JPS6089702A - コンビヘッド取付け位置観察用鏡筒 - Google Patents
コンビヘッド取付け位置観察用鏡筒Info
- Publication number
- JPS6089702A JPS6089702A JP58197836A JP19783683A JPS6089702A JP S6089702 A JPS6089702 A JP S6089702A JP 58197836 A JP58197836 A JP 58197836A JP 19783683 A JP19783683 A JP 19783683A JP S6089702 A JPS6089702 A JP S6089702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- image
- combination head
- beam splitter
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/04—Measuring microscopes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分懸
本発明は、ＶＴＲヘッドの取付は調整や、精度検査用の
顕微鏡筒に関するものである。
顕微鏡筒に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来の構成を第１図〜第１０図により説明する。
ＶＴＲ（ビデオテープレコーダ、以下ＶＴＦｔと略す）
ヘッドには第１図に示すシングルヘッド１と他に第２図
に示すコンビヘッド２とがあり、第４図に示す上シリン
ダ−３にコンビヘッド２を取付ける際には、第４図〜第
６図に示すように、角度割出し量＆（Ｒコンビヘッド４
とＬコンビヘッド６の回転方向の相対位置）、Ｒコンビ
ヘッド４゜゛ Ｌコンビヘッド５の上シリンダ−３から
の突出し量す、Ｒコンビヘッド４．Ｌコンビヘッド５の
上シリンダ−３の回転面からの高さｃ、Ｒ合せｄ（ヘソ
ドチソ７’２ａ、２ｂのヘッドギャップ２ｃ。
ヘッドには第１図に示すシングルヘッド１と他に第２図
に示すコンビヘッド２とがあり、第４図に示す上シリン
ダ−３にコンビヘッド２を取付ける際には、第４図〜第
６図に示すように、角度割出し量＆（Ｒコンビヘッド４
とＬコンビヘッド６の回転方向の相対位置）、Ｒコンビ
ヘッド４゜゛ Ｌコンビヘッド５の上シリンダ−３から
の突出し量す、Ｒコンビヘッド４．Ｌコンビヘッド５の
上シリンダ−３の回転面からの高さｃ、Ｒ合せｄ（ヘソ
ドチソ７’２ａ、２ｂのヘッドギャップ２ｃ。
２ｄの中点とヘッド先端のＲの頂点との相対位置）の４
項目の調整を行々う必要があり、いずれもミクロンオー
ダの精度で調整されなければ力らない。
項目の調整を行々う必要があり、いずれもミクロンオー
ダの精度で調整されなければ力らない。
まだコンビヘッド２では、ヘントチツブ２ ＆、２ ｂ
のヘッドギャップ２Ｑ 、２ｄが調整基準と々す、顕微
鏡観察をする上でヘッドチップ２ａ、２ｂを同時に視野
内で観察する必要がある。
のヘッドギャップ２Ｑ 、２ｄが調整基準と々す、顕微
鏡観察をする上でヘッドチップ２ａ、２ｂを同時に視野
内で観察する必要がある。
従来ＶＴＲヘッドを上シリンダーに位置決めする調整は
本発明者がすでに提案しだ通シ、第７図。
本発明者がすでに提案しだ通シ、第７図。
第８図に示す調整機（特許願５７−５５０２７号明細書
）で行々っていた。このヘッド位置調整機について説明
する。このヘッド位置調整機はシングルヘッド用に開発
されたものであり、６は上シリンダ−３を固定する固定
台である。７はＶＴＲヘッド先端のＲ頂点検出用の干渉
対物レンズ８と撮像管９とを備えた調整側顕微鏡鏡筒で
ある。
）で行々っていた。このヘッド位置調整機について説明
する。このヘッド位置調整機はシングルヘッド用に開発
されたものであり、６は上シリンダ−３を固定する固定
