JPS6412764U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6412764U JPS6412764U JP10524887U JP10524887U JPS6412764U JP S6412764 U JPS6412764 U JP S6412764U JP 10524887 U JP10524887 U JP 10524887U JP 10524887 U JP10524887 U JP 10524887U JP S6412764 U JPS6412764 U JP S6412764U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- workpiece
- pressurizing
- piezo actuator
- pressure
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案による加圧力制御装置の一例
を示すブロツク線図である。 １……ワーク、５……テープ、６……ピエゾア
クチユエータ、７……歪計、８……加圧ヘツド、
１０……設定器、１２……制御器。
を示すブロツク線図である。 １……ワーク、５……テープ、６……ピエゾア
クチユエータ、７……歪計、８……加圧ヘツド、
１０……設定器、１２……制御器。
Claims (1)
- 走行するポリシングテープを加圧ヘツドでワー
クの加工面に押付けて加工するテープポリシング
装置における加圧力制御装置であつて、加圧ヘツ
ドをワークに向けて移動させるピエゾアクチユエ
ータと、加圧ヘツドとピエゾアクチユエータの間
に配置された圧力検出手段と、ワークに対するテ
ープの加圧力の基準値を設定する設定器と、この
設定器の出力と前記圧力検出手段の出力を比較し
、その差を前記ピエゾアクチユエータにフイード
バツクする制御器とを設けたことを特徴とするテ
ープポリシング装置における加圧力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10524887U JPS6412764U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10524887U JPS6412764U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6412764U true JPS6412764U (ja) | 1989-01-23 |
Family
ID=31337691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10524887U Pending JPS6412764U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6412764U (ja) |
-
1987
- 1987-07-10 JP JP10524887U patent/JPS6412764U/ja active Pending