JPS6413662U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6413662U JPS6413662U JP10870287U JP10870287U JPS6413662U JP S6413662 U JPS6413662 U JP S6413662U JP 10870287 U JP10870287 U JP 10870287U JP 10870287 U JP10870287 U JP 10870287U JP S6413662 U JPS6413662 U JP S6413662U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- irradiated
- irradiation
- electron beam
- vacuum chamber
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２
図はこの考案の他の実施例を示す断面図、第３図
、第４図は従来例の断面図である。 １……真空チエンバ、２……照射チエンバ、５
，２５……予備室、２３……排気ブロワー。
図はこの考案の他の実施例を示す断面図、第３図
、第４図は従来例の断面図である。 １……真空チエンバ、２……照射チエンバ、５
，２５……予備室、２３……排気ブロワー。
Claims (1)
- 真空チエンバと、前記真空チエンバから放射さ
れる電子線を被照射物に照射する照射チエンバと
からなる電子線照射装置において、前記照射チエ
ンバ内に前記被照射物を搬入する入口を囲むよう
に予備室を設けるとともに、前記予備室の内部を
排気する排気ブロワーを設置してなる電子線照射
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987108702U JPH0622917Y2 (ja) | 1987-07-14 | 1987-07-14 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987108702U JPH0622917Y2 (ja) | 1987-07-14 | 1987-07-14 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6413662U true JPS6413662U (ja) | 1989-01-24 |
| JPH0622917Y2 JPH0622917Y2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=31344284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987108702U Expired - Lifetime JPH0622917Y2 (ja) | 1987-07-14 | 1987-07-14 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0622917Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50318A (ja) * | 1973-05-08 | 1975-01-06 |
-
1987
- 1987-07-14 JP JP1987108702U patent/JPH0622917Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50318A (ja) * | 1973-05-08 | 1975-01-06 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0622917Y2 (ja) | 1994-06-15 |