JPS639908A - 磁石 - Google Patents
磁石Info
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- JPS639908A JPS639908A JP15445886A JP15445886A JPS639908A JP S639908 A JPS639908 A JP S639908A JP 15445886 A JP15445886 A JP 15445886A JP 15445886 A JP15445886 A JP 15445886A JP S639908 A JPS639908 A JP S639908A
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- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims abstract description 17
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 4
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 11
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 abstract description 2
- 150000003609 titanium compounds Chemical class 0.000 abstract description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 abstract description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 abstract 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 abstract 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 229910017495 Nd—F Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、希土類鉄系磁石の表面処理に関するもので
ある。
ある。
（発明の概要）
この発明は、希土類鉄系磁石の表面上に真空蒸着、スパ
ッタリング、イオンブレーティング等の物理蒸着法（Ｐ
ＶＤ）や熱分解反応等による化学蒸着法（ＣＶＤ）によ
り金属チタン、窒化チタン。
ッタリング、イオンブレーティング等の物理蒸着法（Ｐ
ＶＤ）や熱分解反応等による化学蒸着法（ＣＶＤ）によ
り金属チタン、窒化チタン。
炭化チタン、ＷＸｔ化チクチタン金属チタンまたはチタ
ン系化合物皮膜を形成することにより耐食性。
ン系化合物皮膜を形成することにより耐食性。
耐薬品性を向上させたものである。
（従来の技術）
従来、希土類磁石として釦−ＣＯ系磁石が広く用いられ
てきたが、コスト、磁気特性等の点で有利なＭｄ −Ｆ
ｅ系磁石をはじめどする希土類鉄系磁石を用いる気運が
ある。
てきたが、コスト、磁気特性等の点で有利なＭｄ −Ｆ
ｅ系磁石をはじめどする希土類鉄系磁石を用いる気運が
ある。
しかし、希土類鉄系磁石は、ｓｍ−ｃｏ系磁石に比べ耐
食性、耐薬品性という点で劣り、変色、Ｉなどが生じや
すく、何らかの表面処理を施す必要性があった。
食性、耐薬品性という点で劣り、変色、Ｉなどが生じや
すく、何らかの表面処理を施す必要性があった。
（発明が解決しようとする問題点）
希土類′鉄系磁石は、耐薬品性、とくに酸、アルカリ溶
液に対し弱く、湿式めっき等による表１而処理では処理
工程中に表面が侵されてしまうという困難がつきまとっ
ていた。また樹脂を主体とする高分子材料によるコーテ
ィング等も考えられているが、密着性や有機物であるた
めの柔かさのためによる強度の弱さのため実用的でない
という欠点を有している。
液に対し弱く、湿式めっき等による表１而処理では処理
工程中に表面が侵されてしまうという困難がつきまとっ
ていた。また樹脂を主体とする高分子材料によるコーテ
ィング等も考えられているが、密着性や有機物であるた
めの柔かさのためによる強度の弱さのため実用的でない
という欠点を有している。
本発明は上記のような欠点を解決し、耐食性。
耐薬品性２表面の強度に優れた希土類鉄系磁石を提供す
るものである。
るものである。
（問題点を解決するための手段）
上記問題を解決するため、鉄系材料に耐し密着力が強（
、かつ耐食性、耐薬品性にすぐれたチタン、窒化チタン
、炭化チタン、酸化チタン等のチタンまたはチタン系化
合物皮膜をスパッタリング。
、かつ耐食性、耐薬品性にすぐれたチタン、窒化チタン
、炭化チタン、酸化チタン等のチタンまたはチタン系化
合物皮膜をスパッタリング。
イオンブレーティング等の物理蓋＠法や化学蒸着法とよ
ばれる成膜方法により上記希土類鉄系磁石表面上に形成
する。
ばれる成膜方法により上記希土類鉄系磁石表面上に形成
する。
（作用）
上記を行うに当り、前処理として酸、アルカリ溶液を用
いず、有機溶剤による脱脂のみでも上記のような気相め
っき法によると、イオンボンバード等のクリーニングが
真空中で可能なため十分に密着力を有する皮膜を形成す
ることができるので問題点である希土類鉄系磁石の耐食
性、耐薬品性の向上、改善を図ることができるのである
。
いず、有機溶剤による脱脂のみでも上記のような気相め
っき法によると、イオンボンバード等のクリーニングが
真空中で可能なため十分に密着力を有する皮膜を形成す
ることができるので問題点である希土類鉄系磁石の耐食
性、耐薬品性の向上、改善を図ることができるのである
。
（実施例−１）
希土類鉄系磁石としてＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系の磁石用焼結合
金から成形した電子時計用ロータを用いて本発明を適用
した。
金から成形した電子時計用ロータを用いて本発明を適用
した。
ます、ロータをトリクロールエチレンにより脱脂洗浄を
行い、物理蒸着法の代表である三極方式の反応性イオン
ブレーティングによりチタンと窒素より窒化チタン皮膜
をロータ表面に３ＩＪＩＲ形成した。この際、皮膜形成
に先立ち、皮膜の密着性を高めるため、アルゴンガスの
放電によるイオンボンバードによるスパッタクリーニン
