JPS6389254A - 位置合わせ用観察装置 - Google Patents
位置合わせ用観察装置Info
- Publication number
- JPS6389254A JPS6389254A JP61233508A JP23350886A JPS6389254A JP S6389254 A JPS6389254 A JP S6389254A JP 61233508 A JP61233508 A JP 61233508A JP 23350886 A JP23350886 A JP 23350886A JP S6389254 A JPS6389254 A JP S6389254A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- total reflection
- reflection surface
- optical path
- image
- alignment
- Prior art date
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- Pending
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- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、トリル加工・放電加工・レーザ加工・プレス
加工等（＝おける加工工具と対向する被加工物また対向
する一対の加工工具の位置合わせを行なうための位置合
わせ用観察装置に関するものである。
加工等（＝おける加工工具と対向する被加工物また対向
する一対の加工工具の位置合わせを行なうための位置合
わせ用観察装置に関するものである。
従来の技術
従来、加工工具とこれに対向する被加工物の位置合わせ
を行なうには、第３図に示すようにドリル工具３１と、
被加工物３２を顕微鏡３３などで斜め方向から観察しな
がら被加工物３２を移動する。または第４図（匈、■）
に示すように試料台３４に位置合わせ用の当て板３５を
設け、被加工物３６の基準面３７を当て板３５に合わせ
て位置合わせしたり、試料台３４にガイドピン３８を設
け、被加工物３６にガイドピン３８に対応する基準穴３
９を加工し、これらがイドビン３８と基準穴３９の嵌合
により位置合わせを行なっていた。
を行なうには、第３図に示すようにドリル工具３１と、
被加工物３２を顕微鏡３３などで斜め方向から観察しな
がら被加工物３２を移動する。または第４図（匈、■）
に示すように試料台３４に位置合わせ用の当て板３５を
設け、被加工物３６の基準面３７を当て板３５に合わせ
て位置合わせしたり、試料台３４にガイドピン３８を設
け、被加工物３６にガイドピン３８に対応する基準穴３
９を加工し、これらがイドビン３８と基準穴３９の嵌合
により位置合わせを行なっていた。
発明が解決しようとする問題点
しかし、上記従来例において、顕微鏡３３により斜め方
向から観察する方式では、顕微鏡３３に対して直角方向
の位置合わせは、高精度に行なうことができるが、被加
工物３２と顕微鏡３３を含む平面（二ついては、位置合
わせ精度が劣る。また２台の顕微鏡をそれぞれ直角な２
方向に配置すれは、位置合わせ精度は良くなるが、作業
性が著しく低下する。
向から観察する方式では、顕微鏡３３に対して直角方向
の位置合わせは、高精度に行なうことができるが、被加
工物３２と顕微鏡３３を含む平面（二ついては、位置合
わせ精度が劣る。また２台の顕微鏡をそれぞれ直角な２
方向に配置すれは、位置合わせ精度は良くなるが、作業
性が著しく低下する。
また基準面３７やガイドピン３８で位置合わせする方式
では、位置合わせ精度に限界があり、士５μｍ以内に位
置合わせすることは困難である。
では、位置合わせ精度に限界があり、士５μｍ以内に位
置合わせすることは困難である。
そこで、本発明は、上記従来例の問題点を解決するもの
で、±５μｍに加工工具とこれに対向する被加工物また
は加工工具を高精度に位置合わせすることができ、また
位置合わせ作業の際に疲労も少なく、作業性を向上させ
ることができるようにした位置合わせ用観察装置を提供
しようとするものである。
で、±５μｍに加工工具とこれに対向する被加工物また
は加工工具を高精度に位置合わせすることができ、また
位置合わせ作業の際に疲労も少なく、作業性を向上させ
ることができるようにした位置合わせ用観察装置を提供
しようとするものである。
問題点を解決するための手段
そして、上記問題点を解決するための、本発明の技術的
な手段は、加工工具とこの加工工具に対向して配置され
る被加工物または加工工具との中間に配置され、全反射
