から
高出力運転に移行する際は、レーザガス圧を所定の圧力
よりも高く調節する。
このレーザガス圧が高くなることから、グロー放電から
アーク放電に移行しずらくなり、レーザ出力を高くして
も安定したグロー放電が維持でき、良質のレーザ光を得
ることができる。
アーク放電に移行しずらくなり、レーザ出力を高くして
も安定したグロー放電が維持でき、良質のレーザ光を得
ることができる。
（実施例）
以下、本発明を第１図、第２図および第３図に示す一実
施例を参照して説明する。まず本発明の運転方法を適用
するガスレーザ発振器を示す第１図および第２図におい
て、ガスレーザ発振器１０は風洞２０の内部に送風機１
１．放電部１２および熱交換器１４を配置して構成され
、ガス供給口１５から風洞２０内に送りこんだレーザガ
スを送風機１１によって放電部１２へ送り込み、この放
電部１２でレーザガスは励起され、共振器１３によって
レーザ光を発する。
施例を参照して説明する。まず本発明の運転方法を適用
するガスレーザ発振器を示す第１図および第２図におい
て、ガスレーザ発振器１０は風洞２０の内部に送風機１
１．放電部１２および熱交換器１４を配置して構成され
、ガス供給口１５から風洞２０内に送りこんだレーザガ
スを送風機１１によって放電部１２へ送り込み、この放
電部１２でレーザガスは励起され、共振器１３によって
レーザ光を発する。
そして、放電部１２を通過したレーザガスは、温度上昇
しているので、熱交換器１４により冷却されたのち、送
風機１１に戻って一巡する。またレーザガス発振器の運
転中は、ガス供給口１５からレーザガスが風洞２０内へ
供給される。風洞２０内のレーザガス圧力を一定に保つ
ため、圧力センサ１６によって制御される排気装置１７
により供給量と同量のレーザガスが排気され、風洞２０
内のレーザガスは運転中に常にリフレッシュされている
。
しているので、熱交換器１４により冷却されたのち、送
風機１１に戻って一巡する。またレーザガス発振器の運
転中は、ガス供給口１５からレーザガスが風洞２０内へ
供給される。風洞２０内のレーザガス圧力を一定に保つ
ため、圧力センサ１６によって制御される排気装置１７
により供給量と同量のレーザガスが排気され、風洞２０
内のレーザガスは運転中に常にリフレッシュされている
。
次にこのように構成されたガスレーザ発振器１０におけ
る本発明による運転方法を説明する。まず従来の運転方
法は、第４図の起動パターンに示すように、風洞２０内
を排気したのち、レーザガスを充填する。レーザガスが
１７３０気圧程度になったら、放電を開始してレーザ発
振が行なられる。そして従来の運転方法では、レーザ発
振器２０を大出力で運転する場合でも、レーザガスは１
７３０気圧程度に保たれていた。
る本発明による運転方法を説明する。まず従来の運転方
法は、第４図の起動パターンに示すように、風洞２０内
を排気したのち、レーザガスを充填する。レーザガスが
１７３０気圧程度になったら、放電を開始してレーザ発
振が行なられる。そして従来の運転方法では、レーザ発
振器２０を大出力で運転する場合でも、レーザガスは１
７３０気圧程度に保たれていた。
これに対し、本発明によるガスレーザ発振器２０の運転
方法は、第３図に示す起動パターンにしたがって行なわ
れる。すなわち、第１図、第２図および第３図において
１発振器１０の風洞２０内を排気したのちレーザガスを
充填する。レーザガスが１７３０気圧程度に充填したら
、放電部に放電を行ない放電させる。放電部１２の電極
全面にわたって均一にグロー放電が分布する。レーザガ
スの励起も均一に行なわれ、ガスレーザ発振の利得（ゲ
イン）も空間的に一様になって良質な光が得られる。そ
こで圧力センサ１６によりガス充填が完了したことを検
知し、レーザ発振させて通常の運転に入る。
方法は、第３図に示す起動パターンにしたがって行なわ
れる。すなわち、第１図、第２図および第３図において
１発振器１０の風洞２０内を排気したのちレーザガスを
充填する。レーザガスが１７３０気圧程度に充填したら
、放電部に放電を行ない放電させる。放電部１２の電極
全面にわたって均一にグロー放電が分布する。レーザガ
スの励起も均一に行なわれ、ガスレーザ発振の利得（ゲ
イン）も空間的に一様になって良質な光が得られる。そ
こで圧力センサ１６によりガス充填が完了したことを検
知し、レーザ発振させて通常の運転に入る。
次に大出力で運転する場合は、放電電圧、電流がともに
高くなることからアーク放電に移行し易くなる。レーザ
出力とレーザガス圧とは或範囲内で比例関係にあるため
、大出力時にはガス圧を高くすることが望ましい０例え
ば溶接ラインに使用する場合、５分間に３０秒間を溶接
するなど、溶接する時のみ大出力にし、常時はゼロ出力
とする間欠運転とするのが多い。これはレーザは放電効
率が１０〜２０％と低く溶接しない時に省エネとしてラ
ンニングコストを下げるためである。
高くなることからアーク放電に移行し易くなる。レーザ
出力とレーザガス圧とは或範囲内で比例関係にあるため
、大出力時にはガス圧を高くすることが望ましい０例え
ば溶接ラインに使用する場合、５分間に３０秒間を溶接
するなど、溶接する時のみ大出力にし、常時はゼロ出力
とする間欠運転とするのが多い。これはレーザは放電効
率が１０〜２０％と低く溶接しない時に省エネとしてラ
ンニングコストを下げるためである。
このようにガスレーザ発振器２０におけるゼロ出力←→
大出力の間欠運転は、特にアーク放電に移行しやすい、
そこで本発明においては、第３図の励起パターンに示す
ように全出力運転に移る時は、レーザガス圧を１７２０
〜１７１５気圧に高める。したがって、大出力でしかも
急立上げ、急立下げ、すなわちゼロ出力−大出力運転を
くり返しても安定したグロー放電を確保することができ
る。
大出力の間欠運転は、特にアーク放電に移行しやすい、
そこで本発明においては、第３図の励起パターンに示す
ように全出力運転に移る時は、レーザガス圧を１７２０
〜１７１５気圧に高める。したがって、大出力でしかも
急立上げ、急立下げ、すなわちゼロ出力−大出力運転を
くり返しても安定したグロー放電を確保することができ
る。
また第２図に示すレーザ光を出力センサ１８により検出
し、所定の出力以上のときにレーザ出力に対応させてガ
ス圧をコントロールするように運転することもできる。
し、所定の出力以上のときにレーザ出力に対応させてガ
ス圧をコントロールするように運転することもできる。
以上のように本発明においては、大出力運転時にレーザ
ガス圧を高くすることにより、特別なアーキング防止対
策をすることなく５大出力運転またはゼロ出力←→大出
力間欠運転が可能になるため、経済的で確実にグロー放
電が得られるガスレーザ発振器の運転方法を提供するこ
とができる。
ガス圧を高くすることにより、特別なアーキング防止対
策をすることなく５大出力運転またはゼロ出力←→大出
力間欠運転が可能になるため、経済的で確実にグロー放
電が得られるガスレーザ発振器の運転方法を提供するこ
とができる。
第１図および第２図は本発明によるガスレーザ発振器の
運転方法を適用するガスレーザ発振器を示す正面図およ
び側面図、第３図は本発明のガスレーザ発振器の運転方
法の一実施例を示す起動パターン特性図、第４図は従来
のガスレーザ発振器の運転方法を示す起動パターン特性
図である。 １０・・・レーザ発振器 １２・・・放電部 １４・・・熱交換器 １６・・・圧力センサ １８・・・出力センサ
運転方法を適用するガスレーザ発振器を示す正面図およ
び側面図、第３図は本発明のガスレーザ発振器の運転方
法の一実施例を示す起動パターン特性図、第４図は従来
のガスレーザ発振器の運転方法を示す起動パターン特性
図である。 １０・・・レーザ発振器 １２・・・放電部 １４・・・熱交換器 １６・・・圧力センサ １８・・・出力センサ
Claims (1)
- 風洞内にレーザガスを封入して圧力を一定に保ちながら
放電によりレーザガスを励起してレーザ光を得るガスレ
ーザ発振器の運転方法において、前記レーザガスの一定
圧力で所定のレーザ出力のもとに運転中から高出力運転
に移行する際に、レーザガス圧を所定の圧力より高く調
節することを特徴とするガスレーザ発振器の運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63218402A JPH0267776A (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | ガスレーザ発振器の運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63218402A JPH0267776A (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | ガスレーザ発振器の運転方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0267776A true JPH0267776A (ja) | 1990-03-07 |
Family
ID=16719348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63218402A Pending JPH0267776A (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | ガスレーザ発振器の運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0267776A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012005477A (ja) * | 2010-05-27 | 2012-01-12 | Yukio Kitazawa | くくり罠 |
-
1988
- 1988-09-02 JP JP63218402A patent/JPH0267776A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012005477A (ja) * | 2010-05-27 | 2012-01-12 | Yukio Kitazawa | くくり罠 |
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