JPS6410608U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は第１図の―線断面図、第３図は空調手段
を示すブロツク図である。 １０……測定機本体、１２，１５，１７……移
動機構、１９……測定子、２０……カバー、２１
……枠体、２２……断熱材、２５……温度センサ
、４０……空調手段、４６……エアー供給装置、
４７……冷却装置、４８……加熱装置、５０……
制御装置。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被測定物を載置するテーブル、このテーブ
   ルに載置された被測定物に当接される測定子およ
   び前記テーブルと測定子とを三次元方向へ相対移
   動させる移動機構を含む測定機本体と、 少なくとも前記テーブルの被測定物載置面およ
   び測定子を露出させるとともにこれらを除く測定
   機本体を覆うカバーと、 このカバー内に所定温度に調温された加圧エア
   ーを供給する空調手段と、 を具備したことを特徴する三次元測定機。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項において、
   前記カバーは、前記テーブルの被測定物載置面お
   よび測定子を露出させるとともにこれらを除く測
   定機本体を覆う枠体と、この枠体の内面側に付設
   された断熱材とから構成されていることを特徴と
   する三次元測定機。 (3) 実用新案登録請求の範囲第１項または第２
   項において、前記空調手段は、前記カバー内に加
   圧エアーを供給するエアー供給装置と、このエア
   ー供給装置からの加圧エアーを冷却する冷却装置
   と、前記エアー供給装置からの加圧エアーを加熱
   する加熱装置と、前記カバー内の温度を検出する
   温度センサと、この温度センサで検出された温度
   と予め設定された設定温度との差に応じて前記冷
   却装置および加熱装置を作動させる制御装置とか
   ら構成されていることを特徴とする三次元測定機
   。