台である。７はＶＴＲヘッド先端のＲ頂点検出用の干渉
対物レンズ８と撮像管９とを備えた調整側顕微鏡鏡筒で
ある。
１ｏは対物レンズ１１と撮像管９とを備えた位置決め側
顕微鏡鏡筒である。１２ 、１２＆は回転テーブル上に
配置されたヘッドを挾持するチャック爪である。１３，
１４．１５はそれぞれＹテーブル１７２回転テーブル１
８．ｘテーブル２ｏを動かすマイクロメータヘッドであ
る。調整側顕微鏡鏡筒７と位置決め側顕微鏡鏡筒１ｏと
でＲヘッド１６、Ｌヘッド１７を観察しながらヘッドを
チャック爪１２．１２＆により挾持しマイクロメータヘ
ッド１３，１４．１５で、Ｙテーブル２０．回転テーブ
ル１８．ｘテ＝プル１９を動かせ、ヘッドの位置調整を
行なう。このヘッドの位置を決定する要因は、撮像管よ
り写し出されたＴＶ（テレビ、以下ＴＶと略す）モニタ
ー上での電子ラインとへソドギャソプとの関係でありこ
の位置決め精度を決定する要因はＴＶモニター上の拡大
倍率である。シングルヘッドの位置調整であれば、ヘッ
ドギャップが１本であることから拡大倍率を大きくとれ
高精度の位置調整ができるものであるが、コンビヘッド
の調整では、第９図（調整側顕微鏡鏡筒７により観察で
きるＴＶモニター」二の画像）。
顕微鏡鏡筒である。１２ 、１２＆は回転テーブル上に
配置されたヘッドを挾持するチャック爪である。１３，
１４．１５はそれぞれＹテーブル１７２回転テーブル１
８．ｘテーブル２ｏを動かすマイクロメータヘッドであ
る。調整側顕微鏡鏡筒７と位置決め側顕微鏡鏡筒１ｏと
でＲヘッド１６、Ｌヘッド１７を観察しながらヘッドを
チャック爪１２．１２＆により挾持しマイクロメータヘ
ッド１３，１４．１５で、Ｙテーブル２０．回転テーブ
ル１８．ｘテ＝プル１９を動かせ、ヘッドの位置調整を
行なう。このヘッドの位置を決定する要因は、撮像管よ
り写し出されたＴＶ（テレビ、以下ＴＶと略す）モニタ
ー上での電子ラインとへソドギャソプとの関係でありこ
の位置決め精度を決定する要因はＴＶモニター上の拡大
倍率である。シングルヘッドの位置調整であれば、ヘッ
ドギャップが１本であることから拡大倍率を大きくとれ
高精度の位置調整ができるものであるが、コンビヘッド
の調整では、第９図（調整側顕微鏡鏡筒７により観察で
きるＴＶモニター」二の画像）。
第１０図（位置決め側顕微鏡鏡筒１ｏにより観察できる
ＴＶモニター上の画像）に示す様にヘッドギャップ２２
が２本あり、その間隔が大きい為、拡大倍率が大きくと
れず、角度割出し調整精度が悪く分留りが悪いといった
問題がある。
ＴＶモニター上の画像）に示す様にヘッドギャップ２２
が２本あり、その間隔が大きい為、拡大倍率が大きくと
れず、角度割出し調整精度が悪く分留りが悪いといった
問題がある。
発明の目的
本発明は、対物レンズを通過した像の光をビームスプリ
ンタで２分し、小倍率側と大倍率側とを構成し、２個の
撮像管を使用しＲと突出し調整は小倍率側でコンビヘッ
ド全体を観察しながら行ない、割出し調整は大倍率側で
基準側のヘッドギャップを反射鏡の位置を調整すること
により観察できるようにして行ない、角度割出し精度を
向上させることにある。
ンタで２分し、小倍率側と大倍率側とを構成し、２個の
撮像管を使用しＲと突出し調整は小倍率側でコンビヘッ
ド全体を観察しながら行ない、割出し調整は大倍率側で
基準側のヘッドギャップを反射鏡の位置を調整すること
により観察できるようにして行ない、角度割出し精度を
向上させることにある。
発明の構成
本発明のコンビヘッド観察用２視野鏡筒は、対物レンズ
の後方に設置された対物レンズを通過した像の光を２分
するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタの直角
方向にビームスプリッタより反射した光を再度直角方向
に反射させ々おかつ ゛水平方向に移動できる反射鏡と
、前記ビームスプＩＪ ツタの後方前記対物レンズによ
