JPS6410080U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6410080U JPS6410080U JP1987101778U JP10177887U JPS6410080U JP S6410080 U JPS6410080 U JP S6410080U JP 1987101778 U JP1987101778 U JP 1987101778U JP 10177887 U JP10177887 U JP 10177887U JP S6410080 U JPS6410080 U JP S6410080U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- phase growth
- shaped framework
- reaction gas
- reaction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す平面図、第２図
は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第２図のａ部
詳細説明図、第４図、第５図は従来の成長装置の
説明図である。 １……基板、２……サセプタ、２ａ……蓋、３
……ベルジヤー、３ａ……サセプタ挿入口、４…
…ガス導入口、５……ガス排出口、６……加熱用
ランプ、７……誘導加熱コイル、１１……円板状
枠組み、１２……駆動装置、１２ａ……動力伝達
手段、１３……反応室、１４……反応室蓋、１５
ａ……ガス供給口、１５ｂ……ガス供給管、１６
ａ……ガス排出口、１６ｂ……ガス排出管、１７
ａ，１７ｂ……ヒータ、１８ａ……供給ガス輪転
継手、１８ｂ……排出ガス輪転継手、１９……反
応室蓋取り外し装置、２０……基板交換装置、２
１……サセプタ。
は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第２図のａ部
詳細説明図、第４図、第５図は従来の成長装置の
説明図である。 １……基板、２……サセプタ、２ａ……蓋、３
……ベルジヤー、３ａ……サセプタ挿入口、４…
…ガス導入口、５……ガス排出口、６……加熱用
ランプ、７……誘導加熱コイル、１１……円板状
枠組み、１２……駆動装置、１２ａ……動力伝達
手段、１３……反応室、１４……反応室蓋、１５
ａ……ガス供給口、１５ｂ……ガス供給管、１６
ａ……ガス排出口、１６ｂ……ガス排出管、１７
ａ，１７ｂ……ヒータ、１８ａ……供給ガス輪転
継手、１８ｂ……排出ガス輪転継手、１９……反
応室蓋取り外し装置、２０……基板交換装置、２
１……サセプタ。
Claims (1)
- 基板１上に気相成長法によつて薄膜を形成する
気相成長装置において、円板状に形成した円板状
枠組み１１に、基板１を挿入、取出する開閉可能
な蓋１４および反応ガスの供給口１５および反応
ガスの排出口１６を備えた反応室１３を放射状に
配設し、前記基板１を加熱又は化学反応する反応
装置１７ａ，１７ｂを前記反応室１３の内壁面お
よび外壁面に配設するとともに、前記円板状枠組
み１１を回転する駆動装置１２と前記円板状枠組
み１１の円心部に反応ガスを供給、排出する輪転
継手１８ａ，１８ｂを配設したことを特徴とする
気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987101778U JPS6410080U (ja) | 1987-07-03 | 1987-07-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987101778U JPS6410080U (ja) | 1987-07-03 | 1987-07-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6410080U true JPS6410080U (ja) | 1989-01-19 |
Family
ID=31331084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987101778U Pending JPS6410080U (ja) | 1987-07-03 | 1987-07-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6410080U (ja) |
-
1987
- 1987-07-03 JP JP1987101778U patent/JPS6410080U/ja active Pending
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