JPS6389459A - 窒化ケイ素焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化ケイ素焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6389459A JPS6389459A JP61235720A JP23572086A JPS6389459A JP S6389459 A JPS6389459 A JP S6389459A JP 61235720 A JP61235720 A JP 61235720A JP 23572086 A JP23572086 A JP 23572086A JP S6389459 A JPS6389459 A JP S6389459A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- silicon nitride
- sintering
- weight
- nitride sintered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims description 24
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 27
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 claims description 4
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 claims description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000001272 pressureless sintering Methods 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100008046 Caenorhabditis elegans cut-2 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば高速鋳物切削等の材料に適した窒化ケ
イ素焼結体の製造方法に関する。
イ素焼結体の製造方法に関する。
窒化ケイ素焼結体は高強度で耐摩耗性や耐熱性に優れて
いることから、耐摩耗性部品をはじめ各種の用途が開発
されつつある。
いることから、耐摩耗性部品をはじめ各種の用途が開発
されつつある。
かかる窒化ケイ素焼結体の製造方法としては、特公昭５
２−３６４９号公報に記載のごとく、従来かラム（Ａｅ
２０３）等の焼結助剤を混合し、非酸化性雰囲気中で焼
結する方法が取られてきた。この方法では、低温安定型
のα−３ｉ３’Ｎ４が焼結時に高温安定型のβ−５ｉ３
Ｎ４に相変態を生じて接離状組織を生成し、これが得ら
れる焼結体の強度を向上させることが知られている。
２−３６４９号公報に記載のごとく、従来かラム（Ａｅ
２０３）等の焼結助剤を混合し、非酸化性雰囲気中で焼
結する方法が取られてきた。この方法では、低温安定型
のα−３ｉ３’Ｎ４が焼結時に高温安定型のβ−５ｉ３
Ｎ４に相変態を生じて接離状組織を生成し、これが得ら
れる焼結体の強度を向上させることが知られている。
しかし、α−３ｉ３Ｎ４は焼結温度付近において不安定
で、焼結時に液化した焼結助剤中に固溶したり分解して
焼結体外に飛散し易く、また相変態の際の再結晶化及び
結晶粒成長に伴って焼結体中に気孔を残存し易く、従っ
て均一微細な組織となりにくいことから、得られる窒化
ケイ素焼結体の強度及びその他の特性の低下の原因とな
っていた。
で、焼結時に液化した焼結助剤中に固溶したり分解して
焼結体外に飛散し易く、また相変態の際の再結晶化及び
結晶粒成長に伴って焼結体中に気孔を残存し易く、従っ
て均一微細な組織となりにくいことから、得られる窒化
ケイ素焼結体の強度及びその他の特性の低下の原因とな
っていた。
そのため、気孔率を低下させて緻密な焼結体を得るため
にホットプレス法等の加圧焼結が採用されている現状で
あるが、連続焼結が困難であシ、製品がコスト高になる
等の欠点があシ、高い生産効率を要求される切削工具材
料等の焼結手段としては不適当であった。
にホットプレス法等の加圧焼結が採用されている現状で
あるが、連続焼結が困難であシ、製品がコスト高になる
等の欠点があシ、高い生産効率を要求される切削工具材
料等の焼結手段としては不適当であった。
本発明は、上記の事情に鑑み、焼結によって気孔が残存
し難く、緻密で高硬度、高強度の優れた特性を具えた窒
化ケイ素焼結体の製造方法を提供することを目的とする
。
し難く、緻密で高硬度、高強度の優れた特性を具えた窒
化ケイ素焼結体の製造方法を提供することを目的とする
。
〔問題点を解決するだめの手段〕
本発明の窒化ケイ素焼結体の製造方法は、酸化アルミニ
ウムと酸化イツトリウムを合計で１〜１５重量％と、残
部の９５チ以上がβ型である窒化ケイ素との混合粉末を
、非酸化性雰囲気中において１６００〜１９００Ｃで焼
結することを特徴としている。
ウムと酸化イツトリウムを合計で１〜１５重量％と、残
部の９５チ以上がβ型である窒化ケイ素との混合粉末を
、非酸化性雰囲気中において１６００〜１９００Ｃで焼
結することを特徴としている。
β型窒化ケイ素（β−３ｉ３Ｎ４ ）は、市販のα型窒
化ケイ素を１〜１０気圧の窒素ガス雰囲気中で１７００
〜１９００１：’の温度で熱処理することによシ得られ
る。なかでも均一微細な粒状組織を得るために微細であ
シ、粒径分布幅の小さいβ型窒化ケイ素粉末の使用が好
ましく、平均粒径で０．５μｍ以下の範囲及び粒度分布
幅で２．０μｍ以下の範囲が特に好ましい。
化ケイ素を１〜１０気圧の窒素ガス雰囲気中で１７００
〜１９００１：’の温度で熱処理することによシ得られ
る。なかでも均一微細な粒状組織を得るために微細であ