グによりロータ表面を清浄化しておいた。
行い、物理蒸着法の代表である三極方式の反応性イオン
ブレーティングによりチタンと窒素より窒化チタン皮膜
をロータ表面に３ＩＪＩＲ形成した。この際、皮膜形成
に先立ち、皮膜の密着性を高めるため、アルゴンガスの
放電によるイオンボンバードによるスパッタクリーニン
グによりロータ表面を清浄化しておいた。
このようにして得られたロータは恒温恒湿試験（４０℃
Ｘ９５％、１００時間）を行った結果、錯、変色や皮Ｗ
Ａ（窒化チタン）のハクリ、フクレ等などは全く発生し
なく良好であった。
Ｘ９５％、１００時間）を行った結果、錯、変色や皮Ｗ
Ａ（窒化チタン）のハクリ、フクレ等などは全く発生し
なく良好であった。
また、このロータとカナを組合せるにあたっても皮膜の
ハクリや脱落を生じなく良好であった。
ハクリや脱落を生じなく良好であった。
（実施例−２）
実施例−１と同様、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系の磁石用焼結合金
から成形した電子時計用ロータを用いて本発明を適用し
た。
から成形した電子時計用ロータを用いて本発明を適用し
た。
前処理としては、まずロータをトリクロールエチレンに
より脱脂洗浄し、次いで、マグネトロンスパッタ装置内
におき、真空排気後、アルゴンによりロータ表面をアル
ゴンガスの放電により逆スパツタを行い清浄化した。次
にスパッタリングターゲットとして金属チタンを用い、
スパッタを行゛いロータ表面上に金属チタン皮膜を約１
１Ｊ！Ｒ形成した。
より脱脂洗浄し、次いで、マグネトロンスパッタ装置内
におき、真空排気後、アルゴンによりロータ表面をアル
ゴンガスの放電により逆スパツタを行い清浄化した。次
にスパッタリングターゲットとして金属チタンを用い、
スパッタを行゛いロータ表面上に金属チタン皮膜を約１
１Ｊ！Ｒ形成した。
このようにして得られたロータは恒温恒湿試験（４０’
ＣＸ９５％、 １００［１１１Ｊ） ヲ行ツｔ、結果、
錆、変色や皮膜（金属チタン）のハクリ、フクレ等など
を生ぜず良好であった。
ＣＸ９５％、 １００［１１１Ｊ） ヲ行ツｔ、結果、
錆、変色や皮膜（金属チタン）のハクリ、フクレ等など
を生ぜず良好であった。
また、このロータとカナを組合せるにあたっても、皮膜
のハクリや脱落を生じなく良好であった。
のハクリや脱落を生じなく良好であった。
（発明の効果）
以上、実施例に述べたように本発明によれば、耐食性、
耐薬品性の悪い希土類鉄系磁石に金属チタンまたはチタ
ン系化合物の皮膜を形成することにより、耐食性、耐薬
品性にすぐれ、かつ、磁気特性にもすぐれた磁石を提供
することができる。
耐薬品性の悪い希土類鉄系磁石に金属チタンまたはチタ
ン系化合物の皮膜を形成することにより、耐食性、耐薬
品性にすぐれ、かつ、磁気特性にもすぐれた磁石を提供
することができる。
なお、実施例において、希土類鉄系磁石としてＮｄ−Ｆ
ｅ−Ｂ系磁石について述べたが他の希土類鉄系磁石につ
いても同様の効果が期待できることはいうまでもない。
ｅ−Ｂ系磁石について述べたが他の希土類鉄系磁石につ
いても同様の効果が期待できることはいうまでもない。
また、チタン系皮膜形成方法法 ゛としてイオンブレー
ティングによる窒化チタン皮膜とスパッタリングによる
金属チタン皮膜をあげたが、プラズマＣｖＤや熱反応に
よるＣＶＤなども本発明に適用することができることは
言うまでもない。
ティングによる窒化チタン皮膜とスパッタリングによる
金属チタン皮膜をあげたが、プラズマＣｖＤや熱反応に
よるＣＶＤなども本発明に適用することができることは
言うまでもない。
Claims (2)
- （１）希土類鉄系磁石表面上にチタン、窒化チタン、炭
化チタン、酸化チタン等の金属チタンまたはチタン系化
合物皮膜を形成したことを特徴とする磁石。 - （２）前記希土類鉄系磁石が、原子百分率として８〜３
０％のＲ（但しＲはＹを含む希土類元素の少なくとも一
種）、２〜２８％のＢ、および残部がＦｅおよび不可避
の不純物からなる特許請求の範囲の第１項記載の磁石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15445886A JPS639908A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 磁石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15445886A JPS639908A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 磁石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS639908A true JPS639908A (ja) | 1988-01-16 |
Family
ID=15584671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15445886A Pending JPS639908A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 磁石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS639908A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7655325B2 (en) | 2005-12-28 | 2010-02-02 | Hitachi Metals, Ltd. | Rare earth magnet and method for producing same |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP15445886A patent/JPS639908A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7655325B2 (en) | 2005-12-28 | 2010-02-02 | Hitachi Metals, Ltd. | Rare earth magnet and method for producing same |
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