JPS6411540U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6411540U JPS6411540U JP10564587U JP10564587U JPS6411540U JP S6411540 U JPS6411540 U JP S6411540U JP 10564587 U JP10564587 U JP 10564587U JP 10564587 U JP10564587 U JP 10564587U JP S6411540 U JPS6411540 U JP S6411540U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- probe card
- support base
- fitting
- grooves
- Prior art date
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- Pending
Links
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はプローブカードの平面図である。第２
図ａは本考案のプローブカードのＸ方向の断面図
、ｂはＹ方向の断面図である。第３図ａは従来の
プローブカードのＸ方向の断面図、ｂはＹ方向の
断面図である。第４図ａはシリコンウエハを示す
図、ｂはシリコンウエハ上に作り込まれたＩＣチ
ツプを示す図である。 １……プローブカードリング（支持台）、２…
…プローブ針、６………シリコンウエハ、７……
ＩＣチツプ、８……チツプパッド。
図ａは本考案のプローブカードのＸ方向の断面図
、ｂはＹ方向の断面図である。第３図ａは従来の
プローブカードのＸ方向の断面図、ｂはＹ方向の
断面図である。第４図ａはシリコンウエハを示す
図、ｂはシリコンウエハ上に作り込まれたＩＣチ
ツプを示す図である。 １……プローブカードリング（支持台）、２…
…プローブ針、６………シリコンウエハ、７……
ＩＣチツプ、８……チツプパッド。
Claims (1)
- 支持台にプローブ針を固定してなるプローブカ
ードにおいて、前記支持台に前記プローブ針をは
め込むための溝を、前記プローブカードの中心に
向け、放射状に設けたことを特徴とするプローブ
カード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10564587U JPS6411540U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10564587U JPS6411540U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6411540U true JPS6411540U (ja) | 1989-01-20 |
Family
ID=31338443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10564587U Pending JPS6411540U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6411540U (ja) |
-
1987
- 1987-07-08 JP JP10564587U patent/JPS6411540U/ja active Pending