シ、粒径分布幅の小さいβ型窒化ケイ素粉末の使用が好
ましく、平均粒径で０．５μｍ以下の範囲及び粒度分布
幅で２．０μｍ以下の範囲が特に好ましい。
焼結助剤としては、酸化イツトリウム及び酸化アルミニ
ウムであシ、その他必要に応じてランタニド系希土類元
素の酸化物のうち１種又は２種以上を組合わせて使用し
てもよい。焼結はホットプレス等の加圧焼結でも常圧焼
結でもよいが、生産効率のよい常圧焼結が好ましい。焼
結雰囲気は非酸化性雰囲気であり、特に１気圧以上３０
０気圧以下の加圧窒素雰囲気中で焼結を行えば一層緻密
で特性の優れた焼結体を得ることができる。
ウムであシ、その他必要に応じてランタニド系希土類元
素の酸化物のうち１種又は２種以上を組合わせて使用し
てもよい。焼結はホットプレス等の加圧焼結でも常圧焼
結でもよいが、生産効率のよい常圧焼結が好ましい。焼
結雰囲気は非酸化性雰囲気であり、特に１気圧以上３０
０気圧以下の加圧窒素雰囲気中で焼結を行えば一層緻密
で特性の優れた焼結体を得ることができる。
更に、本発明の窒化ケイ素焼結体に繊維状組織を発達さ
せることによって破壊靭性を向上させる目的で、元素周
期律表のＦ／ａ 、 Ｖａ 、 Ｖｉａ族元素から選ば
れた少なくとも１種の金属元素の炭化物、窒化物、炭窒
化物又は硼化物、若しぐは炭化ケイ素又は炭化ケイ素ウ
ィスカー等を５〜３０重量％添加することが有効である
。この添加量が５重量％未満では上記効果がなく、３０
重量％をこえると焼結体密度の低下をまねくので不適当
である。
せることによって破壊靭性を向上させる目的で、元素周
期律表のＦ／ａ 、 Ｖａ 、 Ｖｉａ族元素から選ば
れた少なくとも１種の金属元素の炭化物、窒化物、炭窒
化物又は硼化物、若しぐは炭化ケイ素又は炭化ケイ素ウ
ィスカー等を５〜３０重量％添加することが有効である
。この添加量が５重量％未満では上記効果がなく、３０
重量％をこえると焼結体密度の低下をまねくので不適当
である。
本方法ではβ型窒化ケイ素を用いるので焼結時に相変態
が起こらず、焼結時に液化した焼結助剤への固溶や焼結
体外への分解飛散がなく、また結晶粒成長も少ないので
焼結体組織が緻密で気孔が残存する可能性は常圧焼結に
おいても著しく少なくなる。
が起こらず、焼結時に液化した焼結助剤への固溶や焼結
体外への分解飛散がなく、また結晶粒成長も少ないので
焼結体組織が緻密で気孔が残存する可能性は常圧焼結に
おいても著しく少なくなる。
焼結助剤であるアルミニウム、イツトリウム及びランタ
ニド系希土類元素から選ばれた少なくとも１種の酸化物
は、粒界層を緻密化させ焼結体の密度を向上させるが、
この添加量が１重電チ未満では上記密度向上の効果が不
充分で１．１５重量％を超えると焼結体の強度及び高温
硬度の低下を招く。
ニド系希土類元素から選ばれた少なくとも１種の酸化物
は、粒界層を緻密化させ焼結体の密度を向上させるが、
この添加量が１重電チ未満では上記密度向上の効果が不
充分で１．１５重量％を超えると焼結体の強度及び高温
硬度の低下を招く。
前記したβ型窒化ケイ素の使用により焼結時の物質移動
が少なくなるのでα型窒化ケイ素を用いた場合よシも焼
結時間を長くする必要があるが、一方では焼結助剤の添
加量を減少させても充分に緻密な焼結体が得られる。こ
のことは高温雰囲気下で焼結体強度に影響を与える粒界
軟化を低減させ、強度劣化を減少させるために有効であ
る。
が少なくなるのでα型窒化ケイ素を用いた場合よシも焼
結時間を長くする必要があるが、一方では焼結助剤の添
加量を減少させても充分に緻密な焼結体が得られる。こ
のことは高温雰囲気下で焼結体強度に影響を与える粒界
軟化を低減させ、強度劣化を減少させるために有効であ
る。
また、上記ｆＶａ ｒ Ｖａ ｒ Ｖｉａ族元素の化合
物を添加することによって、焼結体中に繊維状組織が発
達し、その結果として靭性が向上する。
物を添加することによって、焼結体中に繊維状組織が発
達し、その結果として靭性が向上する。
かくして本方法で得られる窒化ケイ素焼結体は組織が常
圧焼結であっても均−微細化及び緻密化され、気孔が著
しく少なくなシ、硬度等の焼結体の特性及びその均一性
が向上し、高温での強度や硬度の劣化も少ないため、特
に切削工具用材料として好適である。また、ＩＶａ 、
Ｖａ 、 ■ａ族元素化合物の添加によって靭性を改
善した焼結体は構造用材料としても有効である。
圧焼結であっても均−微細化及び緻密化され、気孔が著
しく少なくなシ、硬度等の焼結体の特性及びその均一性
が向上し、高温での強度や硬度の劣化も少ないため、特
に切削工具用材料として好適である。また、ＩＶａ 、
Ｖａ 、 ■ａ族元素化合物の添加によって靭性を改
善した焼結体は構造用材料としても有効である。
実施例１
市販のα−８ｉ３Ｎ４粉末をｌＯ無気圧Ｎ２雰囲気下に
おいて１８００ｔ：”で３時間熱処理した。得られた粉
末はＸ線回折によシ１００％β型のＳｉ３Ｎ４であるこ
とが分った。
おいて１８００ｔ：”で３時間熱処理した。得られた粉
末はＸ線回折によシ１００％β型のＳｉ３Ｎ４であるこ
とが分った。
このβ−５ｉ３Ｎ４粉末（平均粒径０．５μｍ、粒度分
布幅２ ｔｔｍ ）と、Ａｐ２０３粉末（平均粒径０．
５μｍ）及びＹ２Ｏ３粉末（平均粒径０．５μｍ）を下
記第１表の組成で混合し、成形用・々イングーを添加し
たのち混合粉末を１．５ ｔｏｎ／ｚ２の圧力でＪＩＳ
５Ｎ０４３２級のスローアウェイチップにプレス成形
した。この成形体を１０気圧のＮ２雰囲気下において１
８５０Ｃで３時間焼結した。
布幅２ ｔｔｍ ）と、Ａｐ２０３粉末（平均粒径０．
５μｍ）及びＹ２Ｏ３粉末（平均粒径０．５μｍ）を下
記第１表の組成で混合し、成形用・々イングーを添加し
たのち混合粉末を１．５ ｔｏｎ／ｚ２の圧力でＪＩＳ
５Ｎ０４３２級のスローアウェイチップにプレス成形
した。この成形体を１０気圧のＮ２雰囲気下において１
８５０Ｃで３時間焼結した。
（注）試料Ａ４及び５は比較例である。