面とハーフミ・ラー面を有し、上記対向した両者の像を
同一視野内に形成する光路合成光学系と、この光路合成
光学系により形成された両者の像を投影するレンズ系と
、このレンズ系により投影される像を観察する手段とを
備えたものである。
な手段は、加工工具とこの加工工具に対向して配置され
る被加工物または加工工具との中間に配置され、全反射
面とハーフミ・ラー面を有し、上記対向した両者の像を
同一視野内に形成する光路合成光学系と、この光路合成
光学系により形成された両者の像を投影するレンズ系と
、このレンズ系により投影される像を観察する手段とを
備えたものである。
作 用
上記技術的手段による作用は次のようになる。
すなわち、加工工具とこれに対向する被加工物または加
工工具の像を光路合成光学系により同一視野内に形成し
、この両者の像を投影して観察することにより、直角２
方向の位置合わせな行なうことができ、レンズ系の倍率
を高めることにより、±５μｍ以下の高精度な位置合わ
せを行なうことができる。また観察手段により観察する
ので疲労も少なく、作業性を向上させることができる。
工工具の像を光路合成光学系により同一視野内に形成し
、この両者の像を投影して観察することにより、直角２
方向の位置合わせな行なうことができ、レンズ系の倍率
を高めることにより、±５μｍ以下の高精度な位置合わ
せを行なうことができる。また観察手段により観察する
ので疲労も少なく、作業性を向上させることができる。
一実施例
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。
する。
まず、本発明の第１実施例について説明する。
第１図は本発明の第１実施例における位置合わせ用観察
装置を示す説明図である。本実施例においては、一対の
加工工具であるプレス加工金型のボンデとダイスの位置
合わせを行なう場合を示している。
装置を示す説明図である。本実施例においては、一対の
加工工具であるプレス加工金型のボンデとダイスの位置
合わせを行なう場合を示している。
第１図において、１と２は上下に対向して配置されたポ
ンチとダイスである。３はボンｙ−１とダイス２の中間
に配置された第１のプリズムで、ポンチ１とダイス２の
軸に対しほぼ４５度のハーフミラ−面４とポンチ１とダ
イス２の軸と平行に設けられた全反射面５を有している
。６は第２のプリズムで、第１のプリズム３の側方に配
置され、全反射面７が第１のプリズム３のハーフミラ−
面４と平行となるように向けられている。８は第２のプ
リズム６の全反射面７に対し、第１のプリズム３と直角
方向に配置された集光レンズ、９は集光レンズ８の結像
側に配置されたテレビカメラ、１０はテレビカメラ９に
接続されたモニタテレビである。
ンチとダイスである。３はボンｙ−１とダイス２の中間
に配置された第１のプリズムで、ポンチ１とダイス２の
軸に対しほぼ４５度のハーフミラ−面４とポンチ１とダ
イス２の軸と平行に設けられた全反射面５を有している
。６は第２のプリズムで、第１のプリズム３の側方に配
置され、全反射面７が第１のプリズム３のハーフミラ−
面４と平行となるように向けられている。８は第２のプ
リズム６の全反射面７に対し、第１のプリズム３と直角
方向に配置された集光レンズ、９は集光レンズ８の結像
側に配置されたテレビカメラ、１０はテレビカメラ９に
接続されたモニタテレビである。
次に上記実施例の動作（二ついて説明する。ボンｆ１と
ダイス２を照明すると、ポンチ１の像は第１のプリズム
３のハーフミラ−面４で反射され、全反射面５（二より
折り返され、ハーフミラ−面４を透過する。一方、ダイ
ス２の像は、ハーフミラ−面３で反射され、ボンｆ１の
像と同軸上に重なる。これらボンｆ１とダイス２の像は
それぞれ第２のプリズム６の全反射面７により反射され
、集光レンズ８Ｃ二よりテレビカメラ９に拡大して結像
され、モニタテレビ１０に表示される。従ってモニタテ
レビ１０上の像を正面側から観察しながら両者の位置合
わせを行なうことができる。
ダイス２を照明すると、ポンチ１の像は第１のプリズム
３のハーフミラ−面４で反射され、全反射面５（二より
折り返され、ハーフミラ−面４を透過する。一方、ダイ
ス２の像は、ハーフミラ−面３で反射され、ボンｆ１の
像と同軸上に重なる。これらボンｆ１とダイス２の像は
それぞれ第２のプリズム６の全反射面７により反射され
、集光レンズ８Ｃ二よりテレビカメラ９に拡大して結像
され、モニタテレビ１０に表示される。従ってモニタテ
レビ１０上の像を正面側から観察しながら両者の位置合
わせを行なうことができる。
次に本発明の第２実施例について説明する。第２図は本
発明の第２実施例を示す説明図である。
発明の第２実施例を示す説明図である。
本実施例においては、上記第１実施例とは第１のプリズ
ム３の構成が相違するのみであるので、主としてこの第
１のプリズム３１：ついて説明する。
ム３の構成が相違するのみであるので、主としてこの第
１のプリズム３１：ついて説明する。
第２図に示すようにポンチｌとダイス２の中間に配置さ
れた第１のプリズム３はポンチ１とダイス２の軸に対し
ほぼ４５度の全反射面１１と、この全反射面１１と平行
な全反射面１２と、この全反射面１２の下側で、全反射
面１２と対称な全反射１３と、ボンｆ１とダイス２の軸
に対しほぼ４５度で、全反射面１１の下側に平行に位置
するハーフミラ−１４を有している。
れた第１のプリズム３はポンチ１とダイス２の軸に対し
ほぼ４５度の全反射面１１と、この全反射面１１と平行
な全反射面１２と、この全反射面１２の下側で、全反射
面１２と対称な全反射１３と、ボンｆ１とダイス２の軸
に対しほぼ４５度で、全反射面１１の下側に平行に位置
するハーフミラ−１４を有している。
次に上記実施例の動作について説明する。ポンチ１とダ
イス２を照明すると、ポンチ１の像は全反射面１１．１
２．１３で順次反射されてハーフミラ−面１４を透過す
る。一方、ダイス２の像はハーフミラ−面１４で反射さ
れ、ポンチ１の像と同軸上に重なる。これらポンチ１と
ダイス２の像はそれぞれ第２のプリズム６の全反射面７
により反射され、集光レンズ８）ユよりテレビカメラ９
に拡大して結像され、モニタテレビ１０に表示される。
イス２を照明すると、ポンチ１の像は全反射面１１．１
２．１３で順次反射されてハーフミラ−面１４を透過す
る。一方、ダイス２の像はハーフミラ−面１４で反射さ
れ、ポンチ１の像と同軸上に重なる。これらポンチ１と
ダイス２の像はそれぞれ第２のプリズム６の全反射面７
により反射され、集光レンズ８）ユよりテレビカメラ９
に拡大して結像され、モニタテレビ１０に表示される。
従ってモニタテレビ１０上の像を正面側から観察しなが
ら位置合わせを行なうことができる。
ら位置合わせを行なうことができる。
上記第１実施例においては、ポンチ１とダイス２に対す
る照明が同じ照度である場合には、ポンチ１とダイス２
のモニタテレビ１０上の像の明るさに差が生じるが、本
実施例では２つの像の明るさは等しくなる。
る照明が同じ照度である場合には、ポンチ１とダイス２
のモニタテレビ１０上の像の明るさに差が生じるが、本
実施例では２つの像の明るさは等しくなる。
尚、上記第１、第２実施例において、光路合成光学系を
構成する第１と第２のプリズム３と６の内、第２のプリ
ズム６は、装置全体のスペースを考慮して配置したもの
であり、位置合わせ用観察装置としては、特に配置しな
くてもよい。
構成する第１と第２のプリズム３と６の内、第２のプリ
ズム６は、装置全体のスペースを考慮して配置したもの
であり、位置合わせ用観察装置としては、特に配置しな
くてもよい。
発明の効果
以上述べたように本発明）ユよれは、加工工具とこの加
工工具に対向して配置される被加工物または加工工具と
の中間に光路合成光学系を配置し、この光路合成光学系
の全反射面とハーフミラ−面により上記対向した両者の
像を同一視野内に形成し、この両者の像をレンズ系によ
り観察手段）二段形して観察するようにしているので、
士５μｍ以下の高精度な位置合わせな行なうことができ
、また疲労も少なく、作業性を向上させることができる
。
工工具に対向して配置される被加工物または加工工具と
の中間に光路合成光学系を配置し、この光路合成光学系
の全反射面とハーフミラ−面により上記対向した両者の
像を同一視野内に形成し、この両者の像をレンズ系によ
り観察手段）二段形して観察するようにしているので、
士５μｍ以下の高精度な位置合わせな行なうことができ
、また疲労も少なく、作業性を向上させることができる
。
第１図は本発明の第１実施例における位置合わせ用観察
装置を示す説明図、第２図は本発明の第２実施例を示す
説明図、第３図は従来の位置合わせ用観察装置を示す正
面図、第４図（（転）は従来の位置合わせ手段を示す平
面図、同図ｆｂ）はその正面図である。 １・・・ポンチ、２・・・ダイス、３川第１のプリズム
、４・・・ハーフミラ−面、５・・・全反射面、６・・
・第２のプリズム、７・・・全反射面、訃・・集光レン
ズ、９・・・テレビカメラ、１ｏ・・・モニタテレビ、
１１．−１２．１３・・・全反射面、１４・・・ハーフ
ミラ−面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名１１
図
装置を示す説明図、第２図は本発明の第２実施例を示す
説明図、第３図は従来の位置合わせ用観察装置を示す正
面図、第４図（（転）は従来の位置合わせ手段を示す平
面図、同図ｆｂ）はその正面図である。 １・・・ポンチ、２・・・ダイス、３川第１のプリズム
、４・・・ハーフミラ−面、５・・・全反射面、６・・
・第２のプリズム、７・・・全反射面、訃・・集光レン
ズ、９・・・テレビカメラ、１ｏ・・・モニタテレビ、
１１．−１２．１３・・・全反射面、１４・・・ハーフ
ミラ−面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名１１
図
Claims (2)
- （１）加工工具とこの加工工具に対向して配置される被
加工物または加工工具との中間に配置され、全反射面と
ハーフミラー面を有し、上記対向した両者の像を同一視
野内に形成する光路合成光学系と、この光路合成光学系
により形成された両者の像を投影するレンズ系と、この
レンズ系により投影される像を観察する手段とを備えた
ことを特徴とする位置合わせ用観察装置。 - （２）観察手段がレンズ系により結像されるテレビカメ
ラと、このテレビカメラの像が表示されるモニタテレビ
とより構成されている特許請求の範囲第１項記載の位置
合わせ用観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61233508A JPS6389254A (ja) | 1986-10-01 | 1986-10-01 | 位置合わせ用観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61233508A JPS6389254A (ja) | 1986-10-01 | 1986-10-01 | 位置合わせ用観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6389254A true JPS6389254A (ja) | 1988-04-20 |
Family
ID=16956128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61233508A Pending JPS6389254A (ja) | 1986-10-01 | 1986-10-01 | 位置合わせ用観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6389254A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007237196A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Seiko Precision Inc | 穿孔装置及び穿孔方法 |
| JP2008161975A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Howa Mach Ltd | パンチングマシンのダイの芯出し方法 |
| JP2008188676A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-21 | Howa Mach Ltd | パンチング機構のダイの芯出し装置 |
| JP2016076601A (ja) * | 2014-10-06 | 2016-05-12 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
-
1986
- 1986-10-01 JP JP61233508A patent/JPS6389254A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007237196A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Seiko Precision Inc | 穿孔装置及び穿孔方法 |
| JP2008161975A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Howa Mach Ltd | パンチングマシンのダイの芯出し方法 |
| JP2008188676A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-21 | Howa Mach Ltd | パンチング機構のダイの芯出し装置 |
| JP2016076601A (ja) * | 2014-10-06 | 2016-05-12 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
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