る像の結像位置の前もしくは後に設置された倍率を縮小
するように位置決めされた結像レンズと、２視舟のそれ
ぞれを観察するテレビカメラ等が取り付き可能な前記ビ
ームスプリッタ、反射鏡、結像レンズを設置する鏡筒と
からなり、コンビヘッドを大倍率と小倍率で、部分的に
大きくまた、広い視野を観察することができる。また反
視鏡を水平方向に移動することにより対物レンズの視野
内の任意の位置の観察ができる。
の後方に設置された対物レンズを通過した像の光を２分
するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタの直角
方向にビームスプリッタより反射した光を再度直角方向
に反射させ々おかつ ゛水平方向に移動できる反射鏡と
、前記ビームスプＩＪ ツタの後方前記対物レンズによ
る像の結像位置の前もしくは後に設置された倍率を縮小
するように位置決めされた結像レンズと、２視舟のそれ
ぞれを観察するテレビカメラ等が取り付き可能な前記ビ
ームスプリッタ、反射鏡、結像レンズを設置する鏡筒と
からなり、コンビヘッドを大倍率と小倍率で、部分的に
大きくまた、広い視野を観察することができる。また反
視鏡を水平方向に移動することにより対物レンズの視野
内の任意の位置の観察ができる。
実施例の説明
以下に本発明の一実施例を第１１図〜第１５図にもとづ
いて説明する。第１１図、第１２図はコンビヘッド観察
用２視野鏡筒をコンビヘッド用調整側顕微鏡筒２４とし
て設けたコンビヘッド位置調整機である。第１３図は、
コンビヘッド観察用２視野鏡筒の光学系のブロック図で
ある゛。２５は対物レンズからの像の光を２分するビー
ムスプリッタで、２６は、送り手段である調整ネジ２７
でＸ方向に動く反射鏡である。ビームスプリンタで別れ
た像は、反射鏡２６に当り、大倍率像りとなって撮像管
に写る。２８は、大倍率像り側の光路長より短い位置に
設けられた縮小用の結像レンズであり、像は小倍率像Ｅ
となって撮像管に写る。
いて説明する。第１１図、第１２図はコンビヘッド観察
用２視野鏡筒をコンビヘッド用調整側顕微鏡筒２４とし
て設けたコンビヘッド位置調整機である。第１３図は、
コンビヘッド観察用２視野鏡筒の光学系のブロック図で
ある゛。２５は対物レンズからの像の光を２分するビー
ムスプリッタで、２６は、送り手段である調整ネジ２７
でＸ方向に動く反射鏡である。ビームスプリンタで別れ
た像は、反射鏡２６に当り、大倍率像りとなって撮像管
に写る。２８は、大倍率像り側の光路長より短い位置に
設けられた縮小用の結像レンズであり、像は小倍率像Ｅ
となって撮像管に写る。
２９は前記ビームスプリンタ２６１反射鏡２６゜調整ネ
ジ２７．結像レンズ２８を設けた鏡筒である。第１４図
は、撮像管９ａにより写し出された小倍率像のコンビヘ
ッドであり、Ｒと突出し調整に使用される。第１５図は
、撮像管９ｂと９０′ｒ：写し出されたＲヘッド４．Ｌ
ヘッド５．の角度割出し基準になるヘッドギャップ付近
の大倍率像であり、角度割出し調整においては、ヘッド
ギャップしか必要とし々いので、１つのＴＶモニターを
分割し、９ｂ、９０の像を入れ観察しやすくしたもので
ある。
ジ２７．結像レンズ２８を設けた鏡筒である。第１４図
は、撮像管９ａにより写し出された小倍率像のコンビヘ
ッドであり、Ｒと突出し調整に使用される。第１５図は
、撮像管９ｂと９０′ｒ：写し出されたＲヘッド４．Ｌ
ヘッド５．の角度割出し基準になるヘッドギャップ付近
の大倍率像であり、角度割出し調整においては、ヘッド
ギャップしか必要とし々いので、１つのＴＶモニターを
分割し、９ｂ、９０の像を入れ観察しやすくしたもので
ある。
次にコンビヘッド観察用２視野鏡筒を設置したコンビヘ
ッド位置調整機によるコンビヘッド調整方法を簡単に説
明する。コンビヘッド用調整側顕微鏡筒２４と位置決め
側顕微鏡筒１ｏの光軸と固定台６の中心とが同軸上にセ
ントされたヘッド位置調整機において、上シリンダーを
固定手段により固定し、捷ずＲコンビヘッド４をコンビ
ヘッド用調整側顕微鏡筒２４で観察し、Ｒコンビヘッド
をチャック爪で挾持し、マイクロメータヘッド１３．１
４．１５を動かしＴＶモニター像が第１４図、第１６図
の右側像３０．２１は電子ライン、２２．２２ａ 、２
ｇｂはヘッドキャップ、２３は干渉縞のごとく調整しネ
ジ４ａにより固定する。チャック爪１２．１２＆をはず
し、固定手段をゆるめＲコンビヘッド４を位置決め側顕
微鏡筒１ｏに第１５図の左側像３１に示すように位置合
せを行ない、Ｌコンビヘッド５をＲコンビヘッドと同じ
く調整すれば、Ｒ合せ、突出し量１割出し調整が、Ｒコ
ンビヘッド４．Ｌコンビヘッド５゜共に完了となる。こ
のように前記コンビヘッド観察用２視野鏡筒を配置した
コンビヘッド位置調整機テは、コンビヘッドを大きく拡
大して精度良く角度割出し調整できるものである。
ッド位置調整機によるコンビヘッド調整方法を簡単に説
明する。コンビヘッド用調整側顕微鏡筒２４と位置決め
側顕微鏡筒１ｏの光軸と固定台６の中心とが同軸上にセ
ントされたヘッド位置調整機において、上シリンダーを
固定手段により固定し、捷ずＲコンビヘッド４をコンビ
ヘッド用調整側顕微鏡筒２４で観察し、Ｒコンビヘッド
をチャック爪で挾持し、マイクロメータヘッド１３．１
４．１５を動かしＴＶモニター像が第１４図、第１６図
の右側像３０．２１は電子ライン、２２．２２ａ 、２
ｇｂはヘッドキャップ、２３は干渉縞のごとく調整しネ
ジ４ａにより固定する。チャック爪１２．１２＆をはず
し、固定手段をゆるめＲコンビヘッド４を位置決め側顕
微鏡筒１ｏに第１５図の左側像３１に示すように位置合
せを行ない、Ｌコンビヘッド５をＲコンビヘッドと同じ
く調整すれば、Ｒ合せ、突出し量１割出し調整が、Ｒコ
ンビヘッド４．Ｌコンビヘッド５゜共に完了となる。こ
のように前記コンビヘッド観察用２視野鏡筒を配置した
コンビヘッド位置調整機テは、コンビヘッドを大きく拡
大して精度良く角度割出し調整できるものである。
発明の効果
以上、本発明は、対物レンズを通過した像の光をビーム
スプリッタで２分し、小倍率側と大倍率側を、縮小用結
像レンズと光路長により構成し、小倍率側で、Ｒと突出
し量調整、大倍率側で角度割出し調整を行なうもので、
本発明によるコンビヘッド観察用２視野鏡筒を配置した
コンビヘッド位置調整機によると、コンビヘッドの調整
力精度良く行なわれるばかりか、大倍率側を使用すると
シングルヘッド調整機としても使用でき汎用性が高くな
るという特徴も奏している。
スプリッタで２分し、小倍率側と大倍率側を、縮小用結
像レンズと光路長により構成し、小倍率側で、Ｒと突出
し量調整、大倍率側で角度割出し調整を行なうもので、
本発明によるコンビヘッド観察用２視野鏡筒を配置した
コンビヘッド位置調整機によると、コンビヘッドの調整
力精度良く行なわれるばかりか、大倍率側を使用すると
シングルヘッド調整機としても使用でき汎用性が高くな
るという特徴も奏している。
第１図はシングルヘッドの斜視図、第２図はコンビヘッ
ドの斜視図、第３図はコンビヘッドを第２図のＡ方向か
ら見たヘッドチップの正面図、第４図はコンビヘッドが
上シリンダーに取り付いた斜視図、第６図は第４図のＢ
方向から見たコンビヘッドの突出しの平面図、第６図は
コンビヘッド８合わせの図、第７図は従来のヘッド位置
調整機の平面図、第８図は同正面図、第９図は従来のヘ
ッド位置調整機の調整側顕微鏡鏡筒で観察できるコンビ
ヘッドのＴＶモニター像の図、第１０図は同位置決め側
顕微鏡鏡筒で観察できるコンビヘッドのＴＶモニター像
の図、第１１図は本発明の一実施例におけるコンビヘッ
ド観察用２視野鏡筒によるコンビヘッド用調整側顕微鏡
筒を設置しだヘッド位置調整機の平面図、第１２図は同
正面図、第１３図はコンビヘッド観察用２視野鏡筒の光
学系ブロック図、第１４図は、同光学系の小倍率側で観
察できるコンビヘッドのＴＶモニター像ノ図、第１５図
は、同光学系の大倍率側の像と、位置決め側顕微鏡筒の
像のＴＶモニター像の図である。 １・・・・・・シンクルヘッド、２・・・・・・コンビ
ヘッド、２０．２ｄ・・・・−ヘッドキャップ、３・曲
・上シリンダ−，４・山・Ｒコンビヘッド、５・・・・
・・Ｌコンビヘッド、６・・・・・・固定台、７・・・
・・・調整側顕微鏡鏡筒、８・・・・・・干渉対物レン
ズ、９・・山・撮像管、１ｏ・・・・・・位置決め側顕
微鏡筒、１１・・旧対物レンズ、１２゜１２’ａ・・・
・・・チャック爪、１３，１４．１５・・・・・マイク
ロメータヘッド、１８・・・・・回転テーブル、１９・
・・・・Ｘテーブル、２ｏ・・川・Ｙ チー フ、Ｉ＋
／、２１・・・・・・電子ライン、２２．２２＆ 、２
２ｂ・・・・・・ヘッドギャップ、２３・・・・・・干
渉縞、２４・・・・・・コンビヘッド用調整側顕微鏡筒
、２５・・・・・ビームスプリッタ、２６・・・・・・
反射鏡、２７・・・・・・調整ネジ、２８・・・・・・
結像レンズ、２９・・・・・・鏡筒。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第４図 第５Ｉ７１ 第６図 第８図 第９図 Ｉ 第１０図 ２
ドの斜視図、第３図はコンビヘッドを第２図のＡ方向か
ら見たヘッドチップの正面図、第４図はコンビヘッドが
上シリンダーに取り付いた斜視図、第６図は第４図のＢ
方向から見たコンビヘッドの突出しの平面図、第６図は
コンビヘッド８合わせの図、第７図は従来のヘッド位置
調整機の平面図、第８図は同正面図、第９図は従来のヘ
ッド位置調整機の調整側顕微鏡鏡筒で観察できるコンビ
ヘッドのＴＶモニター像の図、第１０図は同位置決め側
顕微鏡鏡筒で観察できるコンビヘッドのＴＶモニター像
の図、第１１図は本発明の一実施例におけるコンビヘッ
ド観察用２視野鏡筒によるコンビヘッド用調整側顕微鏡
筒を設置しだヘッド位置調整機の平面図、第１２図は同
正面図、第１３図はコンビヘッド観察用２視野鏡筒の光
学系ブロック図、第１４図は、同光学系の小倍率側で観
察できるコンビヘッドのＴＶモニター像ノ図、第１５図
は、同光学系の大倍率側の像と、位置決め側顕微鏡筒の
像のＴＶモニター像の図である。 １・・・・・・シンクルヘッド、２・・・・・・コンビ
ヘッド、２０．２ｄ・・・・−ヘッドキャップ、３・曲
・上シリンダ−，４・山・Ｒコンビヘッド、５・・・・
・・Ｌコンビヘッド、６・・・・・・固定台、７・・・
・・・調整側顕微鏡鏡筒、８・・・・・・干渉対物レン
ズ、９・・山・撮像管、１ｏ・・・・・・位置決め側顕
微鏡筒、１１・・旧対物レンズ、１２゜１２’ａ・・・
・・・チャック爪、１３，１４．１５・・・・・マイク
ロメータヘッド、１８・・・・・回転テーブル、１９・
・・・・Ｘテーブル、２ｏ・・川・Ｙ チー フ、Ｉ＋
／、２１・・・・・・電子ライン、２２．２２＆ 、２
２ｂ・・・・・・ヘッドギャップ、２３・・・・・・干
渉縞、２４・・・・・・コンビヘッド用調整側顕微鏡筒
、２５・・・・・ビームスプリッタ、２６・・・・・・
反射鏡、２７・・・・・・調整ネジ、２８・・・・・・
結像レンズ、２９・・・・・・鏡筒。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第４図 第５Ｉ７１ 第６図 第８図 第９図 Ｉ 第１０図 ２
Claims (1)
- 対物レンズの後方に設置された対物レンズを通過した像
の光を２分するビームスプリッタと、前記ビームスプリ
ンタの直角方向にビームスプリッタより反射した光を再
度直角方向に反射させなおかつ水平方向に移動できる反
射鏡と、前記ビームスプリッタの後方前記対物レンズに
よる像の結像位置の前もしくは後に設置された倍率を縮
小するように位置決めされた結像レンズと、２視野のそ
れぞれを観察するテレビカメラ等を取り付は可能な前記
ビームスプリッタ、反射鏡、結像レンズを設置する鏡筒
とからなるコンビヘッド観察用２視腎鏡筒。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58197836A JPS6089702A (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | コンビヘッド取付け位置観察用鏡筒 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58197836A JPS6089702A (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | コンビヘッド取付け位置観察用鏡筒 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6089702A true JPS6089702A (ja) | 1985-05-20 |
| JPH0568641B2 JPH0568641B2 (ja) | 1993-09-29 |
Family
ID=16381146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58197836A Granted JPS6089702A (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | コンビヘッド取付け位置観察用鏡筒 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6089702A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4475794A (en) * | 1982-02-03 | 1984-10-09 | Martin Marietta Corporation | Aluminum, aluminum oxide, cromium, gold mirror |
| US4482209A (en) * | 1981-02-27 | 1984-11-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Mirror structure |
| JPH01116908U (ja) * | 1988-02-01 | 1989-08-07 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5655806U (ja) * | 1979-10-02 | 1981-05-15 |
-
1983
- 1983-10-21 JP JP58197836A patent/JPS6089702A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5655806U (ja) * | 1979-10-02 | 1981-05-15 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4482209A (en) * | 1981-02-27 | 1984-11-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Mirror structure |
| US4475794A (en) * | 1982-02-03 | 1984-10-09 | Martin Marietta Corporation | Aluminum, aluminum oxide, cromium, gold mirror |
| JPH01116908U (ja) * | 1988-02-01 | 1989-08-07 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0568641B2 (ja) | 1993-09-29 |
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