得られた各焼結体試料を上記スローアウェイチップに研
削加工し、下記切削条件により切削テストを行った結果
を、各焼結体試料の密度（制及び硬度（ＨＲＡ ）とと
もに第２表に表示した。
削加工し、下記切削条件により切削テストを行った結果
を、各焼結体試料の密度（制及び硬度（ＨＲＡ ）とと
もに第２表に表示した。
ワ − り： ＦＣ２５幅１８０×長さ３００龍機
械二ＮＣ型旋盤 切削条件：切削速度 ６００ｍ／ｍｉｎ切込み ２！１
１ 送り ０．３６ Ｈ／ ｒｅｖ。
械二ＮＣ型旋盤 切削条件：切削速度 ６００ｍ／ｍｉｎ切込み ２！１
１ 送り ０．３６ Ｈ／ ｒｅｖ。
寿命判定： ＶＢ ＝ ０．３１１
第２表
（注）試料７５４及び５は比較例である。
実施例２
下記第３表に示す組成に混合した粉末を実施何重と同様
の方法で焼結し、焼結体よｆｉ ＪＩＳ Ｒ１６０１試
験片を切シ出して特性評価を行った。結果を第３表にあ
わせて記載した。
の方法で焼結し、焼結体よｆｉ ＪＩＳ Ｒ１６０１試
験片を切シ出して特性評価を行った。結果を第３表にあ
わせて記載した。
第３表
（注）試料１６８〜１０及び１４は比較例である。
本発明によれば、生産効率のよい常圧焼結による製造が
可能であり、気孔の残存が少なく緻密であって高強度及
び高硬度で耐摩耗性に優れた切削工具材料として好適な
窒化ケイ素焼結体を製造することができる。
可能であり、気孔の残存が少なく緻密であって高強度及
び高硬度で耐摩耗性に優れた切削工具材料として好適な
窒化ケイ素焼結体を製造することができる。
Claims (3)
- （１）酸化アルミニウムと酸化イットリウムを合計で１
〜１５重量％と、残部の９５％以上がβ型である窒化ケ
イ素との混合粉末を、非酸化性雰囲気中において１６０
０〜１９００℃で焼結することを特徴とする窒化ケイ素
焼結体の製造方法。 - （２）上記焼結を１気圧以上３００気圧以下の加圧窒素
雰囲気中で行うことを特徴とする、特許請求の範囲（１
）項記載の窒化ケイ素焼結体の製造方法。 - （３）酸化アルミニウムと酸化イットリウムを合計で１
〜１５重量％と、元素周期律表のＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ
族元素から選ばれた少なくとも１種の金属元素の炭化物
、窒化物、炭窒化物又は硼化物、若しくは炭化ケイ素又
は炭化ケイ素ウィスカーを５〜３０重量％と、残部の９
５％以上がβ型である窒化ケイ素との混合粉末を、非酸
化性雰囲気中において１６００〜１９００℃で焼結する
ことを特徴とする窒化ケイ素焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61235720A JPH0764639B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61235720A JPH0764639B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6389459A true JPS6389459A (ja) | 1988-04-20 |
| JPH0764639B2 JPH0764639B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=16990230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61235720A Expired - Fee Related JPH0764639B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0764639B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63252967A (ja) * | 1987-04-09 | 1988-10-20 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
| JPH01145380A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-07 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体の製法 |
| JPH0244064A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-14 | Mazda Motor Corp | セラミック製摺動部材の製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS578046A (en) * | 1980-06-11 | 1982-01-16 | Hitachi Ltd | Thread fastening device |
| JPS58151371A (ja) * | 1982-02-25 | 1983-09-08 | 住友電気工業株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
| JPS59107908A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-22 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | 焼結性に優れた窒化珪素粉末の製造法 |
| JPS6143311A (ja) * | 1984-08-08 | 1986-03-01 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 不完全気密空間の内圧制御方法 |
-
1986
- 1986-10-03 JP JP61235720A patent/JPH0764639B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS578046A (en) * | 1980-06-11 | 1982-01-16 | Hitachi Ltd | Thread fastening device |
| JPS58151371A (ja) * | 1982-02-25 | 1983-09-08 | 住友電気工業株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
| JPS59107908A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-22 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | 焼結性に優れた窒化珪素粉末の製造法 |
| JPS6143311A (ja) * | 1984-08-08 | 1986-03-01 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 不完全気密空間の内圧制御方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63252967A (ja) * | 1987-04-09 | 1988-10-20 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
| JPH01145380A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-07 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体の製法 |
| JPH0244064A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-14 | Mazda Motor Corp | セラミック製摺動部材の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0764639B2 (ja) | 1995-07-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5382273A (en) | Silicon nitride ceramic and cutting tool made thereof | |
| US4406668A (en) | Nitride coated silicon nitride cutting tools | |
| US5094986A (en) | Wear resistant ceramic with a high alpha-content silicon nitride phase | |
| US4409003A (en) | Carbonitride coated silicon nitride cutting tools | |
| US4406667A (en) | Nitride coated composite silicon nitride cutting tools | |
| JPS6011288A (ja) | 表面被覆サイアロン基セラミツクス工具部材 | |
| US4431431A (en) | Carbide coated silicon nitride cutting tools | |
| JP3476507B2 (ja) | 立方晶窒化ホウ素含有焼結体の製造方法 | |
| US4801564A (en) | High-toughness ceramic tool materials | |
| US4440547A (en) | Alumina coated silicon nitride cutting tools | |
| EP0035777A1 (en) | Abrasion resistant silicon nitride based articles | |
| JP2000247746A (ja) | 立方晶窒化硼素質焼結体切削工具 | |
| US4433979A (en) | Abrasion resistant silicon nitride based articles | |
| US4497228A (en) | Method of machining cast iron | |
| CN85100177B (zh) | 高耐磨性高韧性氮化硅基陶瓷刀具材料 | |
| US5439854A (en) | TiC-base/SiC whisker composite ceramic cutting tools | |
| EP0095131A1 (en) | Coated silicon nitride cutting tools | |
| CA1204637A (en) | Coated composite modified silicon aluminum oxynitride cutting tools | |
| JPH0764639B2 (ja) | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JPS6117473A (ja) | 切削工具用窒化けい素基焼結材料 | |
| JP2596094B2 (ja) | 耐摩耗性のすぐれた表面被覆セラミック製切削工具 | |
| JPS6222951B2 (ja) | ||
| JP2631115B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製法 | |
| JPS6317795B2 (ja) | ||
| JPH03290356A (ja) | 高靭性および高強度を有する酸化アルミニウム基セラミックス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |